华为、哈工大联手：基于硅和金刚石的三维集成芯片专利公布
最近，华为技术有限公司和哈尔滨工业大学申请的“一种基于硅和金刚石的三维集成芯片的混合键合方法”专利被公布为cn116960057a。
摘要本发明涉及芯片制造技术领域。硅基的cu/sio2混合结合样品和金刚石基础的cu/sio2混合结合样品的准备后，进行等离子体活性。经等离子体活性处理后，将cu/sio2混合结合试料浸泡在有机酸溶液中清洗后干燥。硅基/或者金刚石基cu/sio2混合结合样本的干燥后结合降低大气表面氟化氢酸溶液硅基/金刚石基cu/sio2混合结合使样本量身定制，预结算获得的芯片，词典结合打开压缩芯片结合，退火处理，但获得混合结合双样品。该发明实现了以cu/sio2混合结合为基础的硅/金刚石的三维异质集成。
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表德赢Vwin官网
网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
等离子体
+关注
关注
0文章
122浏览量
14223 -
芯片制造
+关注
关注
10文章
621浏览量
28803 -
硅基
+关注
关注
0文章
57浏览量
15672
发布评论请先 登录
相关推荐
探秘合成大尺寸单晶金刚石的路线与难题
金刚石因其优异的机械、电学、热学和光学性能，展现出广阔的发展前景。然而，目前工业上通过高温高压法批量生产的单晶金刚石尺寸通常小于10毫米，这极大限制了其在许多领域的应用。因此，实现大尺寸金刚石的合成
金刚石遇上激光:不同激光类型加工效果大揭秘
金刚石加工困难，而激光加工技术为其提供了解决方案，将激光加工技术应用于金刚石加工，可实现金刚石的高效、高精度加工。上期我们了解了金刚石的激光加工原理，今天一起来看看不同激光束类型作用于
金刚石多晶材料：高功率器件散热解决方案
随着电子器件功率密度的不断提升，尤其是在5G通信、电动汽车、高功率激光器、雷达和航空航天等领域，对高效散热解决方案的需求日益迫切。金刚石多晶材料凭借其超高的热导率、优异的机械性能和化学稳定性，成为高
颠覆传统认知！金刚石：科技界的超级材料，引领未来潮流
金刚石，这种自然界中已知硬度最高、热导率最优的材料，近年来在科学研究和工业应用领域展现出了前所未有的潜力。从散热片到红外窗口，再到半导体材料，金刚石的多重身份正逐步揭开其作为未来科技核心材料的神秘面纱。
金刚石/GaN 异质外延与键合技术研究进展
率密度，但是仍有许多问题亟需解决。目前的研究大多是对器件层或衬底层单独的研究，将其高效的结合起来，金刚石用于GaN 功率器件的三维散热，将大幅度降低器件温度，有望在未来完全发挥GaN 的高功率密度高频率优势
上海光机所在提升金刚石晶体的光学性能研究方面获新进展
图1.退火前后金刚石的应力双折射、可见吸收光谱(左)和红外光谱(右) 近日，中科院上海光机所先进激光与光电功能材料部激光晶体研究中心与浙江无限钻科技发展有限公司合作，在提升金刚石晶体的光学性能研究
金刚石的熔沸点高于晶体硅的原因
金刚石和晶体硅都是原子晶体，它们的熔沸点主要取决于原子间的键合强度。以下是一些关键因素，这些因素决定了金刚石的熔沸点高于晶体硅： 原子间键的类型 ：
金刚石碳化硅晶体硅的熔沸点怎么比较
金刚石、碳化硅和晶体硅都是由碳元素构成的晶体材料，它们具有不同的晶体结构和化学性质。 一、晶体结构 金刚石 金刚石是一种具有四面体结构的碳原子晶体。每个碳原子都与四个其他碳原子通过共价
金刚石太阳能电池:光伏领域的新星
在ECOticias网站的一则报道中，一项革命性的技术引起了广泛关注——使用掺硼金刚石制作的太阳能电池板，这一创新不仅标志着传统硅基太阳能电池板可能面临的变革，更为光伏能源的未来绘制了一幅全新的蓝图。
据新华社等多家媒体报道！畅能达科技实现散热技术重大突破！
据新华社等多家媒体报道！畅能达科技实现散热技术重大突破
由 广东畅能达科技发展有限公司 自主研发的高热流密度散热相变封装基板，其散热性能远远超过现有的金刚石铝和金刚石铜。该技术可广泛运用于芯片、微波
发表于 05-29 14:39
德国科研团队利用超薄金刚石膜降低电子元件热负荷
据悉，此项创新的核心在于金刚石优秀的导热性能与绝缘特性。项目负责人坦言，金刚石可加工成优质的导电路径，以极高效率将热量传导至铜制散热器。
全新潜力：金刚石作为下一代半导体的角逐者
金刚石，以其无比的硬度和璀璨的光芒而闻名，也打开了其作为半导体的新视角，为下一代电子元件提供了新的可能。金刚石特有的特性，包括高导热性和电绝缘特性，使其在一些特殊的电子和功率器件应用中具有极大的吸引力，特别是在高功率和高温环境中。
CVD金刚石在机械密封领域中的应用
随着科技的不断发展，金刚石在许多领域中都展现出了巨大的应用潜力。其中，化学气相沉积（CVD）金刚石由于其独特的物理和化学性质，尤其在机械密封领域中有着广泛的应用前景。
金刚石晶体的不同类型及应用梳理
金刚石是我们都非常熟悉的超硬材料，人造金刚石晶体有多种不同的类型，大致可分为单形和聚形，每种类型都具有不同的特性和应用。本文梳理了金刚石晶体的不同类型及应用。
增强GaN/3C-SiC/金刚石结构的散热性能以适应实际器件应用
热管理在当代电子系统中至关重要，而金刚石与半导体的集成提供了最有前途的改善散热的解决方案。
工商网监
评论