Roban系列飞秒激光加工系统在微切割和转孔、表面微结构刻写、选择性激光烧蚀、透明材料激光内部特性加工、激光诱导化学改性加工中有广泛的应用。
图1. 砷化镓(直径2英寸,厚度300微米)钻孔。左图直径800 mm、500 mm、 300 mm 和 200 mm 微孔阵列. 右图直径5mm、3mm、 2mm、1mm、800 mm and 500 mm 微孔图样。
图2. 蓝宝石晶体表面光栅刻划,周期2 mm和3 mm。
图3. 透明材料(蓝宝石)内部激光诱导折射率变化--衍射光栅
审核编辑黄宇
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