SK海力士已开始安装EUV光刻机，以量产10nm 1a DRAM
据etnews报道，SK海力士已开始在其位于韩国利川的M16工厂安装EUV光刻机，以量产10nm 1a DRAM。
此前SK海力士宣布将在今年年内在M16厂建设产线以生产下一代DRAM，不过并未透露ASML EUV光刻机的引进方式、确切时间等。
因此业内人士有诸多揣测，包括将研究大楼R3的2台EUV光刻机转移至该产线，并计划于今年2月开始安装新购买的设备等。现在看来，SK海力士新设备的购买和安装速度快于业界预期。
该报道指出，EUV光刻机的安装时程需要3-6个月，因此SK海力士最快可以在今年上半年量产第一批产品。
据悉，ASML是EUV光刻机的独家供应商，单台的售价超过1.35亿美元。
责任编辑：xj
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