根据
ASML财报显示， 2018年Q4季
EUV
光刻机设备完成5台交付，全年
EUV
光刻机设备总销量达到18台，并计划2019年将完成30台的交付量。 图1：
ASML2014~2018财年营收对照分析
2019-01-25 14:50:50
10824
针对近几日多家媒体报道的有关
ASML公司对中芯国际订购的
EUV
光刻机设备有意延迟的推测。二家公司今日均发表内容回应。
ASML回应如下： 关于日经新闻（NIKKEI）昨日报导，其标题和内容呈现造成
2019-11-08 01:24:00
4924
，相比上一代产品，新款
EUV
光刻机生产效率将提升18%，曝光速度为30mj/cm，每小时可处理160片晶圆。 有意思的是，在2019年的年报中，
ASML便提到正在
研发新一代
EUV
光刻机的计划，不过并未透露具体型号，只是披露将在2022年初计划出货，
2024年后大规模生产。而此次所公布的
EUV
光刻机如
2020-10-17 05:02:00
3456
极紫外 (
EUV)
光刻
系统是当今使用的最先进的
光刻
系统。本文将介绍这项重要但复杂的技术。
2023-06-06 11:23:54
688
他们正在
研发下一代极紫外
光刻机的，计划在2022年年初开始出货，
2024/2025年大规模生产。 在
EUV
光刻机方面，荷兰
ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的
EUV
光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，
ASML公司正在
研发新一代
EUV
光刻机，预计在2022年开始出货。根据
2020-03-18 09:16:39
2659
根据最新数据显示，
ASML在12月中完成了第100台
EUV
光刻机的出货。更加利好的消息是，业内预估
ASML今年（2021年）的
EUV
光刻机产能将达到45~50台的规模。
2021-01-03 00:28:00
4735
，我国因为贸易条约被迟迟卡住不放行的也是一台
EUV
光刻机。 但
EUV
光刻机的面世靠的不仅仅是
ASML一家的努力，还有
蔡司和TRUMPF（通快）两家欧洲光学巨头的
合作才得以成功。他们的技术分别为
EUV
光刻机的镜头和光源做出了不小的贡献，也让欧洲成了唯一
2021-12-01 10:07:41
10988
光刻机。然而在庞大的
光刻机中，由于包含了生成光、投射光的过程，同时又要精细控制光线，自然也就需要一套复杂无比的光学
系统。
EUV光学
系统唯一指定供应商——
蔡司提到
蔡司这个名号大家都不陌生了，小到眼镜镜片，大到医学显
2023-07-14 09:09:03
1690
ofweek电子工程网讯 国际半导体制造龙头三星、台积电先后宣布将于2018
年量产7纳米晶圆制造工艺。这一消息使得业界对半导体制造的关键设备之一极紫外
光刻机（
EUV）的关注度大幅提升。此后又有媒体
2017-11-14 16:24:44
是0.33，大家可能还记得之前有过一个新闻，就是
ASML投入20亿美元入股
卡尔·
蔡司公司，双方将
合作
研发新的
EUV
光刻机，许多人不知道
EUV
光刻机跟
蔡司有什么关系，现在应该明白了，
ASML跟
蔡司
合作
2020-07-07 14:22:55
你们好！我是
卡尔
蔡司提供测量服务中心 ，专业提供快速准确测量报告。我们测量设备比较多，三次元 光电 ct检测分析等等·····但对于比较复杂，比较小产品 电子方面的分析与测量，我们都采用3D计算机
2010-07-10 17:29:24
蔡司
合作超过三十多年。
卡尔
蔡司是
ASML透镜，反射镜，照明器，收集器和其他关键光学元件（即光学元件）的唯一供应商。
ASML与
卡尔
蔡司成了独家协议，如果
卡尔
蔡司无法维持和提高生产水平，
ASML可能无法
2023-03-21 15:57:28
据羊城晚报报道，近日中芯国际从荷兰进口的一台大型
光刻机，顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区，中芯国际发表公告称该
光刻机并非此前盛传的
EUV
光刻机，主要用于企业复工复产后的生产线扩容。我们知道
2021-07-29 09:36:46
进入10nm工艺节点之后，
EUV
光刻机越来越重要，全球能产
EUV
光刻机的就是荷兰
ASML公司了，他们总共卖出18台
EUV
光刻机，总价值超过20亿欧元，折合每套
系统售价超过1亿欧元，可谓价值连城。
2017-01-19 18:22:59
3470
光刻机，是半导体芯片生产中最重要的设备之一，荷兰
ASML公司已经成为全球
光刻机市场的一哥，垄断了高端光科技生产，在
EUV
光刻机领域更是独一份。
2018-07-19 16:52:00
2940
台积电前不久试产了7nm
EUV工艺，预计明年大规模量产，三星今天宣布量产7nm
EUV工艺，这意味着
EUV工艺就要正式商业化了，而全球最大的
光刻机公司荷兰
ASML为这一天可是拼了20多年。
2018-10-19 10:49:29
3306
达到理想状态，
EUV工艺还有很长的路要走。在现有的
EUV之外，
ASML与IMEC比利时微电子中心还达成了新的
合作协议，双方将共同
研发新一代
EUV
光刻机，NA数值孔径从现有的0.33提高到0.5，可以进一步提升
光刻工艺的微缩水平，制造出更小的晶体管。
2018-10-30 16:28:40
3376
阔的晶圆上从而提高半导体工艺分辨率，减少晶体管尺寸。 如今这项研究才刚刚开始，所以新一代
EUV
光刻工艺
问世时间还早，此前
ASML投资20亿美元入股
蔡司公司，目标就是
合作
研发NA=0.5的物镜
系统，之前公布的量产
2018-11-02 10:14:19
834
ASML的副总裁Anthony Yen日前表示，他们已经开始
研发下一代
光刻机。他表示，在他们公司看来，一旦现有的
系统到达了极限，他们有必要去继续推动新一代产品的发展，进而推动芯片的微缩。
2018-12-09 09:12:21
5632
ASML副总裁Anthony Yen表示，
ASML已开始开发极紫外（
EUV）
光刻机，其公司认为，一旦当今的
系统达到它们的极限，就将需要使用极紫外
光刻机来继续缩小硅芯片的特征尺寸。
2018-12-09 10:35:07
7142
在2年前尼康向
ASML以及其
合作伙伴
蔡司发起法律诉讼，指二者在未经尼康允许将微影技术用于旗下
光刻机，扯皮两年多后，三方总算达成和解。
2019-01-24 15:58:02
4630
就在日前，半导体设备大厂荷兰商艾司摩尔 （
ASML） 在财报会议上表示，2019 年
ASML将把极紫外
光刻机 （
EUV） 的年出货量从 18 台，提升到30 台之后，现有外国媒体报导，晶圆代工
2019-02-13 16:53:03
8511
荷兰半导体设备大厂商
ASML在财报会议上表示，外媒报导，晶圆代工龙头台积电增加订单，
ASML的2019的出货量从18台提高到30台，而台积电将抢下这30台
EUV中的18台，超越半数。
2019-02-21 14:23:11
3013
由于三星去年就小规模投产了7nm
EUV，同时
ASML（荷兰阿斯麦）将
EUV
光刻机的年出货量从18台提升到今年的预计30台，显然促使台积电不得不加快脚步。
2019-04-30 17:30:03
7913
ASML将中断
EUVPellicle（光罩防尘薄膜）技术的
研发，并将该技术转让与日本。
2019-06-09 14:51:00
3761
2016年，
ASML公司宣布斥资20亿美元收购德国
蔡司公司25%的股份，并投资数亿美元
合作
研发新一代透镜，而
ASML这么大手笔投资光学镜头公司就是为了
研发新一代
EUV
光刻机。
2019-07-13 09:40:16
5058
掌握全球唯一
EUV
光刻机
研发、生产的荷兰
ASML（阿斯麦）公司今天发布了2019年Q2季度财报，当季营收25.68亿欧元，其中净设备销售额18.51亿欧元，总计出货了41台
光刻机，其中
EUV
光刻机7台。
2019-07-18 16:02:00
3147
掌握全球唯一
EUV
光刻机
研发、生产的荷兰
ASML（阿斯麦）公司今天发布了2019年Q2季度财报，当季营收25.68亿欧元，其中净设备销售额18.51亿欧元，总计出货了41台
光刻机，其中
EUV
光刻机7台。
2019-07-23 10:47:21
3102
据韩媒报道称，
ASML正积极投资
研发下一代
EUV
光刻机，与现有
光刻机相比，二代
EUV
光刻机最大的变化就是High NA透镜，通过提升透镜规格使得新一代
光刻机的微缩分辨率、套准精度两大
光刻机核心指标提升70%，达到业界对几何式芯片微缩的要求。
2019-08-07 11:24:39
5849
在半导体工艺进入 10nm 节点之后，制造越来越困难，其中最复杂的一步——
光刻需要用到
EUV
光刻机了，而后者目前只有荷兰
ASML阿斯麦公司才能供应。
2019-12-10 16:04:28
7122
2月28日，美国泛林公司宣布与
ASML阿斯麦、IMEC比利时微电子中心
合作开发了新的
EUV
光刻技术，不仅提高了
EUV
光刻的良率、分辨率及产能，还将
光刻胶的用量最多降至原来的1/10，大幅降低了成本。
2020-02-29 11:20:58
3228
在
EUV
光刻机方面，荷兰
ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的
EUV
光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，
ASML公司正在
研发新一代
EUV
光刻机，预计在2022年开始出货。
2020-03-17 09:13:48
2863
在
EUV
光刻机方面，荷兰
ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的
EUV
光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，
ASML公司正在
研发新一代
EUV
光刻机，预计在2022年开始出货。
2020-03-17 09:21:19
4670
近日，荷兰
光刻机巨头阿斯麦（
ASML）公司2019年的年报中披露了关于下一代
EUV极紫
光刻机的
研发进程，预计2022年年初开始出货，
2024年实现大规模生产。
2020-03-17 15:25:59
3120
与此同时， 他指出，
EUV继续为
ASML的客户提高产量，迄今为止，他们的客户已经使用
EUV
光刻机曝光了超过1100万个
EUV晶圆，并交付了57个3400x
EUV
系统（3400平台是
EUV生产平台）。
2020-08-14 11:20:55
2048
了公司研究概况，他强调通过与
ASML公司紧密
合作，将下一代高分辨率
EUV
光刻技术高NA
EUV
光刻技术商业化。IMEC公司强调，将继续把工艺规模缩小到1nm及以下。 包括日本在内的许多半导体公司相继退出了工艺小型化，声称摩尔定律已经走到了尽头，或者说成本太高，无利可图。
2020-12-02 16:28:53
806
，当季
ASML共获得60台
光刻机的销售收入，总额31亿欧元，其中
EUV
光刻机14台，但收入占比达到了66%。 地区方面
2020-10-16 14:27:46
3951
ASML的
EUV
光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备，其中10nm及以下的芯片制造，
EUV
光刻机必不可缺。一台
EUV
光刻机的售价为1.48亿欧元，折合人民币高达11.74亿元
2020-10-19 12:02:49
9648
台积电是第一家将
EUV（极紫外）
光刻工艺商用到晶圆代工的企业，目前投产的工艺包括N7+、N6和N5三代。
2020-10-22 14:48:56
1425
根据韩国媒体《BusinessKorea》的报道，日前三星电子副董事长李在镕前往荷兰拜访
光刻机大厂
ASML，其目的就是希望
ASML的高层能答应提早交付三星已经同意购买的极紫外光
光刻设备（
EUV）。
2020-10-24 09:37:30
2866
日前三星电子副董事长李在镕前往荷兰拜访
光刻机大厂
ASML，其目的就是希望
ASML的高层能答应提早交付三星已经同意购买的极紫外光
光刻设备（
EUV）。
2020-10-24 09:39:06
1509
据韩媒报道，三星副董事长李在镕在访问荷兰期间，在会议上要求
ASML在一个月内交付三星已购买的9台
EUV
光刻设备。 报道称，
ASML正在审查三星的要求，这部分
EUV设备最早可于11月运往韩国。 据悉
2020-10-30 14:13:08
1269
11月5日，世界
光刻机巨头荷兰阿斯麦
ASML亮相第三届进博会。作为全球唯一能生产
EUV（极紫外光）
光刻机的企业，由于
ASML目前仍不能向中国出口
EUV
光刻机，所以此次展示的是其DUV（深紫外光）
光刻机。据悉，该产品可生产7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:27:46
5517
作为半导体制造中的核心设备，
光刻机无疑是芯片产业皇冠上的明珠，特别是先进工艺的
光刻机，7nm以下的都要依赖
ASML公司，
EUV
光刻机他们还是独一份。
2020-11-09 17:11:38
2195
ASML在
光刻机领域几乎是巨无霸的存在，而他们对于与中国企业
合作也是非常欢迎，无奈一些关键细节上被美国卡死。 中国需要
光刻机，尤其是支持先进制程的高端
光刻机，特别是
EUV（极紫外光源）
光刻
2020-11-10 10:08:04
3056
中国需要
光刻机，尤其是支持先进制程的高端
光刻机。具体来说，就是
EUV（极紫外光源）
光刻机。
2020-11-11 10:13:30
4278
龙头。 而在上世纪80年代，
ASML只是飞利浦和ASM合资的一家小公司。但伴随着半导体行业风云变化，短短二十年时间，
ASML就将昔日
光刻机大国美国和日本拉下神坛。如今，全球7nm及以下工艺的
EUV
光刻机，只有它能提供。那么，
ASML在
光刻机领域快
2020-11-13 09:28:51
5165
在半导体工艺进入7nm之后，
EUV
光刻机就成为兵家必备大杀器了，全球也只有
ASML公司能生产，单价达到10亿人民币一台。不过在
EUV技术上，
ASML还真不一定就是第一，专利比三星还少。
2020-11-17 10:25:18
2211
本月中旬，在日本东京举办了ITF论坛。 论坛上，与
ASML（阿斯麦）
合作
研发光刻机的比利时半导体研究机构IMEC公布了3nm及以下制程的在微缩层面技术细节。 至少就目前而言，
ASML对于3m、2nm
2020-11-30 15:47:40
2520
而由其所
研发生产的
EUV
光刻机更是在高端市场之中处于一家独大的位置。台积电作为
ASML的股东很轻松就能够获得
ASML的
EUV
光刻机，所以这边导致台积电一直以来在技术上领先于三星。当然能够在5纳米等工艺方面保持领先的地位，也是因为这个原因。
2020-12-01 12:03:15
2339
该报道称，包括CEO Peter Burnink在内的
ASML高管于上周访问了三星的半导体工厂，讨论了在
EUV
光刻机供应和开发方面的
合作。
2020-12-01 14:13:32
1984
工厂，讨论了在
EUV
光刻设备供应和开发方面的
合作。
ASML官员与三星电子副董事长金基南及其他三星重要高管进行了会谈。三星电子副会长李在镕没有参加会议。 业内人士认为，三星电子要求供应更多
EUV
光刻设备，并讨论了两家公司在开发下一代
EUV
光刻设备方面的
合作。 IT之家获悉，三
2020-12-02 10:06:10
1454
据中国台湾经济日报报道，
EUV
光刻机制造商
ASML首席执行官 Peter Wennink 带领高管拜访三星，双方寻求技术与投资
合作。三星希望能抢在台积电之前，取得
ASML下一代
EUV
2020-12-02 11:16:57
1536
只有荷兰
光刻机巨头
ASML能造，对此也有很多网友们感觉到非常疑惑，为何只有荷兰
ASML可以造顶尖
EUV
光刻机设备呢？像我国的上海微电子、日本的索尼、佳能都造不出来吗？
2020-12-03 13:46:22
6379
需要明白的是，
EUV
光刻机不是有钱就能买，因为
ASML每年的产能非常有限，2019年全年才出货了26台，今年上半年出货了13台，截至三季度结束累计才出货23台。
2020-12-11 13:56:20
2186
据报道，业内观察人士称，在新任副董事长蒋尚义的帮助下，中国芯片巨头中芯国际将寻求与荷兰半导体设备公司阿斯麦（
ASML）就
EUV
光刻设备进行谈判。 报道称，中芯国际一直难以从阿斯麦获得
EUV
2020-12-19 09:23:00
2445
据报道，业内观察人士称，在新任副董事长蒋尚义的帮助下，中国芯片巨头中芯国际将寻求与荷兰半导体设备公司阿斯麦（
ASML）就
EUV
光刻设备进行谈判。
2020-12-19 10:40:04
1630
荷兰阿斯麦公司作为掌握
光刻机
系统集成和整体架构的核心企业，自然成了欧美自家的小棉袄，顺利赶上了欧美
EUV技术研究发展的风口，投资德国
卡尔
蔡司，收购美国Cymer光源。集成世界各国顶尖科技的
EUV
2020-12-28 09:25:55
18165
之前有消息称，台积电正在筹集更多的资金，为的是向
ASML购买更多更先进制程的
EUV
光刻机，而这些都是为了新制程做准备。
2020-12-29 09:22:48
2192
Luc Van den hove表示，IMEC的目标是将下一代高分辨率
EUV
光刻技术高NA
EUV
光刻技术商业化。由于此前得
光刻机竞争对手早已经陆续退出市场，目前
ASML把握着全球主要的先进
光刻机产能，近年来，IMEC一直在与
ASML研究新的
EUV
光刻机，目前目标是将工艺规模缩小到1nm及以下。
2020-12-30 09:23:48
1673
半导体晶圆代工成为全球科技竞争的焦点，先进制程的角逐竞争日趋激烈，
ASML的
EUV
光刻机供应成为产业界关心的话题。2021年台积电和三星将需要
ASML供应多少台
EUV
光刻机？台湾和日本产
2020-12-30 17:53:35
4016
荷兰
ASML生产的
EUV
光刻机使用由激光产生，并通过巨型镜子聚焦的极紫外（
EUV）光束，在硅片上铺设非常狭窄的电路。这能让厂商制造更快、更强大的微处理器、内存芯片和其他先进元件。这些元件无论是对消费类电子产品，还是对军事应用来说都至关重要。
2021-01-08 10:25:32
2858
而2018年中芯与
ASML签订了一项
EUV
光刻机购买协议，以1.2亿美元购买一台
光刻机，但直到现在都没有交货，因为没有拿到出口许可证。
2021-01-08 11:37:51
2368
近期三星为争抢
EUV设备，高层频频传出密访
ASML，
EUV的重要性早已不言而喻。提到
EUV，大家首先想到的就是
ASML，
ASML并不是一个家喻户晓的名字，但他却是现代技术的关键。因为它提供了制造半导体必不可少的“
光刻”机器，在摩尔定律即将发展到尽头的现在，可以说，得
EUV者得先进工艺。
2021-01-16 10:32:57
4386
目前，还有
ASML有能力生产最先进的
EUV
光刻机，三星、台积电都是
ASML的客户。但受《瓦森纳协定》的制约，中国大陆没有从
ASML买来一台
EUV
光刻机。
2021-01-21 08:56:18
4078
在四季度财报会议上，荷兰
ASML（阿斯麦）表示，预计今年将出货交付40台
EUV
光刻机，比去年多9台。 CEO Peter Wennink估算今年
EUV
光刻机
系统的销售收入在58亿欧元左右。四季度
2021-01-21 15:30:22
1874
在四季度财报会议上，荷兰
ASML（阿斯麦）表示，预计今年将出货交付40台
EUV
光刻机，比去年多9台。
2021-01-21 15:16:43
1369
%，净利润达到36亿欧元。全球
光刻机主要玩家有
ASML、尼康和佳能三家，他们占到了全球市场90%。
ASML由于技术领先，一家垄断了第五代
光刻机
EUV
光刻机，这类
光刻机用于制造7nm以下先进制程的芯片。 2020年
ASML对外销售了31台
EUV
光刻机，带来了45亿欧元（折合352.52亿
2021-01-22 10:38:16
4677
量产是
2024-2025年间。
ASML的
EUV
光刻机目前主要是NEX:3400B/C系列，NA数值孔径是0.33，下一代
EUV
光刻
2021-01-22 17:55:24
2639
2020年
ASML对外销售了31台
EUV
光刻机，带来了45亿欧元（折合352.52亿元）的收入，占全年销售额的32.14%。每台折合11.37亿元的
EUV是一个庞然巨物，其利润率近50%，也就是每一台贡献的利润近6亿元。
2021-01-27 09:37:09
2423
ASML是
光刻机领域当之无愧的巨头，独占100%的
EUV
光刻机市场。而在半导体检测设备市场中，
ASML也有布局。
2021-02-20 15:34:56
3200
机。 据报道，SK海力士与
ASML公司签订了一个超级大单，未来5年内将斥资4.8万亿韩元，约合43.4亿美元购买
EUV
光刻机。 SK海力士在一份监管文件中称，这笔交易是为了实现下一代工艺芯片量产的目标。
ASML及SK海力士都没有透露这么多资金到底购买了多少台
EUV
光刻机，不过从之
2021-02-25 09:30:23
2047
一提起
ASML这家公司，就少不了对
光刻机问题的讨论，因为截至目前，
ASML仍然是全球最领先的
光刻机厂商。普通的DUV
光刻机就不多说了，
ASML每年都能卖出去很多台，而在更先进的
EUV
光刻机方面，
ASML更是占据了绝对垄断的地位。
2021-02-27 09:59:42
14073
三星一方面在积极向唯一的
EUV
光刻机厂商
ASML争取订单，另外一方面也在增资为
EUV产业链输血。
2021-03-04 09:52:41
1757
三星一方面在积极向唯一的
EUV
光刻机厂商
ASML争取订单，另外一方面也在增资为
EUV产业链输血。
2021-03-04 10:13:05
1665
ASML澄清：中芯国际批量购买
光刻机，仅限DUV！近日，中芯国际与
ASML达成12亿美元交易购买晶圆生产设备的消息引发关注。针对双方此次
合作，有媒体报道称“除了
EUV
光刻机，中芯国际几乎可以买到
2021-03-14 09:21:34
3916
5nm
光刻技术与
ASML
光刻机有何区别？
EUV
光刻机产能如何？ 大飞_6g（听友） 请问谢博士，
EUV
光刻机的产能是怎样的？比如用最先进的
光刻机，满负荷生产手机芯片麒麟990，每天能产多少片？中芯国际有多少台投入生产的
光刻机？是1台、5台还是10台呢？谢谢 谢志
2021-03-14 09:46:30
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近日，中芯国际与
ASML达成12亿美元交易购买晶圆生产设备的消息引发关注。针对双方此次
合作，有媒体报道称“除了
EUV
光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的
光刻机。”但是这一说法很快被
ASML官方澄清，该协议与DUV
光刻技术的现有协议相关。
2021-03-15 09:30:16
2471
日前，
ASML产品营销总监Mike Lercel向媒体分享了
EUV（极紫外）
光刻机的最新进展。
2021-03-19 09:39:40
4630
第二代
EUV
光刻机原本预计最快可以2023年
问世，但最新传闻称NXE:5000系列跳票，而且一下子就跳票三年，要到2025-2026年才有可能
问世了。 要知道，
ASML是全球唯一一家量产
EUV
光刻
2021-06-26 16:55:28
1203
7nm之下不可或缺的制造设备，我国因为贸易条约被迟迟卡住不放行的也是一台
EUV
光刻机。 但
EUV
光刻机的面世靠的不仅仅是
ASML一家的努力，还有
蔡司和TRUMPF（通快）两家欧洲光学巨头的
合作才得以成功。他们的技术分别为
EUV
光刻机的镜头和光源做出了不
2021-12-07 14:01:10
10742
媒体称三星的目的是为了抢到
ASML的
EUV
光刻机。 目前芯片短缺的现状大家也都清楚，再加上7nm制程以下的高端芯片只有
EUV
光刻机才能打造，而本来
EUV
光刻机就稀少，因此先进芯片发展频频受限，并且前段时间三星才刚刚和Intel洽谈完芯片
合作的事宜，因
2022-06-07 14:18:04
1176
日前，在台积电召开的会议上，有一名高管称台积电将于
2024年引进
ASML正在
研发的最新的High-NA
EUV
光刻机。 会议中，该高管称：为了满足客户所需的相关基础设施的开发等，台积电将于
2024
2022-06-17 16:33:27
6499
2nm制程的量产。 目前市面上最先进的是
EUV
光刻机，而其能够支持制造的先进制程工艺最高为3nm，也就是说，再往后的2nm等工艺就要用更加先进的
光刻机来完成。
ASML为此正在
研发一种特别的
EUV
光刻机——High-NA
EUV
光刻机。这种
光刻机所采用的技术能够
2022-06-22 14:44:16
1183
3nm制程，据了解，更加先进的制程就需要更先进的
光刻机来完成了。
光刻机厂商
ASML为此正在
研发新一代High NA
EUV
光刻机，这种
EUV
光刻机的NA数值孔径比现在0.33口径的
EUV
光刻机还要高，达到了0.55口径，也就是说High NA
EUV
光刻机的分辨率更高，能
2022-06-28 15:07:12
6676
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前世界上最先进的
光刻机是荷兰
ASML的
EUV
光刻机。
2022-07-06 11:03:07
7000
如今世界最先进的
EUV
光刻机，只有
asml一家公司可以制造出来。
2022-07-06 11:19:38
50686
EUV
光刻机是在2018年开始出现，并在2019年开始大量交付，而台积电也是在2019年推出了7nm
EUV工艺。
2022-07-07 09:48:44
4523
ASML的极紫外
光刻机（
EUV），这个是当前世界顶级的
光刻机设备。 在芯片加工的时候，
光刻机是用一系列光源能量和形状控制手段，通过带有电路图的掩模传输光束。
光刻设备涉及
系统集成、精密光学、精密运动、精密材料传输、高精度微环境控制等多项先
2022-07-10 11:17:42
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机可以生产出纳米尺寸更小、功能更强大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由
EUV
光刻机生产。
EUV
光刻机有光源
系统、光学镜头、双工作台
系统三大核心技术。 目前，最先进的
光刻机是荷兰
ASML公司的
EUV
光刻机。预计在光路
系统的帮助下，能
2022-07-10 14:35:06
6173
目前，
光刻机主要分为
EUV
光刻机和DUV
光刻机。DUV是深紫外线，
EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外
光刻技术，
EUV使用的是深紫外
光刻技术。
EUV为先进工艺芯片
光刻的发展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:10
78127
光刻机的原理是接近或接触
光刻，通过无限接近，将图案复制到掩模上。直写
光刻是将光束聚焦到一个点上，通过移动工作台或透镜扫描实现任意图形处理。投影
光刻是集成电路的主流
光刻技术，具有效率高、无损伤等优点。
EUV
光刻机有光源
系统、光学镜头、双工
2022-07-10 15:28:10
15099
与此同时，在
ASML看来，下一代高NA
EUV
光刻机为
光刻胶再度带来了挑战，更少的随机效应、更高的分辨率和更薄的厚度。首先传统的正胶和负胶肯定是没法用了，DUV
光刻机上常用的化学放大
光刻胶（CAR）也开始在5nm之后的分辨率和敏感度上出现瓶颈
2022-07-22 10:40:08
2010
对于3nm后的节点，
ASML及其
合作伙伴正在研究一种全新的
EUV工具——Twinscan EXE:5000系列，具有0.55 NA(High-NA)透镜，能够达到8nm分辨率，可以避免3nm及以上的多图案。
2022-08-17 15:44:04
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asml是
euv技术开发的领先者。
asml公司是半导体领域
光刻机生产企业的领头羊，也是全球市场占有率最大的
光刻机生产企业。2012年，
asml推出了世界上第一个
euv试制品，并于2016年推出了
euv第一个商用显卡制造机asmlnxe:3400b。
2023-06-08 09:37:55
3202
报道称，
ASML量产尖端半导体工艺所需的
EUV
光刻机。Rapidus 计划利用经产省提供的补贴，采购
EUV
光刻设备。IT之家注意到，
EUV
光刻机在全球范围内较为短缺，面临着台积电、英特尔、三星等巨头的争抢。报道指出，如果 Rapidus 和
ASML展开
合作，有望强化供应链。
2023-06-27 16:08:05
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EUV曝光是先进制程芯片制造中最重要的部分，占据总时间、总成本的一半以上。由于这种
光刻机极为复杂，因此
ASML每年只能制造约60台，而全球5家芯片制造商都依赖
ASML的
EUV
光刻机，包括英特尔、美光、三星、SK海力士、台积电。目前，AMSL约有70%的
EUV
光刻机被台积电购买。
2023-11-22 16:46:56
383
根据资料显示，在2012年，为了支持
ASML
EUV
光刻机的
研发与商用，并获得
EUV
光刻机的优先供应，在2012年，英特尔、台积电、三星均斥资入股了
ASML。2012年7月，英特尔入股
ASML获得15%股权，并出资10亿美元支持
研发。
2024-02-23 17:27:59
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ASML官网尚未上线 Twinscan NXE:3800E 的信息页面。 除了正在
研发的 High-NA
EUV
光刻机 Twinscan EXE 系列，
ASML也为其 NXE 系列传统数值孔径
2024-03-14 08:42:34
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