MicroVac卡盘–提高了薄型高功率RF器件的良率和测试精度-德赢Vwin官网网

MicroVac卡盘专为正在测试高功率RF 放大器（通常为HEMT器件，工作频率高达60 GHz）的客户而设计。这些高电子迁移率晶体管在III / V化合物半导体衬底（GaAs或GaN晶片）上制造，并且用于需要高功率信号传输的商业和军事的各种无线通信产品中。

薄化的晶圆测试

这些高功率RF器件在测试和封装之前需要晶圆减薄。减薄工艺去除器件下方的多余晶片衬底材料，其充当热绝缘体，捕获热量，导致低性能，损坏或破坏的器件。在薄化过程中，晶圆可以减薄到仅50-100微米，这可能导致翘曲，有时晶圆会破裂或破裂成部分晶圆。

稀释设备的测试问题

在将器件切割并组装到封装/散热器中之前，通常在探针台晶片夹盘上利用变薄的晶片执行电测试。当薄的晶圆位于卡盘上时，由于以下原因，在整个薄的晶圆接触区域上均匀地保持真空是至关重要的：

减少垫损坏/慢速测试。晶片上的不均匀真空压紧导致翘曲晶片具有不同的测试垫高度（PP~50-100μm）。焊盘上的探针触地有时会因过度过载而导致焊盘损坏。为了补偿Z高度变化，必须进行耗时的晶片分析，这会增加测试时间。

尽量减少设备损坏。晶片上的不均匀真空使得一些区域对于卡盘具有低导热性，因此当对该装置进行电测试时，该装置可能过热，并且被损坏或破坏。

获得最高精度/设备产量。与上面的第二个类似，晶片上的非均匀真空压紧导致不均匀的散热，这可能限制器件的最大性能。这不仅会产生不准确的数据，而且还可以通过不正确的装箱设备来降低晶圆产量，因为其性能低于封装时的实际性能。

MicroVac技术提高产量

获得专利的MicroVac卡盘技术可在整个晶圆表面提供均匀的真空。改进的真空设计可最大限度地减少泄漏并提供恒定的真空 – 从而实现市场上可获得的最佳薄晶片下拉性能。对于减薄的晶片表面，可以在任何晶片位置实现均匀的探针超程，从而产生可重复的接触和测量结果。

此外，专用的真空设计可以轻松快速地拉下厚度翘曲的晶圆，从而缩短获得高精度数据的时间。晶圆可以变薄，变形或破裂。甚至部分晶片（不覆盖所有卡盘真空孔）也均匀地保持真空，以实现对卡盘的最大设备导热性和均匀的Z高度。

专利MicroVac卡盘的主要特点包括：

整个卡盘上有495个直径为200μm的微孔

高流量内部真空通道设计

镀金表面处理

五个用户可选择的真空区域

由此产生的客户利益是什么？

准确的测量用于横向高功率RF器件

导热系数均匀（更好的DUT统计数据）

改进了薄晶圆处理（统一超行）

最佳翘曲晶圆下拉（减少手动调整）

在测试高性能薄型GaAs和GaN晶圆时，MicroVac技术可实现最高精度的横向RF功率器件性能和良率。

审核编辑：李倩

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表德赢Vwin官网网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。举报投诉

焊盘

焊盘

+关注

关注
6

文章
551

浏览量
38134
高功率

高功率

+关注

关注
1

文章
192

浏览量
18403
RF器件

RF器件

+关注

关注
0

文章
8

浏览量
6144

原文标题：探针台测试|MicroVac卡盘–提高了薄型高功率RF器件的良率和测试精度

文章出处：【微信号：gh_064d56de9e11，微信公众号：芯睿半导体】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。

KLA发布全新汽车产品组合以提高芯片良率及可靠性

KLA 的全新Surfscan® SP A2/A3、8935 和 C205 检测系统以及创新的 I-PAT® 在线筛选解决方案提高了汽车芯片的良率和可靠性。

发表于 06-23 14:40 •3284次阅读

KLA发布全新汽车产品组合以<b class='flag-5'>提高</b>芯片<b class='flag-5'>良</b><b class='flag-5'>率</b>及可靠性

向电路添加两个精度为1%的电阻，输出电流的精度提高了100倍

的误差,原因是基极电流不能够忽略，而mos管却不适用于更高速的场合，向电路添加两个精度为1%的电阻，输出电流的精度提高了100倍，

发表于 11-11 21:37

RF功率器件的性能

RF功率器件的性能非常优异，但将这些器件交至客户手中仅仅是开始。事实上，每次交付使用都将由飞思卡尔的技术人员提供各种测试、建模、封装以及应用

发表于 07-09 08:17

新型谐波分析方法提高了精度减少了智能仪表的计算开销

新型谐波分析方法提高了精度，减少了智能仪表的计算开销

发表于 07-15 14:06

便携式系统RF功率测量优化方法

设计低功率电路同时实现可接受的性能是一个困难的任务。在 RF 频段这么做更是迅猛地提高了挑战性。今天，几乎每一样东西都有无线连接能力，因此 RF 功

发表于 07-23 06:49

有什么方法能证明混合电子传输层提高了器件效率？

有什么方法能证明混合电子传输层提高了器件效率？该如何去操作这类实验？

发表于 04-07 06:16

提高了准确度的取样保持电路

提高了准确度的取样保持电路

发表于 04-11 10:51 •746次阅读

利用业内首个16位分辨率的双通道器件提高准确性

Microchip混合及线性产品部副总裁Bryan Liddiard表示：“由于人们不断寻找降低应用功耗的方法，高精度直流功率测量已成为节能的关键因素。正如四通道的PAC1934提高了Windows

发表于 07-23 17:27 •4534次阅读

通用汽车合作PNNL成功将铜线的导电率提高了约5%

据外媒报道，美国西北太平洋国家实验室（Pacific Northwest National Laboratory，PNNL）的研究人员成功将铜线的导电率提高了约5%。虽然听起来提高的量并不大，但却

发表于 11-16 10:25 •2048次阅读

高精度(±1°C)温度传感器提高了系统性能和可靠性

高精度(±1°C)温度传感器提高了系统性能和可靠性

发表于 05-27 09:56 •2次下载

MicroVac卡盘提高薄型高功率RF器件的良率和测试精度

该MicroVac™卡盘专为正在测试高功率RF放大器（通常为HEMT

发表于 06-21 14:52 •909次阅读

功率消隐，使用iso功率器件提高精度

iso功率器件可用于接受消隐信号，并利用它们来控制开关噪声对高精度测量的负面影响，从而提高测量精度。

发表于 04-04 11:06 •1226次阅读

新的宽带隙半导体技术提高了功率转换效率

新的宽带隙半导体技术提高了功率转换效率

发表于 11-30 18:00 •494次阅读

激光功率测量速度提高了5倍

新型 Coherent PM10K+ 激光传感器大大加快了高达 10 kW 的工业激光器的功率测量速度。高功率激光技术在不断发展，焊接、切割和覆层应用的平均功率显著

发表于 06-21 06:34 •296次阅读

Bourns发布薄型屏蔽功率电感器

Bourns SRP-F 系列具有低 DCR，尺寸小、薄型 (0.7 至 1.0 毫米) 特性。扁平线结构，透过显著降低 DCR，进而提高了该新型功率电感器的效率，相较于使用传统线材的

发表于 11-26 11:32 •243次阅读