延续7纳米制程领先优势,台积电支援极紫外光(
EUV)微影技术的7纳米加强版(7+)制程将按既定时程于3月底正式量产,而全程采用
EUV技术的5纳米制程也将在2019年第2季进入风险试产。 据了解,独家
2019-02-13 10:08:15
4409
对于如今的半导体产业而言,
EUV光刻机是打造下一代逻辑和DRAM工艺技术的关键所在,为了在未来的工艺军备竞赛中保持优势,台积电、三星和英特尔等厂商纷纷花重金购置
EUV光刻机。 然而,当这些来自
2022-07-22 07:49:00
2403
德赢Vwin官网 网报道(文/周凯扬)作为目前最先进的半导体制造设备,
EUV光刻机的诞生是由各个部件在技术上的集体突破才最终成型的,比如光刻胶、掩膜板和镜组等等。但最为关键的还是
EUV名号中的极紫外光
2023-02-13 07:04:00
4326
设备供应商艾司摩尔(ASML)已协同比利时微电子研究中心(IMEC)和重量级晶圆厂,合力改良
EUV光源功率与晶圆产出速度,预计2015年可发布首款量产型
EUV机台。
2013-08-19 09:24:47
1637
“7纳米是很重要的节点,是生产工艺第一次转向
EUV的转折点。三星和台积电都宣布了将采用
EUV(极紫外光微影)技术在7纳米,而
EUV是摩尔定律能够进一步延续到5纳米以下的关键。” Gartner(中国
2017-01-19 10:15:49
1397
在三星决定7nm率先导入
EUV后,让
EUV输出率获得快速提升,台积电决定在7nm强化版提供客户设计定案,5nm才决定全数导入。
2017-08-23 08:38:23
1779
极紫外 (
EUV) 光刻系统是当今使用的最先进的光刻系统。本文将介绍这项重要但复杂的技术。
2023-06-06 11:23:54
688
韩媒BusinessKorea昨日报道,三星有意一口气买下10台单价为1.76亿美元的
EUV。三星如果真的这样做,那就会提升其在7nm等先进工艺上的领先优势。这一方面是由于
EUV设备是未来集成电路
2017-10-24 06:47:00
6044
根据全球唯一能供应
EUV光刻机机台的ASML最新官方消息揭露,截至2018年底,已对全球晶圆大厂供应29台
EUV机台(2017年占11台),且2019年有望再出货30台
EUV机台。从2019年全球
EUV机台倍数成长的现象观察可知,2019年将是7nm
EUV半导体产品元年。
2019-03-07 14:35:47
1108
根据最新数据显示,ASML在12月中完成了第100台
EUV光刻机的出货。更加利好的消息是,业内预估ASML今年(2021年)的
EUV光刻机产能将达到45~50台的规模。
2021-01-03 00:28:00
4735
韩国三星近期积极将极紫外(
EUV)曝光技术应用在采用1z纳米制程的DRAM记忆体生产上,并且完成了量产。而根据半导体分析机构《TechInsights》拆解了分别采用
EUV曝光技术和ArF-i曝光
2021-02-22 10:31:36
2509
EUV产量到位了,是不是也该考虑良率了? 在当前的半导体制程不断往7nm以下发展时,
EUV光刻机就成了IDM和代工厂必不可少的工具之一。随着台积电、三星、英特尔和SK海力士等企业的
EUV光刻机
2021-07-22 09:22:36
6730
作为近乎垄断的光刻机巨头,ASML的
EUV光刻机已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星,
EUV光刻机的购置已经是生产支出中很大的一笔,也成了7nm之下不可或缺的制造设备
2021-12-01 10:07:41
10988
德赢Vwin官网 网报道(文/周凯扬)到了3nm这个工艺节点之后,单靠现有的0.33NA
EUV光刻机就很难维系下去了。为了实现2nm乃至未来的埃米级工艺,将晶体管密度推向1000MTr/mm2,全面
2022-12-07 01:48:00
2199
德赢Vwin官网 网报道(文/周凯扬)随着欧美韩等国家均已引进
EUV光刻机,为其晶圆代工厂提供最先进的工艺支持,日本虽然半导体制造水平这些年来提升不大,却也计划引进
EUV光刻机来打破这一困局,重回行业一流
2023-10-10 01:13:00
1438
德赢Vwin官网 网报道(文/周凯扬)随着双碳目标的提出,越来越多的行业应用开始注意到能耗问题,尤其是在半导体制造设备上。就拿我们常常提及的
EUV光刻机来说,就是一个不折不扣的耗电大户,结合光刻半导体
2023-10-25 01:14:00
1062
ofweek电子工程网讯 国际半导体制造龙头三星、台积电先后宣布将于2018年量产7纳米晶圆制造工艺。这一消息使得业界对半导体制造的关键设备之一极紫外光刻机(
EUV)的关注度大幅提升。此后又有媒体
2017-11-14 16:24:44
MAX1614
EUV- High-Side, n-Channel MOSFET Switch Driver Internal On/Off Latch - Maxim Integrated Products
2022-11-04 17:22:44
荷兰ISTEQ公司TEUS系列
EUV光源产品介绍:ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体(LPP)的
EUV光源。该光源具有极高的亮度和极高的稳定性。它采用可自刷新的材料,无需中断和更换燃料盒
2023-07-05 16:06:24
荷兰ISTEQ公司TEUS系列
EUV光源产品介绍:ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体(LPP)的
EUV光源。该光源具有极高的亮度和极高的稳定性。它采用可自刷新的材料,无需中断和更换燃料盒
2023-07-05 16:16:48
分析:450mm,
EUV,TSV都将延迟 现在不用再期待了,根据IC insights公司的数据,看起来两个两个正在显现的重要的IC制造技术都将延迟,包括450mm晶圆和远紫外(
EUV)光刻
2010-01-26 09:02:25
694
进入10nm工艺节点之后,
EUV光刻机越来越重要,全球能产
EUV光刻机的就是荷兰ASML公司了,他们总共卖出18台
EUV光刻机,总价值超过20亿欧元,折合每套系统售价超过1亿欧元,可谓价值连城。
2017-01-19 18:22:59
3470
尽管
EUV现在还存在各种障碍,但是其未来应用前景依然各方被看好。从长远角度来看,发展
EUV技术是非常必要的。对此,林雨指出:“自上世纪九十年代起,中国便开始关注并发展
EUV技术。最初开展的基础性
2017-11-15 10:13:55
1240
非
EUV技术的7纳米制程,直接上7纳米LPP
EUV制程技术的原因。如今,三星终于公布了7纳米LPP制程已完成新思科技(Synopsys)物理认证,意味着7纳米
EUV制程将可全球量产了。
2018-06-19 15:06:00
4522
尽管极紫外光(
EUV)步进机的大量生产面临复杂的问题以及紧迫的时间,专家们仍然抱持乐观态度...
2018-06-01 16:01:49
2726
另外,7nm
EUV的好处还在于,比多重曝光的步骤要少,也就是相同时间内的产量将提升。当然,这里说的是最理想的情况, 比如更好的
EUV薄膜以减少光罩的污染、自修正机制过关堪用等。三星称,7nm
EUV若最终成行,将被证明是成本更优的方案。
2018-06-22 15:53:45
3469
台积电前不久试产了7nm
EUV工艺,预计明年大规模量产,三星今天宣布量产7nm
EUV工艺,这意味着
EUV工艺就要正式商业化了,而全球最大的光刻机公司荷兰ASML为这一天可是拼了20多年。
2018-10-19 10:49:29
3306
随着三星宣布7nm
EUV工艺的量产,2018年
EUV光刻工艺终于商业化了,这是
EUV工艺研发三十年来的一个里程碑。不过
EUV工艺要想大规模量产还有很多技术挑战,目前的光源功率以及晶圆产能输出还没有
2018-10-30 16:28:40
3376
随着晶圆代工厂台积电及记忆体厂三星电子的7纳米逻辑制程均支援极紫外光(
EUV)微影技术,并会在2019年进入量产阶段,半导体龙头英特尔也确定正在开发中的7纳米制程会支援新一代
EUV技术。
2019-01-03 11:31:59
3812
据台媒2月12日报道,为延续7纳米制程领先优势,台积电支持极紫外光(
EUV)微影技术的7nm加强版制程将按既定时间于3月底正式量产,而全程采用
EUV技术的5nm制程也将在今年第2季进入风险试产。
2019-02-16 11:11:15
4482
将光刻技术转移到
EUV波段意味着材料和光源的巨大变化。新的13.5纳米
EUV等离子体光源取代了193纳米波长的紫外激光器。光子能量随着波长的减小而增加,因此来自激光驱动的新型等离子体
EUV光源的每个光子所携带的能量是来自旧激光光源的光子的14倍。
2019-03-16 10:32:21
5629
多重成像技术结合起来使用,但这在无形中提升了制造成本,拉长了工艺周期。为了通过提升技术成本来平衡工序成本和周期成本,厂商们将底牌压在了
EUV光刻机身上,但是
EUV真的能够满足厂商们的期盼吗?
2019-04-03 17:26:55
4449
由于三星去年就小规模投产了7nm
EUV,同时ASML(荷兰阿斯麦)将
EUV光刻机的年出货量从18台提升到今年的预计30台,显然促使台积电不得不加快脚步。
2019-04-30 17:30:03
7913
继台积电、三星晶圆代工、英特尔等国际大厂在先进逻辑制程导入极紫外光(
EUV)微影技术后,同样面临制程微缩难度不断增高的DRAM厂也开始评估采用
EUV技术量产。三星电子今年第四季将开始利用
EUV技术生产1z纳米DRAM,SK海力士及美光预期会在1α纳米或1β纳米评估导入
EUV技术。
2019-06-18 17:20:31
2438
DRAM厂商在面对DRAM价格不断下跌的困境下,已经在考虑导入
EUV技术用于制造DRAM,主要目的是为了降低成本。
2019-06-21 09:10:01
2047
根据国外媒体报导,曾表示目前制程技术还用不上
EUV技术的各大DRAM厂在目前DRAM价格直直落,短期看不到止跌讯号的情况下,也顶不住生产成本的压力,开始考量导入
EUV技术,以降低生产成本。南韩三星将在2019 年底前正式导入。
2019-06-21 10:13:34
3319
当前半导体制程微缩到10纳米节点以下,包括开始采用的7纳米制程,以及未来5纳米、3纳米甚至2纳米制程,
EUV极紫外光光刻技术已成为不可或缺的设备。藉由
EUV设备导入,不仅加快生产效率、提升良率,还能
2019-07-05 15:32:48
2520
在上周的Semicon West上,ASML提供了有关当前
EUV系统以及正在开发的0.55高NA系统的最新信息。
2019-07-27 10:37:33
3351
格芯首席技术官Gary Patton表示,如果在5nm的时候没有使用
EUV光刻机,那么光刻的步骤将会超过100步,这会让人疯狂。所以所
EUV光刻机无疑是未来5nm和3nm芯片的最重要生产工具,未来围绕
EUV光刻机的争夺战将会变得异常激烈。因为这是决定这些厂商未来在先进工艺市场竞争的关键。
2019-09-03 17:18:18
12845
近些年来
EUV光刻这个词大家应该听得越来越多,三星在去年发布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm
EUV工艺打造的芯片,台积电的7nm+也是他们首次使用
EUV光刻的工艺,苹果的A13
2020-02-29 10:58:47
3149
近些年来
EUV光刻这个词大家应该听得越来越多,三星在去年发布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm
EUV工艺打造的芯片,台积电的7nm+也是他们首次使用
EUV光刻的工艺,苹果的A13
2020-02-29 11:42:45
29308
据ZDnet报道,三星宣布,已成功将
EUV技术应用于DRAM的生产中。
2020-03-25 16:24:39
2783
台媒称,翔名切入台积电5nm极紫外光(
EUV)光罩盒表面处理业务,与
EUV光罩盒大厂接洽合作机会,以独家专利无电镀镍(ENP)表面处理技术来提升产品良率,目前该光罩盒厂正进行评估测试,未来获台积电
EUV制程指定产品入场门票机会大增。
2020-07-24 17:27:20
671
与此同时, 他指出,
EUV继续为ASML的客户提高产量,迄今为止,他们的客户已经使用
EUV光刻机曝光了超过1100万个
EUV晶圆,并交付了57个3400x
EUV系统(3400平台是
EUV生产平台)。
2020-08-14 11:20:55
2048
据估算,ASML今年下半年可能会再出货 22 台
EUV设备,明年全年最多50台。据台媒DIGITIMES报导,台积电也将扩大采购
EUV设备,抢下ASML明年超过1/3的供货,这样一来台积电明年
2020-09-29 17:26:24
802
据中国台湾经济日报报道,三星(Samsung)明年可能导入极紫外光(
EUV)技术生产内存,美光(Micron)企业副总裁、中国台湾美光董事长徐国晋表示,美光不打算跟进,目前并无采用
EUV计划
2020-10-12 09:36:18
1660
ASML的
EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备,其中10nm及以下的芯片制造,
EUV光刻机必不可缺。一台
EUV光刻机的售价为1.48亿欧元,折合人民币高达11.74亿元
2020-10-19 12:02:49
9647
台积电是第一家将
EUV(极紫外)光刻工艺商用到晶圆代工的企业,目前投产的工艺包括N7+、N6和N5三代。
2020-10-22 14:48:56
1425
ASML公司的
EUV光刻机全球独一份,现在主要是用在7nm及以下的逻辑工艺上,台积电、三星用它生产CPU、GPU等芯片。马上内存芯片也要跟进了,SK海力士宣布明年底量产
EUV工艺内存。
2020-10-30 10:54:21
1646
据韩媒报道,三星副董事长李在镕在访问荷兰期间,在会议上要求ASML在一个月内交付三星已购买的9台
EUV光刻设备。 报道称,ASML正在审查三星的要求,这部分
EUV设备最早可于11月运往韩国。 据悉
2020-10-30 14:13:08
1269
在半导体工艺进入7nm之后,
EUV光刻机就成为兵家必备大杀器了,全球也只有ASML公司能生产,单价达到10亿人民币一台。不过在
EUV技术上,ASML还真不一定就是第一,专利比三星还少。
2020-11-17 09:33:37
1298
在半导体工艺进入7nm之后,
EUV光刻机就成为兵家必备大杀器了,全球也只有ASML公司能生产,单价达到10亿人民币一台。不过在
EUV技术上,ASML还真不一定就是第一,专利比三星还少。
2020-11-17 10:25:18
2211
体上,三分之二的调查参与者认为这将产生积极的影响。前往
EUV时,口罩的数量减少了。这是因为
EUV将整个行业带回单一模式。具有多个图案的193nm浸入需要在高级节点处使用更多的掩模。
2020-11-23 14:42:09
1096
目前,
EUV光刻机的部署安装主要在台积电、三星的晶圆代工厂。不过,内存厂商们也开始着手上马了。
2020-11-27 09:09:09
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据中国台湾经济日报报道,
EUV光刻机制造商 ASML 首席执行官 Peter Wennink 带领高管拜访三星,双方寻求技术与投资合作。三星希望能抢在台积电之前,取得 ASML 下一代
EUV
2020-12-02 11:16:57
1536
继SK海力士日前宣布在M14和建设中的M16工厂均引入
EUV光刻机后,三星也坐不住了。 按照三星的说法,自2014年以来,
EUV光刻参与的晶圆超过了400万片,公司积累了丰富的经验,也比其它厂商掌握
2020-12-04 18:26:54
2201
根据韩国媒体《Etnews》报导指出,目前全球3大DRAM存储器中尚未明确表示采用
EUV极紫外光刻机的美商美光(Micron),因日前招聘网站开始征求
EUV工程师,揭露美光也在进行
EUV运用于DRAM先进制程,准备与韩国三星、SK海力士竞争
2020-12-25 14:33:10
1459
美国美光科技开始提速
EUVDRAM。加入到三星电子、SK海力士等全球第一、第二
EUV厂商选择的
EUV阵营后,后续
EUV竞争或将更为激烈。
2020-12-25 14:43:13
1642
之前有消息称,台积电正在筹集更多的资金,为的是向ASML购买更多更先进制程的
EUV光刻机,而这些都是为了新制程做准备。
2020-12-29 09:22:48
2192
EUV(极紫外光)光刻机,是目前半导体产业已投入规模生产使用的最先进光刻机类型。近来,有不少消息都指出,
EUV光刻机耗电量非常大,甚至它还成为困扰台积电的一大难题。 为何
EUV光刻机会这么耗电
2021-02-14 14:05:00
3915
近期三星为争抢
EUV设备,高层频频传出密访ASML,
EUV的重要性早已不言而喻。提到
EUV,大家首先想到的就是ASML,ASML并不是一个家喻户晓的名字,但他却是现代技术的关键。因为它提供了制造
2021-01-16 09:43:11
2542
近期三星为争抢
EUV设备,高层频频传出密访ASML,
EUV的重要性早已不言而喻。提到
EUV,大家首先想到的就是ASML,ASML并不是一个家喻户晓的名字,但他却是现代技术的关键。因为它提供了制造半导体必不可少的“光刻”机器,在摩尔定律即将发展到尽头的现在,可以说,得
EUV者得先进工艺。
2021-01-16 09:44:47
2137
近期三星为争抢
EUV设备,高层频频传出密访ASML,
EUV的重要性早已不言而喻。提到
EUV,大家首先想到的就是ASML,ASML并不是一个家喻户晓的名字,但他却是现代技术的关键。因为它提供了制造半导体必不可少的“光刻”机器,在摩尔定律即将发展到尽头的现在,可以说,得
EUV者得先进工艺。
2021-01-16 10:32:57
4386
目前,还有ASML有能力生产最先进的
EUV光刻机,三星、台积电都是ASML的客户。但受《瓦森纳协定》的制约,中国大陆没有从ASML买来一台
EUV光刻机。
2021-01-21 08:56:18
4078
ASML公司前两天发布了财报,全年净销售额140亿欧元,
EUV光刻机出货31台,带来了45亿欧元的营收,单价差不多11.4亿欧元了。 虽然业绩增长很亮眼,但是ASML也有隐忧,实际上
EUV光刻机
2021-01-22 17:55:24
2639
随着半导体工艺进入10nm节点以下,
EUV光刻机成为制高点,之前台积电抢购了全球多数的
EUV光刻机,率先量产7nm、5nm工艺,现在内存厂商也要入场了,SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购
EUV光刻机。
2021-02-25 09:28:55
1644
随着半导体工艺进入10nm节点以下,
EUV光刻机成为制高点,之前台积电抢购了全球多数的
EUV光刻机,率先量产7nm、5nm工艺,现在内存厂商也要入场了,SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购
EUV光刻机。
2021-02-25 11:39:09
1844
三星一方面在积极向唯一的
EUV光刻机厂商ASML争取订单,另外一方面也在增资为
EUV产业链输血。
2021-03-04 09:52:41
1757
三星一方面在积极向唯一的
EUV光刻机厂商ASML争取订单,另外一方面也在增资为
EUV产业链输血。
2021-03-04 10:13:05
1665
日前,ASML产品营销总监Mike Lercel向媒体分享了
EUV(极紫外)光刻机的最新进展。
2021-03-19 09:39:40
4630
从2019年开始,晶圆厂就开始有限度地将极紫外线(
EUV)光刻技术用于芯片的大批量制造(HVM)。在当时,ASML的Twinscan NXE系列光刻机能够满足客户的基本生产需求,然而整个
EUV
2021-04-08 11:09:40
1989
因此除了台积电、三星及英特尔等晶圆厂争抢
EUV,后续包含美光、SK海力士也需要大量
EUV设备。乘着5G普及的“顺风”,半导体微缩化需求逐步高涨,半导体厂家加速导入
EUV,
EUV设备成为炙手可热的产品。
2021-05-18 09:49:51
2182
德赢Vwin官网 网报道(文/周凯扬)作为近乎垄断的光刻机巨头,ASML的
EUV光刻机已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星,
EUV光刻机的购置已经是生产支出中很大的一笔,也成了
2021-12-07 14:01:10
10742
台积电和三星从7nm工艺节点就开始应用
EUV光刻层了,并且在随后的工艺迭代中,逐步增加半导体制造过程中的
EUV光刻层数。
2022-05-13 14:43:20
2077
先进光刻工艺
EUV相关知识,适合对半导体工艺有兴趣的人员,或者是从事光刻工艺的工程师
2022-06-13 14:48:23
1
HVM中的
EUV光刻 •背景和历史 •使用NXE的
EUV光刻:3400B •
EUV生成原理 •
EUV来源:架构 •现场
EUV源 •电源展望 •总结
2022-06-13 14:45:45
0
中国芯的进步那是有目共睹,我国在光刻机,特别是在
EUV光刻机方面,更是不断寻求填补空白的途径。
2022-07-05 10:38:35
16742
EUV光刻机是在2018年开始出现,并在2019年开始大量交付,而台积电也是在2019年推出了7nm
EUV工艺。
2022-07-07 09:48:44
4523
说到芯片,估计每个人都知道它是什么,但说到光刻,许多人可能不知道它是什么。光刻机是制造芯片的机器和设备。没有光刻机的话,就无法生产芯片,因此每个人都知道光刻机对芯片制造业的重要性。那么
euv光刻机
2022-07-10 11:42:27
6977
可以生产出纳米尺寸更小、功能更强大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由
EUV光刻机生产。
EUV光刻机有光源系统、光学镜头、双工作台系统三大核心技术。 目前,最先进的光刻机是荷兰ASML公司的
EUV光刻机。预计在光路系统的帮助下,能
2022-07-10 14:35:06
6173
目前,光刻机主要分为
EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,
EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,
EUV使用的是深紫外光刻技术。
EUV为先进工艺芯片光刻的发展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:10
78127
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机,是大规模集成电路生产的核心设备,对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由
EUV光刻机生产。那么
euv光刻机原理是什么呢?
EUV
2022-07-10 15:28:10
15099
德赢Vwin官网 网报道(文/ 周凯扬 )到了3nm这个工艺节点之后,单靠现有的0.33NA
EUV光刻机就很难维系下去了。 为了实现2nm乃至未来的埃米级工艺,将晶体管密度推向1000MTr/mm2,全面
2022-12-07 07:25:02
952
从出货量的不断增多,再到产品的更新换代。ASML尝到了
EUV带给他的红利,但是ASML的首席技术官透露
EUV即将走到尽头,之后的技术可能根本实现不了。
2023-01-30 16:31:49
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但imec先进成像、工艺和材料高级副总裁斯蒂芬·希尔(Steven Scheer)在接受采访时非常理性地指出,要经济高效地引入High NA
EUV光刻机,还需翻越“四堵墙”,包括改进
EUV光刻胶的厚度、底层材料的属性、3D掩膜效应对成像的影响,以及与新型逻辑晶体管、存储芯片组件进行协同设计。
2023-03-17 09:27:09
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DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lithography),
EUV是极深紫外线(Extreme Ultraviolet Lithography)。前者采用极紫外光刻技术,后者采用深紫外光刻技术。
2023-03-20 14:23:24
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EUV光刻技术仍被认为是实现半导体行业持续创新的关键途径。随着技术的不断发展和成熟,预计
EUV光刻将在未来继续推动芯片制程的进步。
2023-05-18 15:49:04
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asml是
euv技术开发的领先者。asml公司是半导体领域光刻机生产企业的领头羊,也是全球市场占有率最大的光刻机生产企业。2012年,asml推出了世界上第一个
euv试制品,并于2016年推出了
euv第一个商用显卡制造机asmlnxe:3400b。
2023-06-08 09:37:55
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EUV(Extreme Ultraviolet)光刻机是一种高级光刻设备,用于半导体制造业中的微电子芯片生产。
EUV光刻机是目前最先进的光刻技术之一,它采用极端紫外光作为曝光光源,具有更短的波长
2023-07-24 18:19:47
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EUV掩膜,也称为
EUV掩模或
EUV光刻掩膜,对于极紫外光刻(EUVL)这种先进光刻技术至关重要。
EUV光刻是一种先进技术,用于制造具有更小特征尺寸和增强性能的下一代半导体器件。
2023-08-07 15:55:02
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今年的大部分讨论都集中在
EUV的下一步发展以及高数值孔径
EUV的时间表和技术要求上。ASML战略营销高级总监Michael Lercel表示,目标是提高
EUV的能源效率,以及他们下一代高数值孔径
EUV工具的开发状况。
2023-08-11 11:25:25
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EUV光刻胶材料是光敏物质,当受到
EUV光子照射时会发生化学变化。这些材料在解决半导体制造中的各种挑战方面发挥着关键作用,包括提高灵敏度、控制分辨率、减少线边缘粗糙度(LER)、降低释气和提高热稳定性。
2023-09-11 11:58:42
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近20年来,
EUV光源、
EUV掩模和
EUV光刻胶一直是
EUV光刻的三大技术挑战。
2023-09-14 09:45:12
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EUV光是指用于微芯片光刻的极紫外光,涉及在微芯片晶圆上涂上感光材料并小心地将其曝光。这会将图案打印到晶圆上,用于微芯片设计过程中的后续步骤。
2023-10-30 12:22:55
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EUV曝光是先进制程芯片制造中最重要的部分,占据总时间、总成本的一半以上。由于这种光刻机极为复杂,因此ASML每年只能制造约60台,而全球5家芯片制造商都依赖ASML的
EUV光刻机,包括英特尔、美光、三星、SK海力士、台积电。目前,AMSL约有70%的
EUV光刻机被台积电购买。
2023-11-22 16:46:56
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三星D1a nm LPDDR5X器件的
EUV光刻工艺
2023-11-23 18:13:02
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高数值孔径
EUV今年的大部分讨论都集中在
EUV的下一步发展以及高数值孔径
EUV的时间表和技术要求上。ASML战略营销高级总监Michael Lercel表示,其目标是提高
EUV的能源效率,以及下一代高数值孔径
EUV工具的发展状况。
2023-11-23 16:10:27
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在讨论ASML以及为何复制其技术如此具有挑战性时,分析通常集中在
EUV机器的极端复杂性上,这归因于竞争对手复制它的难度。
2024-01-17 10:46:13
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