三星要求ASML在一个月内交付9台EUV光刻设备

据韩媒报道，三星副董事长李在镕在访问荷兰期间，在会议上要求ASML在一个月内交付三星已购买的9台EUV光刻设备。

报道称，ASML正在审查三星的要求，这部分EUV设备最早可于11月运往韩国。

据悉，三星需要EUV光刻设备来追赶已经实现5nm量产的台积电。ASML是世界上唯一的EUV设备供应商，三星打算在正在建设的平泽2号工厂和正在扩建的华城V1线中安装EUV设备。

其中，平泽2号工厂于2020年5月开始了新工艺线的建设，计划投资约10万亿韩元（约合88亿美元），于2021年下半年开始全面运营。华城工厂的V1生产线于2019年投入运营，专门用于EUV工艺。目前用于批量生产7nm芯片，并且正在扩展用于5nm及以下工艺。三星计划到2020年底将V1线的晶圆产能提升至约20,000片。

目前来看，获得EUV和进行工艺风险试产是三星最紧迫的任务。如果EUV设备被延迟，则5nm时代三星仍将丢失一部分订单。

目前，三星电子已获得10台EUV设备，并在2020年初购买了约20台。而台积电目前线上运营的EUV达20台以上，并宣布到2022年前将再购买60台EUV设备。

原文标题：军备竞赛！三星敦促ASML提前交付9台EUV！

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责任编辑：haq