[转帖]半导体技术

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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品，

美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者，

其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。

1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件

应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。

2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求.

1.多层厚度（1? 到 250 microns）

2.折射率n

3.吸收系数k

4.双折射率

5.能隙（Eg）

6.表面粗糙度和损伤

7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）

8.薄膜温度特性

9.晶元曲率和薄膜耐压性

技术参数

1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns

2. 重复性： ± 0°（△）

3. 折射率精度： ± 2*10^-5

4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选）

5. 入射角: 0°（70°可选）

6. 测试速度： 小于 15 s

7. 光斑直径： 小于 50 nm

应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。

详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下：

电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生

邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com

SCI 网址：http://www.sci-soft.com/

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