Keithley 吉时利 4200A-SCS材料和半导体参数分析仪
Keithley4200A-SCS参数分析仪源 是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪， 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不 扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时 可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程，快速而又满怀信心。
4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。
主要性能指标
I-V 源测量单元(SMU)
- ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
- 100 fA测量分辨率
- 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
- 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
- 四象限操作
- 2 线或 4 线连接
C-V 多频率电容单元(CVU)
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参数分析仪
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