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MEMS传感器的分类

2013-10-11 16:21:38 6897

0 MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断。那么按被测量来划分，MEMS传感器通常被分为以下7类。转自中国传感器** 1、压力传感器：绝对压力的传感器和计量压力的传感器。 2、热学传感器：温度和热量传感器。 3、力学传感器：力、压强、速度和加速度传感器。 4、化学传感器：化学浓度、化学成分和反应率传感器。 5、磁学传感器‘磁场强度、磁通密度和磁化强度传感器。 6、辐射传感器：电磁波强度传感器。 7、电学传感器：电压、电流和电荷传感器。　　除了上面介绍的几种典型MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判断的MEM5触觉传感器、MEMS生物传感器、MEMS图像传感器等。在不同环境中，在不同环境，MEMS传感器的技术应用也是不同的。 0
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