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在POM板上磁控溅射下电极,再用旋涂法把PVDF油墨旋涂到下电极上,再在压电层上磁控溅射上上电极形成三明治结构,但是上下电极都是短路状态,造成短路的可能原因是什么?压电层厚度约为2nm,电极厚度约为30um。
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