国内半导体产业的行业盛会将在上海如期举行,华林科纳将为您带来超全面且领先的湿法解决方案,并携泛半导体湿法装备服务平台亮相SEMICON China,与上下游企业进行一对一交流,为企业发展瓶颈找到“痛点”根源,并提出合理可行的解决方案。
展会信息
展会时间:6月29日-7月1日
展会地点:上海新国际博览中心
华林科纳展位:E4馆 E4155
湿法解决方案
湿法清洗:
Wafer Clean / Glass Clean / Film Frame Clean / Wafer Edge Clean / Mask Clean / Post-CMP Clean...
湿法刻蚀:
Si Etch / SiGe Etch / GaAs Etch / Glass Etch / Al Etch / Cu Foil Etch / Inp Etch / TGV Etch...
高纯流体解决方案
1.PFA接头
入珠接头:1/8"-1"
扩口接头:1/4"-1"
焊接接头:1/4"-1-1/2"
接头类型:直通、弯头、三通以及对应的外牙接头和变径型号等组合
2.PFA管
CSE-PFA-SA系列管件在高渗透、渗透性的化学溶液(盐酸、氟、硝酸类化学溶液、氟类表面活性剂等) 和高温过程中的渗透减少。
3.隔膜阀
·连接尺寸:1/2”、3/4”、1”
·高流量紧凑型设计
·优良的耐腐蚀性能
·工作周期经上万次测试
4.PTFE风囊泵
·型号:CSE30、CSE60、CSE120
·专为半导体行业、电子行业而定制
·无金属设计,安全无泄漏
·寿命长,可满足200万以上的形成周期使用
·过程安全的PTFE和PFA通道
·加入了减少脉动过高的装置
·洁净室装配、测试、封装
5.PFA加热丝
·导体为进口品牌单股高强度镍铬合金丝
·护套采用PFA材质
·加热丝寿命相比其他产品长约30%
6.在线加热器
·根据客户需求定制,应对各种复杂场景
·能耐所有强酸、强碱、强氧化剂
·低表面功率设计,确保产品使用寿命
·带有华林科纳自研的控制器,更加安全有效的工作
7.磁制液位计
·无机械可动部分,故无摩擦,无磨损
·变换器封闭在管内,和测量介质非接触
·测量精度高,分辨率优于0.01% F.S.
·易于安装,维护简单
·便于系统自动化工作
8.PFA材质PTFE膜折叠滤芯
·超高流速
·更长的使用寿命(延长15%-20%)
·优异的温度耐受性能
·优秀的化学兼容性
·全氟结构,最大限度地减少金属析出物
·便捷的预湿选项,减少预操作时间
·全程在洁净室环境中制造
·出厂前通过100%完整性测试
9.温度传感器(PT100)
·精准测量,精度达0.1℃或更高
·快速响应,具有超高敏感度
·可有效避免干扰,使测温更加精准
·测温范围广(-50℃-200℃)
·进口芯片,使用寿命更长
·欧式冷压接线端子,稳定性是普通端子的2-3倍
·PFA材质包裹,进口原料,耐高温,防腐蚀(含盐酸)
·极低的金属离子析出
10.PFA保护层电线
·导体采用优良镀锡铜、镀镍铜
·外层绝缘采用PFA材质
·额定电压、额定温度可按需求定制
·外观粗细均匀、柔软
11.加工件
·多年加工经验和研发能力
·具有成本效益的加工计划
·原材料品质保证
·确保产品批量生产的一致性
·质量管控(来料检验、过程检验、成品检验)
泛半导体湿法装备服务平台
1.共享行业知识
技术资料库、行业人才库、典型案例库等
其中包括湿法领域的招/中标信息、行业观察、工艺资料、装备资料、电子期刊等。未来还将继续完善,实现知识资产化、知识场景化和知识智慧化,从而更有效得知识赋能。
2.服务新品开发
湿法实验室、仿真流体分布和热场分布、监理团队
湿法工艺实验室面积 1000 平米,购置实验室平台所必需的实验和检测设备及耗材,并配相应的工艺技术人员。
利用仿真技术可对未来可能发生的情况进行系统的、科学的、合理的推算,有效避免造成人力、物力的浪费。
监理团队成员拥有多年半导体行业项目实施、监督、控制、检查经验,可对项目建设全过程或分阶段进行专业化管理与服务,实现高质量监理,降本增效。
3.重构行业生态
华林科纳成立流体国产化部门,进一步强化氟塑料流体领域的创新能力和产品研发能力,加快实现产业链协同设计和供应链联合创新的能力。
4.交流行业知识
定期举办、形式多样(线上、线下)、内容广泛
形式:线上交流、讲座会议、实操交流、产品展厅学习交流、“一对一”交流等
内容:半导体湿法工艺、行业现状、湿法领域的技术挑战、企业发展的困难与机遇、上下游合作需求等
截至目前,平台已成功举办了多期交流会。
第六期交流会
2023年6月29日-7月1日,SEMICON China将在上海新国际博览中心举办,是中国半导体行业的盛事之一,华林科纳借此机会,举办第六期交流会。
为了强化交流会的针对性、互动性、专业性,本期交流会采取一对一交流的形式。
针对企业提出的问题,行业专家和资深从业者均结合企业的实际情况进行深度剖析,为企业发展瓶颈找到“痛点”根源,并提出合理可行的解决方案。
审核编辑 黄宇
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