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如何去分析BAW谐振器?

西西 来源:射频学堂 作者:射频学堂 2022-09-21 09:55 次阅读

BAW谐振器基础

如何去分析BAW谐振器??

一定要掌握 BAW 的这些参数

前几天看到一个朋友所在的公司已经获得了超过一亿的融资,对于很多数字芯片来说,一个亿可能烧不了多长时间,但是对于芯片滤波器这个门类来说,一个亿可以支撑公司能够开发更多的产品。芯片滤波器这个行业,未来依然光明。

接着学习!

在文章开始之前呢?大家一起回顾一下 BAW 谐振器

① BAW谐振器的基本结构 :FBAR, BAW-SMR 等 ② BAW谐振器的常用分析模型:BVD/ mBVD, Mosen, FEM 等 ③ BAW 谐振器的关键参数:谐振频率 fs/ fp,品质因数 Q0, 有效机电耦合系数 Keff 等。

通过之前文章的学习,相信同学们对体声波BAW谐振器有了初步的认识。声波谐振器不同于我们之前所设计的射频/微波谐振器,它里面谐振着的不是电磁波,而是声波(机械波)。电磁波是纯粹的横波,声波却不是,除了横波还有纵波,剪切波。所以对声波的分析更为复杂一些,声波的变化会引起能量的损耗,在BAW谐振器里面,纵波是我们所需要的工作模式,所以横波和剪切波都会引入损耗。

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机械波示意图

但是射频电路里面,如何将电磁波和声波联系起来呢?这个要感谢神奇的压电材料,我们通过压电材料的压电效应/逆压电效应把电磁波和声波联系了起来。电磁波的电压变化通过压电效应引起压电材料的机械变化,压电材料的机械变化通过逆压电效应转化为电磁波的电压变化。这样,BAW谐振器中的声波振荡就和我们的电磁波联系起来了。

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编辑:黄飞

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原文标题:BAW 滤波器的基本结构(附学习资料更新)

文章出处:【微信号:射频学堂,微信公众号:射频学堂】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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