一站式失效分析！

2015-5-28 16:06:54 4225

0 `zhenyan@wintech-nano.com 失效分析半导体器件的涉及使用以下工具和技术(不全面，大家一起来完善）： * _! M8 \|. X: Z' X6 i9 e5[ 1 @! J* X4 G9 K9 l5 g5 s! i9 X* E. w 1.1.1显微镜, ?3 ^4 u7 Z3 @8 q5 x& S* F9 I5S" N · 光学显微镜 · 液晶热点探测（Liquid Crystal） · 扫描声学显微镜（SAM） · 扫描声学断层扫描（ SCAT ） · 原子力显微镜（ AFM ） · 体视显微镜（Stereomicroscope） · 微光显微镜（PEM/EMMI） · X光显微镜 · 红外线显微镜( c: r+ p' v1 H5 y# y* p 1.1.2样品制备 · 自动开帽机（Jet Etcher） · 等离子刻蚀（Plasma） · 背面减薄工具 · 机械式背面减薄 · 激光/化学式背面蚀刻5 C9 X2 c2 M t! q8 o: r9 o 1.1.3光谱分析% ?3 C- E% ! f( v · 传输线路脉冲光谱（ TLPS） · 俄歇电子能谱（Auger） · 深能级瞬态谱（ DLTS） · 傅立叶转换红外线光谱（FtiR） · 激光拉曼光谱（RamanSpectroscopy） · 二次离子质谱仪（SIMS） · X射线荧光光谱仪（XRF） · X-射线光电子能谱（XPS） · X 射线衍射分析仪（XRD） / f& O# [7 @2 P3 ~3 ^ 1.1.4改造设备 · 聚焦离子束蚀刻（FIB） · 时域反射计（ TDR ） / x$ R3 {% [7 ^$ q"{. K/ ?* F. m 8 [" t% B( q8 [! U4 r 1.1.5表面分析 · 染料渗透探伤（Dye penetration）. Z8 ~. A6 _% J, B% u " z" P& B$l9 Q' @ C " O- {, o, V" @" v 8 {: H. N; w: z+ x8 V' O# C% 8 j 1.1.6扫描电子显微镜及附件 · 扫描电子显微镜（ SEM ） · 电子束感生电流（ EBIC ） · 电荷感应电压改建（C IVA ） · 电压衬度像（Voltage Contrast） · 电子背散射衍射（EBSD ） · 能量色散X射线能谱（ EDS ） · 透射电子显微镜（ TEM ）& g C' z, I# q % U' ]- y5 [: A& L# i9 a! P 1.1.7激光信号注入显微镜（ LSIM） 9 e0 Z8 `/ x: ] · 光激发 · 光学束感生电流（ OBIC ） · 光致电压（ LIVA） · 热能激发（ TLS） · 雷射光束诱发阻抗值变化（OBIRCH ） · 热致电压（TIVA） · 外部感应电压（XIVA ） · 塞贝克效应成像（SEI） · 激光辅助装置（LADA ）$ p: X3 c! Y( h k - u- `+ Z; V. { 5 J8 ?9 d" e6 E+ m+ j 1.1.8半导体试探 · 机械探针站 · 电子束探针 · 激光电压探头 · 时间分辨光子发射探测器（TRPE ）) H) m" ]6 @) e9 G6 @ % d$ e) w& r- p+ g ' N, r- J- E, w* L" [ 1.1.9基于软件故障定位技术 · 计算机辅助设计导航（CAD navigation） · 自动测试模式生成（ ATPG）+ J* S; P- v5 ~% z* ?" t ` 1
2015-5-28 16:06:54　　评论淘帖0 举报相关推荐 • 为什么选择一站式PCBA加工?PCBA一站式服务的优势 654 • Linux C编程一站式学习 3986 • Linux C编程一站式学习 6153 • 一站式IPM方案怎么满不同应用需求？ 1199 • NLPIR平台实现文本挖掘的一站式应用 1899 • LinuxC编程一站式学习 5402 • 嵌入式C一站式学习 66 • PFIB是一站式精准分析石英晶体的最佳利器 1615 • 绿色工厂—一站式工厂管理系统 843 • CCS集成母排一站式测试 1178