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`大家好: 有一个困惑：我们在AL ETCH+EKC之后扫描在线defect，发现有块状的AL residue, 怀疑干法etch，但是the defect不是PD and polymer残留，而且AL pattern define 是OK。 一直怀疑湿法EKC清洗之后残留，但是湿法的EKC存在有这种defect吗，同时查看同批run lot是OK的，很是困惑！ the defect OM照片发白，SEM 下就是落在AL pattern上的AL PD 附件是图片和EDX 成分分析，希望大家交流一下！ 我的QQ：645651066 [此贴子已经被作者于2010-8-4 21:09:42编辑过] `
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