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Pinpoint系列MEMS陀螺仪的构造和性能

MEMS 来源:MEMS 2023-03-20 09:43 次阅读

据麦姆斯咨询报道,Silicon Sensing Systems Ltd.(简称:Silicon Sensing)首席工程师Mark Marshall博士将在为期四天(3月28日至31日)的“IEEE Inertial international symposium on inertial sensors and systems”研讨会上发表一篇关于该公司最小的Pinpoint系列MEMS陀螺仪的构造和性能的论文。

Mark Marshall博士将探讨这款MEMS陀螺仪的工作原理,并详细介绍其性能规格和Pinpoint结构,包括MEMS振动环的设计与制造。此外,还将概述该MEMS陀螺仪在平面和正交安装中的性能范围。

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Mark Marshall博士解释说:“PinPoint是一种Coriolis振动陀螺仪,其大小只有您最小的指甲盖大小(约5mm x 6mm),可在广泛的运动传感应用中提供强大的惯性性能优势:从工业机器人到卫星控制,从自主车辆导航到运动跟踪,从飞机姿态航向和参考系统(AHRS)到精准农业。该论文研究了Pinpoint如何以如此小的外形尺寸实现这种高性能。”

该论文还将阐述Pinpoint系列MEMS陀螺仪中的执行器和传感器采用的PZT薄膜特性,并概述这给陀螺仪带来的关键性能优势。

Mark Marshall博士说道:“Pinpoint系列是惯性市场的核心产品,使用方式非常灵活,体积小巧、可靠且成本低。它们已经在全球许多市场上被使用,潜力是无限的,我们经常被邀请讨论我们甚至没有考虑过的新应用!”

Silicon Sensing是硅基MEMS陀螺仪、加速度计和惯性测量系统的市场领导者,专注于高性能、可靠性和经济性惯性传感器产品。该公司已向全球数千家客户交付了超过2500万颗MEMS传感器,并且在惯性传感领域拥有可追溯至100多年的传统。如今所有的惯性传感器和系统都是基于内部的专利设计,这些设计是在Silicon Sensing最先进的MEMS晶圆厂制造的。





审核编辑:刘清

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原文标题:Silicon Sensing将发布其最小的Pinpoint系列MEMS陀螺仪

文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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