颠覆性技术!半导体行业再放大招!-德赢Vwin官网网

颠覆性技术!半导体行业再放大招!

近日，日本佳能官方发布

纳米压印(NIL)半导体制造设备

未来，或将替代ASML***

成为更低成本的芯片制造设备!

要知道，半导体是目前全球经济的核心，在中国更是如此。中国的芯片进口量已经超过了石油进口量，各种半导体芯片在日常设备中无处不在。

在芯片的制造过程中，***是必不可少的设备。目前，最先进的EUV***波长只有13.5nm，是制造7nm及以下高端芯片的重要设备。但EUV***非常昂贵和复杂，每台价格超过1亿美元，而且全球只有荷兰的ASML公司能够生产。这就导致了芯片的生产成本飙升，且供应量有限。

事实上，光刻技术本身存在多种路线，离产业最近的，当属纳米压印光刻。近日，日本佳能(Canon)发布了一个名为 FPA-1200NZ2C 的纳米压印半导体制造设备，号称通过纳米压印光刻(NIL)技术实现了目前最先进的半导体工艺。此消息一出，即被业内认为，这将是挑战ASML的一大王牌。

(佳能官网信息)

据悉，纳米压印(NIL)技术可以形成最小线宽为 14nm 的图案(相当于现在 5nm 节点工艺)，而且通过进一步改进掩模，还将有可能支持 10nm 的最小线宽(相当于 2nm 节点工艺)。众所周知，ASML 的***(EUV)是通过特定光线照射在涂有光刻胶的晶圆上，从而将电路打印到芯片上，纳米压印(NIL)设备则更类似于 “印刷” 而不是 “投影”。

纳米压印(NIL)设备是通过将掩模直接压到晶圆的抗蚀剂层上，将电路图完整地转移过去，然后用自主喷墨技术将适量的抗蚀剂添加到合适的位置，最后将掩模印在涂有抗蚀剂的晶圆上进⾏精准曝光。单⼀压印即可形成复杂的 2D 或 3D 电路图。

官方称该设备结构简单，由于不需要***(EUV)的大规模特殊波长光学系统和真空腔，所以基于纳米压印(NIL)技术的设备得以大幅缩小体积。此外，该设备可用更小的功率形成精细图案，相比传统的 ***(EUV)投影曝光设备在形成图案时对应的功耗可降低至 1/10，同时也显著减少了碳排放。

纳米压印(NIL)设备的环境控制新技术可抑制内部细颗粒的产生和污染，实现多层半导体制造所需的高精度对准，并减少由颗粒引起的缺陷，从而可以形成微小且复杂的电路，为尖端半导体器件的制造做出贡献。最后，官方称该设备也可用于半导体器件以外的制造场景，包括集成电路、存储、光学、生命科学、能源、环保、国防等领域。

这一项成功的案例和全新思路的铺展，对中国***的研发带来重大启发。在低成本、高分辨率、简单工序等优点的芯片制造需求上，中国吸取更多经验并积极探索和创新成果，与全球共同挑战光刻技术的地位，为半导体行业贡献更多选择的可能性。

审核编辑黄宇

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表德赢Vwin官网网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。举报投诉

半导体

半导体

+关注

关注
334

文章
27286

浏览量
218048
光刻机

光刻机

+关注

关注
31

文章
1150

浏览量
47376

依托Chiplet&高性能RDMA，奇异摩尔斩获全国颠覆性技术创新大赛（未来制造领域赛）优胜奖

近日，第十三届中国创新创业大赛颠覆性技术创新大赛（未来制造领域赛）获奖结果出炉，奇异摩尔参赛项目【基于Chiplet+RDMA技术的下一代万卡AI集群的全栈式互联解决方案】荣获优胜奖

发表于 12-19 09:39 •207次阅读

依托Chiplet&高性能RDMA，奇异摩尔斩获全国<b class='flag-5'>颠覆性</b><b class='flag-5'>技术</b>创新大赛（未来制造领域赛）优胜奖

意法半导体如何引领汽车电子重塑未来

汽车行业正处在电动化和智能化的转型过程中，而半导体企业站在这一变革的最前沿。这一转型带来了重大发展机遇，也带来了诸多挑战，需要颠覆性的技术以及更短的开发周期。加强

发表于 12-12 14:46 •169次阅读

梦之墨荣获全国颠覆性技术创新大赛优秀项目

近日，第十三届中国创新创业大赛颠覆性技术创新大赛（以下简称“大赛”）总决赛在杭州市余杭区圆满结束。大赛聚焦技术革新，旨在引领未来产业的发展方向，促进科技创新成果的转化，加速新质生产力的成长，是全国

发表于 12-02 11:40 •291次阅读

梦之墨荣获全国<b class='flag-5'>颠覆性</b><b class='flag-5'>技术</b>创新大赛优秀项目

三相200V转380V带零线颠覆性技术：出口日本变压器引领行业潮流

‌ 三相200V转380V带零线颠覆性技术：出口日本变压器引领行业潮流 ‌ 在全球电气设备贸易的版图中，日本市场以其独特的电力标准和严格的技术要求著称。面对这一挑战，中国电力设备制造商

发表于 11-20 15:10 •160次阅读

三相200V转380V带零线<b class='flag-5'>颠覆性</b><b class='flag-5'>技术</b>：出口日本变压器引领<b class='flag-5'>行业</b>潮流

中国半导体的镜鉴之路

的启发。今天，我们也在学习欧美的技术，也在学习日本和美国的技术。 1953年，日本政府意识到半导体的重要性之后，调动了几乎日本全部的大型工业企业进入

发表于 11-04 12:00

半导体

本人接触质量工作时间很短，经验不足，想了解一下，在半导体行业中，由于客户端使用问题造成器件失效，失效率为多少时会接受客诉

发表于 07-11 17:00

喜讯 | MDD辰达半导体荣获蓝点奖“最具投资价值奖”

高可靠性、高性能产品服务矩阵。公司先后荣获“国家高新技术企业”和“深圳专精特新企业”称号，产品畅销全球40多个国家和地区，累计超20000家客户选择MDD辰达半导体，涵盖新能源汽车、工业控制、消费

发表于 05-30 10:41

半导体发展的四个时代

代工厂来开发和交付。台积电是这一阶段的关键先驱。 半导体的第四个时代——开放式创新平台仔细观察，我们即将回到原点。随着半导体行业的不断成熟，工艺复杂性和设计复杂

发表于 03-27 16:17

半导体发展的四个时代

交给代工厂来开发和交付。台积电是这一阶段的关键先驱。 半导体的第四个时代——开放式创新平台仔细观察，我们即将回到原点。随着半导体行业的不断成熟，工艺复杂性和设计复杂

发表于 03-13 16:52

华为颠覆性磁电硬盘省电90％！功耗不到2000W 省电多达90％

有外媒报道称，华为已经研发了一种颠覆性的磁电硬盘，将用于其下一代OceanStor Arctic存储系统，相比传统机械硬盘、磁带存储可大大降低成本和功耗。

发表于 03-08 15:13 •2222次阅读

字节跳动推出一款颠覆性视频模型—Boximator

在 Sora 引爆文生视频赛道之前，国内的字节跳动也推出了一款颠覆性视频模型——Boximator。

发表于 02-20 13:44 •1100次阅读

soa半导体光放大器基本概念 半导体光放大器的频带宽度

半导体光放大器是一种利用半导体材料的特性来放大光信号的装置。它在通信系统、光纤通信以及光纤传感等领域具有重要应用。在本文中，我们将详细介绍半导体

发表于 02-18 14:42 •709次阅读

soa半导体光放大器原理 soa半导体光放大器可以当光开关吗

中的应用。一、SOA半导体光放大器的工作原理 1.1 SOA半导体光放大器的结构和组成 SOA半导体光

发表于 02-18 14:41 •1584次阅读

SOA半导体光放大器原理 SOA半导体光放大器的缺点

SOA（Semiconductor Optical Amplifier）半导体光放大器是一种基于半导体材料的光学放大器，通常用于光通信和光网络中的信号

发表于 01-30 10:09 •1321次阅读

Chiplet对英特尔和台积电有何颠覆性

Chiplets（芯片堆叠）并不新鲜。其起源深深植根于半导体行业，代表了设计和制造集成电路的模块化方法。为了应对最近半导体设计复杂性日益增加带来的挑战，chiplet的概念得到了激发。

发表于 01-19 09:45 •636次阅读

搜索历史

颠覆性技术!半导体行业再放大招!

评论

依托Chiplet&高性能RDMA，奇异摩尔斩获全国颠覆性技术创新大赛（未来制造领域赛）优胜奖

意法半导体如何引领汽车电子重塑未来

梦之墨荣获全国颠覆性技术创新大赛优秀项目

三相200V转380V带零线颠覆性技术：出口日本变压器引领行业潮流

中国半导体的镜鉴之路

半导体

喜讯 | MDD辰达半导体荣获蓝点奖“最具投资价值奖”

半导体发展的四个时代

半导体发展的四个时代

华为颠覆性磁电硬盘省电90％！功耗不到2000W 省电多达90％

字节跳动推出一款颠覆性视频模型—Boximator

soa半导体光放大器基本概念半导体光放大器的频带宽度

soa半导体光放大器原理 soa半导体光放大器可以当光开关吗

SOA半导体光放大器原理 SOA半导体光放大器的缺点

Chiplet对英特尔和台积电有何颠覆性