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半导体制程之薄膜沉积

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2023-07-11 11:25:552902

半导体前端工艺:沉积——“更小、更多”,微细化的关键

半导体制程中,移除残余材料的“减法工艺”不止“刻蚀”一种,引入其他材料的“加法工艺”也非“沉积”一种。比如,光刻工艺中的光刻胶涂敷,其实也是在基底上形成各种薄膜;又如氧化工艺中晶圆(硅)氧化,也需要在基底表面添加各种新材料。那为什么唯独要强调“沉积”工艺呢?
2023-08-17 15:33:27370

半导体制冷器的五个系列及应用简介

半导体制冷器也叫半导体制冷模组、半导体热电制冷模组、热电制冷模块,热电制冷器等。它是由半导体制冷片及其两侧添加传热结构组合而成的温控器件。半导体制冷器两侧的传热结构将制冷片冷面的制冷量与被冷却空间
2023-08-25 17:58:421903

半导体设备系列研究-薄膜沉积设备.zip

半导体设备系列研究-薄膜沉积设备
2023-01-13 09:06:526

[半导体前端工艺:第二篇] 半导体制程工艺概览与氧化

[半导体前端工艺:第二篇] 半导体制程工艺概览与氧化
2023-11-29 15:14:34541

半导体制造之薄膜工艺讲解

薄膜沉积技术主要分为CVD和PVD两个方向。 PVD主要用来沉积金属及金属化合物薄膜,分为蒸镀和溅射两大类,目前的主流工艺为溅射。CVD主要用于介质/半导体薄膜,广泛用于层间介质层、栅氧化层、钝化层等工艺。
2023-12-05 10:25:18999

什么是薄膜与厚膜?薄膜与厚膜有什么区别?

半导体制造领域,我们经常听到“薄膜制备技术”,“薄膜区”,“薄膜工艺”等词汇,那么有厚膜吗?答案是:有。
2024-02-25 09:47:42237

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