白光干涉仪如何获得高度信息丨科普篇
就 ” 白光 -干涉- 高度” 三个内容， 小优博士带大家一起了解白光干涉仪是如何获得高度。
一、什么是白光？
可见光波长范围390nm - 780nm， 最短是紫光,其次蓝光、青光、绿光、黄光、橙光、红光。
白光是复合光，白光干涉仪的光源波长一般在500nm附近。
二、光干涉
1. 什么是光干涉
两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光的干涉。
2. 如何产生光干涉
通过分束器，将光一束打到物体表面，一束打到参考镜。
光反射回来时光程差相等时即可产生光干涉。
三、获取高度 和 获取高度的常用方法
点A和B的干涉条纹的亮度峰值之间的差，就表示高度差。
方法1 ：通过PSI 相移干涉 获得高度差
相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉。
目标面的反射光和参考面的反射光之间的相位为Ø，距离参考面的高度为h，则Ø=4h/λ。
借助相位测量法，可使用雅典扫描器等传动器移动测量面的光路，计算以1/4波长移动光路时获得的多个干涉条纹的相位差（Ø），然后将其转换为高度h。
方法2：通过VSI垂直扫描干涉 获得高度差
物镜以一定的间隔移动，以便确定每一阶的干涉条纹的亮度。
当测量面的光路和参考面的光路长度相等时，干涉条纹的亮度达到最高。
通过确定CCD光接收元件中每点最大干涉条纹亮度的Z轴高度可测出3D轮廓即高度差。
四、白光干涉仪获取高度信息图例
（例）通过PSI 相移干涉，获得激光镭雕的高度&三维形貌。
审核编辑黄宇
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表德赢Vwin官网
网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
白光干涉仪
+关注
关注
0文章
89浏览量
2046
发布评论请先 登录
相关推荐
激光共聚焦和白光干涉仪哪个好？
仔细考虑其特点和功能。白光干涉仪白光干涉仪是0.1nm纵向分辨率的光学3D轮廓仪，主要用于表面形貌的非接触式测量，能够提供纳米级分辨率的表面
白光干涉仪你问我答，为你解惑!
？采用何种方式进行验收？答：我司白光干涉仪采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为
发表于 12-13 09:27
白光干涉仪只能测同质材料吗？
白光干涉仪以白光干涉为原理，广泛应用于材料科学等领域，对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、孔隙间隙、台阶高度
发表于 08-21 13:46
白光干涉仪有哪些功能？能做什么？
。 一、超精细粗糙度测量 （例1）玻璃镜片 0.05nm 粗糙度测量 · 优可测白光干涉仪 NA-500拍摄 二、台阶高度 （例2）掩模版台阶高度测量· 优可测
白光干涉仪是什么？
SuperView W1白光干涉仪采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统。
白光干涉仪能做什么丨科普篇
粗糙度测量（例1）玻璃镜片0.05nm粗糙度测量·优可测白光干涉仪NA-500拍摄二、台阶高度（例2）掩模版台阶高度测量·优可测白光
如何验证白光干涉仪精度丨科普篇
粗糙度、台阶高度是白光干涉仪最擅长的测量工作。小优博士也重点说明过在此类测量应用的优势。白光干涉的超高精度，会让很多评估者无从下手。怎么验证
白光干涉仪核心硬件-压电陶瓷的大作用 | 科普篇
。通过前几期文章，相信大家已初步了解白光干涉仪实现纳米级测量精度的原理。前两期传送门↓↓↓白光干涉仪如何选择镜头丨
白光干涉仪的原理和测量方法
白光干涉仪是以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗
白光干涉仪(光学轮廓仪)：揭秘测量坑的形貌的利器！
干涉现象，使用白光源照射物体，并将反射光经过干涉仪的分光装置后形成干涉图样。通过观察干涉图样的变化，就可以
发表于 10-20 09:52
•0次下载
工商网监
评论