应对先进工艺碳排放挑战，Imec开发晶圆厂可持续发展评估模型-德赢Vwin官网网

欧洲着名半导体研究机构imec beta测试中的软件平台建立了虚拟晶圆工厂。通过自下而上的方法，帮助真实工艺条件和合作伙伴出身的验证数据以及imec技术测定制造过程环境的影响，在ic制造链中实现碳目标。

随着技术的发展，与ic制造相关的排放量也增加了，特别是光刻和蚀刻能耗较大，例如n3工程中光刻工序产生的二氧化碳排放量约占45%。imec的工程师们半导体制造过程中产生的尾气可以建模软件平台开发，可持续半导体技术及系统计划（ssts）的使用率，作为克莱呕心沥血塑造和牛一样的高排放技术，可以优先考虑。

该公司的专家Emily Gallagher说：“建模软件最终会被公开，因为我们的使命是改善半导体产业的环境足迹。””将焦点放在制造芯片所需的各种工具上。需要什么样的工程，需要什么样的气体，需要什么样的公共设施？”

gallagher接着表示：“像微软和苹果这样的大企业的管理层不仅理解自己的事业，还理解在包括自己使用的芯片在内的整个价值链中，减少二氧化碳排放量的必要性。”“我们可以在这里提供帮助，因为我们可以找出有助于减少半导体工艺排放的问题领域，并制造定量工具来定义开发项目。”

除了二氧化碳，其他许多气体更有可能导致全球变暖。同样质量的排放气体含氟蚀刻气体和氢气在大气中抓住更多的热量，euv反射光刻中污染物沉积反射镜表面上有些高反射率的损失影响，氢气可用于保护物镜系统，使颗粒远离反射表面，，但氢也较高的全球变暖的潜能二氧化碳（co2）的13倍。现在，不是再利用，而是稀释或烧掉。

imec目前在300毫米晶圆洁净室设置了euv光刻用氢气回收系统，使用了约70%的氢气。此外，imec也对减少euv容量所必需的材料和暴露条件给予更多的关注。减少容量和减少晶圆的排放量之间有明显的关系。

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表德赢Vwin官网网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。举报投诉

半导体技术

半导体技术

+关注

关注
3

文章
237

浏览量
60705
光刻

光刻

+关注

关注
8

文章
320

浏览量
30155
蚀刻

蚀刻

+关注

关注
9

文章
413

浏览量
15368
二氧化碳

二氧化碳

+关注

关注
0

文章
154

浏览量
16597

AI在环境可持续发展方面的作用

近日，《联合国气候变化框架公约》缔约方会议第二十九次会议（COP29）在阿塞拜疆巴库落下帷幕，与会者们齐聚于此，共同应对气候变化。AI 在环境可持续发展方面的作用成为了本届大会关注的焦点。

发表于 11-27 11:24 •268次阅读

德力西电气亮相大湾区EHS及可持续发展论坛

近日，第二届大湾区EHS及可持续发展论坛于深圳隆重开幕，论坛以“拥抱ESG新生态，共话零碳新未来”为主题，携手各行业翘楚，共同探讨在可持续浪潮下的行业新生态。德力西电气受邀出席活动，可持续发展

发表于 11-11 13:50 •251次阅读

智慧城市在可持续发展中的应用

智慧城市在可持续发展中的应用体现在多个方面，它利用大数据、人工智能、物联网等先进技术，实现城市资源的高效利用、环境的保护、社会的包容性和经济的可持续发展。一、经济可持续发展 智慧城市

发表于 10-24 15:25 •634次阅读

2024中兴通讯创兴日可持续发展论坛成功举办

以“绿色·向新·共生”为主题的2024中兴通讯创兴日可持续发展论坛在深圳举办，众多专业学者、行业精英、合作伙伴和权威机构代表等齐聚一堂，共话可持续发展目标，探讨低碳转型之路。

发表于 10-15 10:38 •427次阅读

长电科技持续推动行业可持续发展

随着数字化和智能化的发展，半导体在物联网、通信、汽车电子、大数据等领域发挥着重要的作用。在追求高性能芯片的背后，一系列复杂的生产过程也带来了环境挑战，成为行业关注的重点。长电科技通过各类环保举措，落实可持续发展战略，推动产业共同

发表于 09-11 15:14 •399次阅读

德力西电气荣获2024绿色可持续发展贡献奖

7月24日，由数央网、数央公益联合国内众多大众及财经媒体共同主办的“迈向碳中和之路”2024第三届国际绿色零碳节暨ESG领袖峰会在北京举行。德力西电气凭借在可持续发展方面的突出成果，荣获“2024绿色

发表于 07-25 14:58 •529次阅读

隆基绿能发布2023年可持续发展报告 可持续发展融入战略管理

414.24GW，占全球光伏累计装机量的27%，可产生17,361亿kWh的绿色电力，相当于避免了8.12亿吨二氧化碳排放，相当于种植40.6亿棵，为全球气候行动与可持续发展作出了重要贡献。作为全球领先的太阳能科技公司，隆基致力于成为全球清洁能源领域

发表于 06-05 15:01 •397次阅读

微软大量建设数据中心致碳排放飙升

微软，这家科技巨头，在2020年初曾立下雄心壮志：不仅要在2030年实现碳负排放，更要在2050年前彻底抵消公司自成立以来的所有碳足迹。然而，近日发布的2024年度环境可持续发展报告揭

发表于 05-21 09:46 •328次阅读

4芯M5接头环保与可持续发展

　　德索工程师说道在当今社会，环保与可持续发展已成为全球关注的焦点。作为电子设备和电气系统中的重要组成部分，电气连接器件如4芯M5接头，在环保和可持续发展方面也扮演着不可忽视的角色。本文将探讨4芯M5接头在环保和可持续发展方面的

发表于 05-08 18:07 •295次阅读

积极应对气候变化挑战，海博思创展现可持续发展决心

的气候变化挑战面前，海博思创以坚定的决心和创新的步伐，积极响应全球可持续发展的号召。近日，海博思创获得由知名认证机构TÜV NORD颁发的组织温室气体排放＆产品碳足迹核查证书。在

发表于 05-06 14:56 •336次阅读

立讯精密首次被EcoVadis授予可持续发展银牌

近日，立讯精密成功通过全球供应链及企业可持续发展权威评估机构EcoVadis评估，获得65分的公司历史最高分，首次被授予可持续发展银牌。

发表于 03-18 18:09 •990次阅读

可持续发展理论在绿色校园设计中的应用

德赢Vwin官网网站提供《可持续发展理论在绿色校园设计中的应用.docx》资料免费下载

发表于 01-31 09:10 •0次下载

可持续发展理论在绿色校园设计中的应用

德赢Vwin官网网站提供《可持续发展理论在绿色校园设计中的应用.docx》资料免费下载

发表于 01-10 10:57 •0次下载

“碳”路可持续发展|华润微获评2023可持续发展“创新先锋企业”

创新先锋企业”等榜单。华润微报送的“进军新能源汽车电子市场”低碳案例，获评2023年度ESG可持续发展“创新先锋企业”。在新能源汽车市场需求的催化下，汽车芯片产业迎来新机遇与新挑战。作为国内功率半导体龙头企业，华润微积极瞄准绿

发表于 12-27 15:30 •587次阅读

英飞凌入选全球最具可持续发展能力的企业

英飞凌科技再次入选道琼斯可持续发展全球指数（DowJonesSustainabilityWorldIndex），标普全球（S&PGlobal）日前在美国纽约公布了相关评估报告。负责可持续发展

发表于 12-22 08:14 •489次阅读