纳米位移台在扫描系统中的应用-德赢Vwin官网网

纳米位移台的工作原理

纳米位移台主要采用超精密运动控制技术超精密技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动；通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大；经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制；在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。

纳米位移台的典型应用

以纳米运动平台为代表的微操控系统日益成为诸多超精密加工/量测装备等相关高科技产业及交叉学科领域的核心技术。纳米和亚纳米尺度表征/检测和制备方法及高端科学仪器与装备的研发，得到了世界范围的高度关注，也是我国战略层面重点支持的领域之一。扫描探针显微镜（SPM）、可溯源计量型扫描电镜在纳米材料，半导体研究和生物组织的微观检测工作中发挥着重要作用。

纳米位移台在扫描探针显微镜（SPM）中的应用：

带有柔性铰链纳米位移台具有无机械摩擦、具有纳米位移分辨力等优点。柔性铰链位移台利用杠杆放大原理把压电陶瓷堆的小位移放大数倍，实现数十微米以上的移动范围。柔性铰链位移台容易集成位移传感器，这使得在基于柔性铰链位移台的 SPM 系统中较容易实施非线性校正，闭环控制等算法研究。利用纳米位移台搭建了扫描探针显微镜( SPM) 系统，实现了大范围扫描成像功能。

纳米位移台在可溯源计量型扫描电镜中的应用：

基于纳米位移台步进扫描方式的可溯源计量型扫描电镜可直接关联图像扫描与激光干涉仪的位置测量，实现对样品纳米结构扫描成像的量值溯源，有效避免普通扫描电镜放大倍率波动和扫描线圈非线性特征在纳米尺度测量中产生的误差，从而实现对结构尺寸的溯源测量。

扫描电镜成像原理图

计量型扫描电镜系统

三英精控专业研发生产纳米位移台，还可根据不同需求来进行定制，满足不同应用场合。

审核编辑黄宇

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表德赢Vwin官网网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。举报投诉

压电陶瓷

压电陶瓷

+关注

关注
6

文章
201

浏览量
33329
扫描系统

扫描系统

+关注

关注
0

文章
21

浏览量
7903
SPM

SPM

+关注

关注
0

文章
26

浏览量
11725

碳纳米管在光电器件中的应用碳纳米管的功能化改性方法

碳纳米管在光电器件中的应用碳纳米管在光电器件中具有广泛的应用，这主要得益于其优异的电学和光学性

发表于 12-12 09:12 •189次阅读

深部位移监测中的传感器应用

在各类工程结构和地质体的安全监测中，深部位移监测起着至关重要的作用。它能够及时发现潜在的不稳定因素，为工程的安全运行提供可靠的数据支持。而在深部位移监测

发表于 11-12 16:49 •353次阅读

深部<b class='flag-5'>位移</b>监测<b class='flag-5'>中</b>的传感器应用

位移传感器在火车轨道上的应用

火车轨道是铁路交通系统的重要组成部分，监测和控制其安全运行至关重要。在火车轨道的管理和维护中，位移传感器发挥着重要作用。这些传感器将机械位移

发表于 10-09 15:56 •233次阅读

高压功率放大器在磁纳米温度测量交变磁场激励系统中的应用

实验名称：磁纳米温度测量系统对激励磁场的均匀性研究研究方向：声磁纳米温度测量方法有望解决肿瘤热疗中无法实现实时准确的温度测量问题。针对磁纳米

发表于 09-19 16:16 •183次阅读

高压功率放大器<b class='flag-5'>在</b>磁<b class='flag-5'>纳米</b>温度测量交变磁场激励<b class='flag-5'>系统</b><b class='flag-5'>中</b>的应用

固定式工业条码扫描器在mes系统中的各个环节应用

随着制造业的智能化推进，制造执行系统（MES）在生产管理中的地位愈发重要。MES系统通过实时数据的获取与处理，提升了生产效率和资源利用率。在这一系统

发表于 08-02 16:51 •351次阅读

拉绳位移传感器在地质监测行业的应用

拉绳位移传感器在地质监测应用具有巨大的潜力和优势，传感器体积小，方便安装和固定。对于地形较为复杂的山坡、峭壁、矿渣、泥石流高发区等特殊监控区域，拉绳位移传感器可以直接安装在待检测面，将位移

发表于 07-10 13:51 •238次阅读

位移传感器信号调理器在工程中的广泛应用

位移传感器信号调理器在工程中具有广泛的应用价值。它不仅提高了位移测量的准确性和稳定性，还为各种工程应用提供了可靠的数据支持。随着科技的不断发展，位移

发表于 07-08 11:57 •555次阅读

编码器在自动化系统中的应用

在现代自动化系统中，编码器作为一种关键的位置和速度检测装置，发挥着不可替代的作用。它能够将电机的角位移或直线位移转换为可计量的电信号，为控制

发表于 06-13 14:50 •836次阅读

台积电大客户包下3纳米产能

随着人工智能（AI）服务器、高性能计算（HPC）应用以及高阶智能手机AI化的迅速发展，全球科技巨头纷纷将目光锁定在了台积电的3纳米家族制程产能上。据最新报道，苹果、高通、英伟达、AMD等四大科技巨头已大举预订了台积电3

发表于 06-12 10:00 •463次阅读

台积电和英特尔有望在今年年底前建成2纳米晶圆厂

SEMI进一步观察指出，尽管台积电今年的二纳米月产能相对较低，但一旦苹果等大客户选择采用2纳米工艺，其产能预计将得到显著提高。

发表于 03-28 11:17 •378次阅读

压电偏转镜在激光快速扫描系统控制中的应用

激光快速扫描系统在半导体技术、航空航天、生物医学、纳米科学研究等领域得到了越来越多的应用，同时对其性能要求也越来越高，受其体积，扫描频率，

发表于 03-14 10:19 •891次阅读

安泰ATA-P1005压电叠堆放大器在纳米定位台驱动中的应用

特点，ATA-P1005压电叠堆放大器可为纳米定位台提供（-3dB）DC~10kHz带宽，0V~150V电压的驱动，今天我们就来具体了解一下ATA-P1005压电叠堆放大器在纳米定位

发表于 03-05 17:35 •554次阅读

台积电领跑半导体市场：2纳米制程领先行业，3纳米产能飙升

台积电预期，目前营收总额约 70% 是来自 16 纳米以下先进制程技术，随着 3 纳米和 2 纳米制程技术的贡献在未来几年渐增，比重将会继续

发表于 02-21 16:33 •787次阅读

高精度纳米级压电位移平台“PIEZOCONCEPT”！

高精度纳米级压电位移平台“PIEZOCONCEPT”半导体界后摩尔时代的手术刀！第三代半导体是后摩尔时代实现芯片性能突破的核心技术之一，优越性能和广泛的下游应用使相关厂商存在良好发展前景。随着下

发表于 01-26 08:16 •723次阅读

利用超表面实现平面内纳米位移的光学感测

纳米级长度和位移测量是光学精密测量领域的重要基础研究课题，在半导体叠对误差测量（overlay metrology）、精密对准与跟踪等方面具有关键作用。传统的光学干涉仪虽然可以实现纳米

发表于 01-14 10:52 •981次阅读