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仅监测ID的OTF方法有什么优势？

问答对人有帮助，内容完整，我也想知道答案 0 仅监测ID的OTF方法有什么优势？面向偏压温度不稳定性分析的即时VTH测量 0
2021-5-12 06:02:14　　评论淘帖0 邀请回答您可以邀请以下用户，快速回答问题 × 化二为一该类别下有 12 个回答。邀请回答 dymanic 该类别下有 8 个回答。邀请回答 vuwuerwxs 该类别下有 7 个回答。邀请回答 cswerwr 该类别下有 7 个回答。邀请回答 kingnet_520888 该类别下有 7 个回答。邀请回答 cyhe 该类别下有 7 个回答。邀请回答 kong19 该类别下有 7 个回答。邀请回答 60user150 该类别下有 7 个回答。邀请回答 duzh20016 该类别下有 6 个回答。邀请回答 Hongliang_sz 该类别下有 6 个回答。邀请回答 bozai602 该类别下有 6 个回答。邀请回答 guocepan 该类别下有 6 个回答。邀请回答 60user43 该类别下有 6 个回答。邀请回答 wznnzw 该类别下有 6 个回答。邀请回答 guokuikang 该类别下有 6 个回答。邀请回答 selina1023 该类别下有 6 个回答。邀请回答 wang21cj 该类别下有 6 个回答。邀请回答 yfdsfqdqd 该类别下有 6 个回答。邀请回答 nvywerwer 该类别下有 6 个回答。邀请回答 Dimple 该类别下有 6 个回答。邀请回答举报李伟嘉相关推荐 • RNC_OTF_Exec函数中在otf阶段，pwm输出是关闭的如何获得转子位置信息？ 309 • 如何通过使用gm/Id的方法来简化设计运放？ 2383 • CH573监测供电电池的电压，有什么好方法？ 647 • 电流监测芯片AD8218是如何工作的 2241 • 基于状态监测的可能分析方法 1297 • 分享一种智能化环保监测联网传输应用方案 1335 • stm32同时接收多个ID的can消息，求指导 11791 • 基于Python的矿山遥感监测系统开发的方法 1611 • 负偏压温度不稳定性的恢复电路和恢复方法 1900 • CH341的iDeviceID指的是什么ID啊？ 727 1个回答

答案对人有帮助，有参考价值 0 　　仅监测ID的OTF方法　　一种常用的OTF方法是仅监测漏极电流。这种方法在漏极施加小偏压（通常为25～100mV）并连续进行漏极电流测量，如图1所示。在此方法中，连续的采样速率非常关键。用2600系列源表能实现90μs连续采样间隔以及能存储多达50，000数据点的仪器缓冲区。　　这种方法的一个重要优点是，在撤销应力后可以在很短时间内采集到BTI恢复动态的机制，如图2右部所示。已经发现，恢复动态比劣化动态对于工艺偏差表现出更大的易变性和敏感性。　　　　即时单点法　　此方法非常类似于仅监测ID 的方法，区别是在线性区域测量ID。这里的关键是通过缩短测量时间最大程度减小劣化恢复时间。使用吉时利2600系列源表可以实现仅约200μs的栅极电压中断。　　　　即时VTH 法　　一些研究人员可能注意到许多OTF方法采用了与关注参数关系甚远的间接VTH 测量技术。例如，间歇期测量仅监测ID不能很好地观察VTH 实际偏移，因为其它参数偏移（例如界面态劣化造成的移动性劣化）也可能影响ID，这与VTH 影响的ID 无关。　　OTF VTH 法只是将Denais OTF方法中的3次测量替换为以gm-max 为中心的一些扫描点，如图4所示。取决于测试系统的噪底、源建立速度和测量积分速度，这样提取的VTH 潜在地要比仅从3个测量点外插得到的VTH 准确。　　　　实现　　本应用笔记介绍的测量已用2600系列源表实现过。一台带有双4象限源-测量单元和嵌入式脚本处理器的2612能独立执行完整的BTI特性分析。除了本文介绍的例子外， 2612还能进行更复杂的测试，例如Parthasarathy等人提出的“IV OTF偏压模式”。4 2600系列仪器嵌入的测试脚本语言能灵活地实现上述复杂测试。而且，吉时利提供的免费测试脚本实例能加速用户集成方案的开发。　　通道扩展　　2600系列源表的架构针对可扩展性进行了优化。在实验室或生产环境中，可扩展性简化了多通道并行系统的构建和快速NBTI测试的执行。欲获知系统扩展指南，请参见名为“Meeting New Challenges in Wafer Level Reliabi -lity Testing using Source-Measure Units （SMUs）［用源-测量单元（SMU）迎接晶圆级可靠性测试新挑战］”的在线归档指南。可从吉时利网站下载该指南www.keithley. com/events/semconfs/webseminars，并在www.keithley. com获取其它信息资源。 4 　　定制系统　　吉时利能将多台2600系列仪器集成为完整的BTI测试方案。当结合4200-SCS和脉冲I-V选件（4200-PIV）使用时，这些方案能对偏压温度不稳定性机制实现前所未有的深入观测。提供的全自动晶匣级晶圆自动化功能能采集统计意义上极大规模的样品。

2021-5-12 09:39:41 评论举报杨桂英