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光刻技术:光学关键尺寸测量(OCD)原理

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深紫外光刻复杂照明光学系统设计

。照明系统是光刻机的重要组成部分,其主要作用是提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴照明,以提高光刻分辨率和增大焦深。论文以深紫外光刻照明系统光学设计为研究方向,对照明系统关键单元进行了光学设计与仿真研究。
2023-07-17 11:02:38592

闪测仪如何测量工件尺寸的?

闪测仪是一种常用的测量工具,可用于测量工件的尺寸。它是一种利用图像处理、数据分析等技术进行尺寸测量的仪器。具有的高精度测量能力,能够准确地测量工件的长度、宽度、高度等尺寸参数。仪器具有高精度、高效率
2023-08-15 10:31:45628

光学光刻技术有哪些分类 光刻技术的原理

光学光刻是通过广德照射用投影方法将掩模上的大规模集成电路器件的结构图形画在涂有光刻胶的硅片上,通过光的照射,光刻胶的成分发生化学反应,从而生成电路图。限制成品所能获得的最小尺寸光刻系统能获得的分辨率直接相关,而减小照射光源的波长是提高分辨率的最有效途径。
2023-10-24 11:43:15271

智能化驱使下,中图仪器光学3D成像测量技术的创新应用

基础和重要的项目。目前常用的微结构表面形貌测量方法分为接触式和非接触式。运用非接触式测量技术的3D光学检测仪器,大多是基于光学方法(干涉显微法、自动聚焦法、激光干涉法、光学显微干涉法等),可对精密零部件
2023-07-06 13:24:240

m12线束厂都是如何测量尺寸的?

电蜂优选工程师说道测量M12线束的尺寸是确保插头与相应的测量设备或接口兼容的关键任务。尺寸测量包括测量插头的长度、直径、螺纹规格、引脚间距等参数。
2023-11-02 14:09:22499

超精密光学3D测量仪器的价值和意义

光学测量仪器结合镜头防撞保护技术、精密双重隔振技术以及环境噪声评价技术,具有高精度、自动化程度高、实时反馈和范围广等优势,可以实现自动化测量和高效调整,可对精密零部件的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸实现微纳级测量
2023-11-30 09:13:110

VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求

PCB外形尺寸全检的神器-VX9000系列光学扫描成像测量机,获得了客户的广泛认可和一致好评。VX9000系列光学扫描成像测量机以光学成像测量系统为基础,配合高精度运
2023-12-01 08:08:15156

几何尺寸测量工具介绍

传统的几何尺寸测量仪器设备包括千分尺、角度尺、游标卡尺等,这些仪器能够满足一般的几何量测量需求。但是随着科技的发展,越来越多高精度测量仪器被应用于几何量测量领域。从纳米级光学3D表面轮廓仪通过光学
2023-12-26 17:16:39361

光学三维测量技术的原理是什么?

光学三维测量技术是一种重要的非接触式测量方法,广泛应用于工程、制造、设计等领域。
2024-02-22 10:40:42277

闪测影像|中图闪测仪,一键自动批量测量尺寸

闪测仪可以快速完成尺寸测量,一键即可测量二维平面尺寸测量,或是搭载光学非接触式测头实现高度尺寸、平面度等参数的精密快速测量。不仅能够大大提高测量效率,还能减少人为因素对测量结果的影响,保证测量的准确性和稳定性。
2024-02-26 13:40:0197

闪测影像|中图闪测仪,一键自动批量测量尺寸

采集卡、图像处理软件等组件构成。闪测仪就是利用先进的光学原理和图像处理技术,高速获取并分析产品的尺寸信息。中图闪测仪基于机器视觉的自动测量技术,采用双远心高分辨率光
2024-03-04 13:40:010

VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求

PCB外形尺寸全检的神器-VX9000系列光学扫描成像测量机,获得了客户的广泛认可。 VX9000系列光学扫描成像测量机以光学成像测量系统为基础,配合高精度
2023-12-01 09:29:55

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