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SiO2在氢氟酸中的刻蚀机理

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2023-02-20 09:45:072586

半导体刻蚀工艺简述(3)

对于湿法刻蚀,大部分刻蚀的终点都取决于时间,而时间又取决于预先设定的刻蚀速率和所需的刻蚀厚度。由于缺少自动监测终点的方法,所以通常由操作员目测终点。湿法刻蚀速率很容易受刻蚀剂温度与浓度的影响,这种影响对不同工作站和不同批量均有差异,因此单独用时间决定刻蚀终点很困难,一般釆用操作员目测的方式。
2023-03-06 13:56:031773

晶片湿法刻蚀方法

硅的碱性刻蚀液:氢氧化钾、氢氧化氨或四甲基羟胺(TMAH)溶液,晶片加工中,会用到强碱作表面腐蚀或减薄,器件生产中,则倾向于弱碱,如SC1清洗晶片或多晶硅表面颗粒,一部分机理是SC1中的NH4OH
2023-06-05 15:10:011598

如何降低SiC/SiO₂界面缺陷

目前,许多企业在SiC MOSFET的批量化制造生产方面遇到了难题,其中如何降低SiC/SiO₂界面缺陷是最令人头疼的问题。
2023-06-13 16:48:17376

干法刻蚀工艺介绍 硅的深沟槽干法刻蚀工艺方法

第一种是间歇式刻蚀方法(BOSCH),即多次交替循环刻蚀和淀积工艺,刻蚀工艺使用的是SF6气体,淀积工艺使用的是C4F8气体
2023-07-14 09:54:463214

刻蚀分为哪两种方式 刻蚀的目的和原理

刻蚀(Etching)的目的是在材料表面上刻出所需的图案和结构。刻蚀的原理是利用化学反应或物理过程,通过移除材料表面的原子或分子,使材料发生形貌变化。
2023-08-01 16:33:383915

氢氟酸在晶圆中的作用是什么

硅在暴露在空气中时会形成一层氧化硅(SiO2)层。在许多制程步骤中,如在热处理过程之前,需要移除这层氧化硅。氢氟酸是唯一能够有效清洗硅片表面氧化硅的化学品。氢氟酸能够与SiO2发生反应,生成挥发性的氟硅酸,从而清除硅片表面的氧化物层。
2023-08-02 10:40:25543

半导体行业中的化学机械抛光(CMP)技术详解

20世纪60年代以前,半导体基片抛光还大都沿用机械抛光,得到的镜面表面损伤是极其严重的。1965年Walsh和Herzog提出SiO2溶胶和凝胶抛光后,以SiO2浆料为代表的化学机械抛光工艺就逐渐代替了以上旧方法。
2023-08-02 10:48:407529

干法刻蚀与湿法刻蚀各有什么利弊?

在半导体制造中,刻蚀工序是必不可少的环节。而刻蚀又可以分为干法刻蚀与湿法刻蚀,这两种技术各有优势,也各有一定的局限性,理解它们之间的差异是至关重要的。
2023-09-26 18:21:003307

什么是刻蚀的选择性?刻蚀选择比怎么计算?受哪些因素的影响呢?

刻蚀(或蚀刻)是从晶圆表面去除特定区域的材料以形成相应微结构。但是,在目标材料被刻蚀时,通常伴随着其他层或掩膜的刻蚀
2023-10-07 14:19:252073

什么是干法刻蚀的凹槽效应?凹槽效应的形成机理和抑制方法

但是,在刻蚀SOI衬底时,通常会发生一种凹槽效应,导致刻蚀的形貌与预想的有很大出入。那么什么是凹槽效应?什么原因引起的?怎么抑制这种异常效应呢?
2023-10-20 11:04:21461

华为、哈工大联手:基于硅和金刚石的三维集成芯片专利公布

摘要本发明涉及芯片制造技术领域。硅基的cu/sio2混合结合样品和金刚石基础的cu/sio2混合结合样品的准备后,进行等离子体活性。经等离子体活性处理后,将cu/sio2混合结合试料浸泡在有机酸溶液中清洗后干燥。
2023-11-22 09:25:59285

MOS管寄生电容计算方法

某种电介质的介电常数ε与真空介电常数ε0的比值,称为该电介质的相对介电常数,符号为εr,即εr=ε/ε0,εr是无量纲的纯数,其中真空介电常数ε0=8.854E-12F/m,SIO2的相对介电常数为εr=3.9,所以SIO2的介电常数ε=εr*ε0=3.9×8.854E-12F/m
2023-11-30 15:39:12674

如何调控BOSCH工艺深硅刻蚀?影响深硅刻蚀的关键参数有哪些?

影响深硅刻蚀的关键参数有:气体流量、上电极功率、下电极功率、腔体压力和冷却器。
2024-02-25 10:44:39283

刻蚀机是干什么用的 刻蚀机和光刻机的区别

刻蚀机的刻蚀过程和传统的雕刻类似,先用光刻技术将图形形状和尺寸制成掩膜,再将掩膜与待加工物料模组装好,将样品置于刻蚀室内,通过化学腐蚀或物理磨蚀等方式将待加工物料表面的非掩膜区域刻蚀掉,以得到所需的凹槽和沟槽。
2024-03-11 15:38:24471

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