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1.与焦炭在电炉中高温，生成粗硅
2.粗硅和Cl2反应，生成SiCl4 3.对SiCl4进行精馏，得纯SiCl4 4.将纯SiCl4与H2在1200°C进行反应，得纯Si |
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牛逼人物还真不少
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晕 不可能
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通H2并使二氧化硅升温到1080摄氏度，此时会在二氧化硅表面产生还原反应，形成单晶硅，然后降温到850-1020摄氏度后再通入气体硅源并保持H2流通，可以在表面的单晶硅上淀积更多的单晶硅。。。。
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2012-9-11 19:36:31
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学习学习
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集成电路封装测试材料设备采购销售信息群：108784692
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要买台长晶炉，设备商估计会告诉你
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只有小组成员才能发言，加入小组>>
536个成员聚集在这个小组
加入小组Prolith和HyperLith主要用于mask-in-stepper lithography仿真、光刻设计
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