TSC-145 质量流量控制器 TSC-145 质量流量控制器
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MKP气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密
半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
MKP致力于为客户提供专业的仪器仪表及精密稳定的过程控制设备。公司自成立以来,以灵活的经营机制,为客户提供更加专业化的、优质的服务,深受各界用户的欢迎,并且在石油、化工、电力等重点行业做出了突出成绩。如今产品远销美国、澳大利亚、波兰、日本、***、伊朗、新加坡、中国和印度等。我们将一如既往的为所有的客户提供更优质、高效的服务。
TSM-D200数字型气体质量流量计
TSM-D200气体质量流量计,采用数字控制回路,保证了大流量气体流量计的响应速度和精确度,可选本体带显示,更易于流量测量工程项目中的使用。
产品参数:
TSM-D200 量程范围:0-7sccm
TSM-D210量程范围:7-1500sccm
TSM-D220 量程范围:1.5-30slm
TSM-D230 量程范围:30-100slm
TSM-D240 量程范围:100-400slm
TSM-D245 量程范围:400-1000slm
TSM-D250 量程范围:1000-2500slm
TSM-D260 量程范围:2500-5000slm
流量测定范围:2%-100%满量程
精度:TSM-D200至TSM-D230:≤±1%;以上:≤±2%
响应时间:≤1sec
重复性:≤±0.2%满量程
选项:显示
密封材料:V
tion,Kalrez,PTFE等(可选)
数字接口:rs485
信号类型:模拟0-5V或4-20mA,数字RS485
法兰:3/8,1/2,3/4卡套或VCR,JIS系列(可选)
温度范围:5-50℃
预热时间:15min
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