思锐智能专注ALD创新，助力超越摩尔-德赢Vwin官网网

专注ALD创新，助力超越摩尔

据麦姆斯咨询报道，2021年5月25日，思锐智能（SRII）与国家智能传感器创新中心战略合作签约仪式暨SRII旗下BENEQ原子层沉积（ALD）产品技术路演在上海嘉定隆重举行。思锐智能总经理聂翔先生在战略合作签约仪式致辞中表示：“与国家智能传感器创新中心的全面战略合作是思锐智能深化在超越摩尔领域布局最重要的战略举措。双方建立了联合研发实验室，并已全面投入使用之中。未来双方将重点开展面向MEMS和CMOS图像传感器等重要领域的联合研发工作，以开放包容的机制为超越摩尔行业提供全面系统的技术解决方案！”

“国家智能传感器创新中心和思锐智能都青睐‘智能’两个字，都对超越摩尔产业情有独钟，双方就以原子层沉积（ALD）设备及技术作为起点，建立战略合作伙伴关系，未来将在制造工艺设备的国产化，以及新材料、新工艺、新器件、新应用等方面展开合作研究，非常值得期待。”国家智能传感器创新中心副总裁焦继伟博士表示，“此次战略合作协议的签订，标志着我们双方合作跨上了一个新的台阶！”

在SRII旗下BENEQ原子层沉积（ALD）产品技术路演环节，思锐智能聂总首先介绍公司情况：“思锐智能成立于2018年，对标国家战略性新兴产业发展方向，针对半导体装备关键核心技术，全资收购了芬兰的BENEQ公司——拥有近40年的ALD技术经验。现在，BENEQ公司是我们海外技术研发中心，同时正在组建国内技术中心和产业化中心。思锐智能致力于成为世界一流的ALD设备和服务提供商。”

随后，聂总阐述了思锐智能发展历程、ALD技术特点、镀膜工艺过程、业务布局（包括开发服务、ALD设备、镀膜服务）等内容，并推荐了Transform系列产品——面向超越摩尔、集成电路和泛半导体的系列化ALD解决方案，支持Thermal batch ALD和PE-ALD，适用于Al₂O₃、SiO₂、HfO₂、Ta₂O₅、TiO₂、TiN、AlN、SiN等典型镀膜工艺。目前，8英寸ALD设备获得来自欧、美、日和国内知名半导体客户订单，第二代12英寸ALD设备预计2021年底推出，已有多个高度意向订单。

在产品技术详解环节，两位BENEQ芬兰专家通过云端联线方式作了主题为“BENEQ ALD和Semi ALD产品”和“ALD技术在功率氮化镓和碳化硅、射频和CMOS图像传感器等领域的应用”两个精彩报告。BENEQ半导体业务负责人Patrick Rabinzohn表示：“从研发阶段到批量生产，BENEQ ALD设备都可提供灵活的解决方案。我们已将单片、批量、热法及等离子体增强功能集成在同一平台上，在工艺制备中可满足最苛刻的薄膜沉积要求。在批量生产方面，BENEQ Transform系列凭借多功能性和灵活性，制造了全新的ALD集群工具设备，既能满足特定的晶圆产能要求，也可为应对不断增长的产量或新的ALD应用而进行升级，因此可适用于广泛的应用场景。Transform系列拥有非常高的产能和性能，使得单片晶圆加工成本非常低。”

BENEQ半导体业务技术总监Alexander Perros针对ALD技术的超越摩尔应用案例进行介绍：“在功率器件方面：ALD技术适用于氮化镓、碳化硅以及传统的IGBT，主要涉及高K电介质的薄膜沉积，包括栅极绝缘层的沉积，旨在实现低界面态或高击穿电压。在射频滤波器方面：ALD技术在改善压电材料的性能的压电系数和机电耦合系数方面发挥重要作用。在射频IC方面：ALD表面钝化方法和高介电栅极叠层对于III-V材料上的MOS是必不可少的。在MEMS方面, ALD技术可以形成抗粘连疏水膜和保形密封层。在图像传感器、LED、光电子方面，ALD是用于表面钝化和防反射镀膜的解决方案。”

BENEQ ALD技术的超越摩尔应用矩阵

在最后的媒体专访环节，思锐智能聂总就大家关心的产业热点和公司布局进行解答。聂总表示：“我们把BENEQ的技术优势和思锐智能的整合能力结合在一起，实现芬兰和中国两边协同研发，并让工作变得更加高效。今年下半年也会打造国内的产业化基地，加大技术的本地化，更好地服务中国大市场。在MEMS方面，我们已经在MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS麦克风、射频滤波器等领域有了成功经验，下一步我们将针对集成电路加速12英寸ALD设备研发进程，目前主流厂商已经有了意向订单。”

责任编辑：lq

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表德赢Vwin官网网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。举报投诉

晶圆

晶圆

+关注

关注
52

文章
4890

浏览量
127931
核心技术

核心技术

+关注

关注
4

文章
625

浏览量
19599
智能传感器

智能传感器

+关注

关注
16

文章
596

浏览量
55303

原文标题：思锐智能牵手国家智能传感器创新中心，ALD技术助力超越摩尔

文章出处：【微信号：MEMSensor，微信公众号：MEMS】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。

香橙派与昇思MindSpore合作提速，软硬结合助力开发者构建创新AI应用

AIpro开发板构建创新AI应用，助力开发者积累开发经验、繁荣人工智能产业生态。目前，昇思MindSporeAI框架已实现预置在香橙派AIpro开发板，并在官方网站上线

发表于 11-01 17:02 •784次阅读

香橙派与昇<b class='flag-5'>思</b>MindSpore合作提速，软硬结合<b class='flag-5'>助力</b>开发者构建<b class='flag-5'>创新</b>AI应用

摩尔斯微电子荣获2024年WBA行业大奖最佳Wi-Fi创新奖等多项殊荣

全球领先的Wi-Fi HaLow解决方案提供商摩尔斯微电子，今天宣布荣获2024年无线宽带联盟（Wireless Broadband Alliance ，简称WBA）行业大奖“最佳Wi-Fi创新

发表于 11-01 14:41

摩尔斯微电子推出社区论坛与开源GitHub资源库，新资源的上线将加速全球工程师与开发者的Wi-Fi开发进程

联系、分享创意、并携手创新的环境。我们的目标是让Wi-Fi HaLow技术更普及、更具关联性，且更满足用户需求，同时助力技能提升与行业合作。” 点击此处访问摩尔斯微电子GitHub资源库： https

发表于 10-18 17:40

思锐智能半导体先进装备研发制造中心项目封顶

近日，在青岛自贸片区·青岛市集成电路产业园内，思锐智能半导体先进装备研发制造中心项目迎来了封顶活动，标志着这一重大建设项目取得了阶段性的重要成果。

发表于 09-30 16:34 •1250次阅读

英锐恩科技引领微控制器MCU技术创新，赋能多元化应用！

监控领域，英锐恩的MCU则助力烟雾火灾探测报警、门禁和防盗报警、照明警示等设备实现更高效的监控与管理。此外，英锐恩的MCU还广泛应用于工业自动化、仪表电源、智能家居等多个领域。在工

发表于 09-29 13:40

引领智能未来：英锐恩科技的国产低功耗单片机ENMCU

，助力智能化时代的到来。精准设计，满足多种需求英锐恩科技的低功耗单片机经过多年的研发和市场验证，具备卓越的性能与灵活性。这些单片机不仅在功耗上进行了优化，确保在电池供电的情况下仍能保持稳定运行

发表于 09-26 17:16

英锐恩科技，以实力打造国产单片机替代品牌！

设计：英锐恩单片机产品采用先进的低功耗设计，在保证高性能的同时，有效延长了设备的使用时间和电池寿命。这种设计特别适用于对功耗有严格要求的智能设备。 2、高度集成化：英锐恩单片机集成了多种功能模块，如

发表于 09-25 09:49

直播回顾解答 | 思瑞浦TPS325产品系列：专注多合一智能门锁，HMI TFT显示+电容触控方案

发表于 09-13 08:10 •224次阅读

直播回顾解答 | <b class='flag-5'>思</b>瑞浦TPS325产品系列：<b class='flag-5'>专注</b>多合一<b class='flag-5'>智能</b>门锁，HMI TFT显示+电容触控方案

高算力AI芯片主张“超越摩尔”，Chiplet与先进封装技术迎百家争鸣时代

越来越差。在这种情况下，超越摩尔逐渐成为打造高算力芯片的主流技术。超越摩尔是后摩尔定律时代三大技术路线之一，强调利用层堆叠和高速接口技

发表于 09-04 01:16 •3259次阅读

高算力AI芯片主张“<b class='flag-5'>超越</b><b class='flag-5'>摩尔</b>”，Chiplet与先进封装技术迎百家争鸣时代

“自我实现的预言”摩尔定律，如何继续引领创新

未来的自己制定了一个远大但切实可行的目标一样，摩尔定律是半导体行业的自我实现。虽然被誉为技术创新的“黄金法则”，但一些事情尚未广为人知……. 1. 戈登·摩尔完善过摩尔定律的定义

发表于 07-05 15:02 •268次阅读

摩尔线程加入商飞智能“工业元宇宙创新联合体”

6月18日，商飞智能技术有限公司携手摩尔线程智能科技（北京）有限责任公司、北京蔚领时代科技有限公司、北京智谱华章科技有限公司、厦门雅基软件有限公司在张江人工智能岛签署合作协议，共创工业

发表于 06-20 10:09 •694次阅读

思锐智能、百功半导体、芯视界微电子三家企业相继宣布完成新一轮融资

近日，思锐智能、百功半导体、芯视界微电子三家企业相继宣布完成新一轮融资。

发表于 03-07 15:59 •803次阅读

思锐智能完成B轮数亿元融资，专注半导体设备研发

据了解，思锐智能专注于核心半导体前道工艺设备领域，且已实施“双主营”策略，提供LD（原子层沉积）设备及IMP（离子注入）设备，业务涵盖IC、3GS半导体、新能源、光学、零部件镀膜等高端

发表于 03-01 15:40 •754次阅读

锐思智芯HVS® AI Motion解决方案助力手机影像新体验

2024世界移动通信大会（MWC）于2月26日—2月29日在西班牙巴塞罗那举行，作为信息通信领域规模最大且最具影响力的展会，锐思智芯联合OPPO、高通技术公司共同展示包括AI Motion算法在内的融合视觉传感技术，引领下一代智能

发表于 02-27 15:48 •597次阅读

锐思智芯与OPPO、高通共同推动创视觉传感技术在智能手机领域应用

美国拉斯维加斯，2024年1月11日锐思智芯携手OPPO、高通，共同合作推动创新性融合视觉传感(Hybrid Vision Sensing， HVS)技术在智能手机领域应用。

发表于 01-11 10:31 •649次阅读

搜索历史

思锐智能专注ALD创新，助力超越摩尔

评论