关于电容式压力传感器 ICP-101xx 系列的性能分析和应用介绍
MEMS电容技术能以最低功率实现超低噪音，获得行业领先的相对精度、传感器吞吐量和温度稳定性，TDK-InvenSense气压传感器系列就是基于这项技术开发的。该压力传感器能以±1Pa的精度测量压力差，这个精度可使高度测量差小至5cm，小于一级台阶的高度。
TDK ICP-101 xx压力传感器系列就是基于MEMS电容技术，以最低功率提供超低噪音，获得行业领先的相对精度、传感器吞吐量和温度稳定性。
电容压力传感技术克服了以往压阻技术的诸多挑战，提高了整体性能。下面是这两种结构的比较 ：
| 电容压力传感器的优势 |
|
压阻 测量应变 |
电容 测量电容 |
|
隔膜 顶视图  |
隔膜 侧视图  |
| 检测因应力发生的隔膜变形将应力转换成电信号 | 直接将隔膜变形转换成电信号 |
|
电容压力传感器的优点： 功率小：测量电容时无电流消耗 ✓相同性能下的功耗更低 ✓在相同功耗下性能更好 噪声低：压阻的热噪声从根本上限制了灵敏度/分辨率 温度稳定性更好：压阻对温度非常敏感 精度高:电容原理实现相对压力变化的更高灵敏度和分辨率 |
噪音和功率
电容压力传感器的结构优势实现了无与伦比的超低噪声和功率水平，超过压阻传感器所能达到的水平。以下是TDK的ICP-101 xx电容压力传感器系列与普通工业压阻传感器的噪音和功率图（输出数据速率为1Hz时） ：
图1 噪音和功率
ICP-101 xx压力传感器系列的本底噪声小于0.4Pa-RMS，实现了小于±1Pa的压力测量差，这个精度使高度测量差小到5cm，小于一级台阶的高度。
图2最低压力噪音和相对精度
温度稳定性
压阻与电容压力传感器
因为压阻对温度变化非常敏感，电容压力传感器天生就比基于压阻的传感器具有更高的温度稳定性。ICP-101xx压力传感器系列实现了行业领先的温度系数偏差±0.5Pa/°C，使设备在一个很宽的温度范围内非常稳定。
TDK的电容压力传感器具有超低噪音、超低功率和温度稳定性，达到了新的性能水平，使现有的压阻技术不可能实现的用例成为可能。
| 用途 | 新用例 |
| 可穿戴设备 | 改进的运动追踪使活动识别和更好的热量计算成为可能 |
| 移动设备 | 通过改进的移动路径标识(楼梯、自动扶梯、电梯)获得改进的室内地图路线和移动时间，E911 |
| 无人机 | 在一个很宽的温度范围内改进高度保持性和稳定性，使飞行控制用户体验更加稳定 |
| 数据通信和个人呼吸设备 | 低于帕斯卡级别的本底噪声实现了低背封装的低阈值和高精度空气流量测量 |
| 安全系统 | 根据压力（代替容易失效的加速度计和簧片开关）测量垂直窗口位移 |
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