清软微视周继乐：化合物半导体衬底和外延缺陷无损检测技术-德赢Vwin官网网

当前，第三代化合物半导体应用广泛，化合物半导体材料在电子器件制造中扮演着重要角色。其中半导体衬底和外延层的质量对器件性能至关重要，检测这些材料中的缺陷是确保高性能器件制造成功的关键一步，有助于确保产品质量、提高生产效率，同时也为材料研究和新技术的发展提供了关键的支持。

近日，第九届国际第三代半导体论坛（IFWS）&第二十届中国国际半导体照明论坛（SSLCHINA）在厦门国际会议中心召开。期间在“碳化硅衬底、外延生长及其相关设备技术”分会上，清软微视（杭州）科技有限公司总经理周继乐带来了“碳化硅衬底、外延生长及其相关设备技术”的主题报告。

清软微视是清华大学知识产权转化的高新技术企业，专注于化合物半导体视觉领域量检测软件与装备研发。其自主研发的针对碳化硅（SiC）和氮化镓（GaN）的衬底和外延无损检测装备Omega系列产品，可以检测碳化硅和氮化镓晶片在生产制造过程中产生的表面缺陷和内部晶格缺陷，支持BF/DIC/DF/PL 多种成像方式，已经通过五家主流厂商的六大类数千块量产片测试验证。

报告显示，Omega系列化合物衬底和外延检测设备，应用于多尺寸SiC/GaN 等衬底/外延生产过程。支持DIC/明场/多角度暗场/PL成像方式的自由配置组合。适用于透明/半透明/不透明衬底/外延片表面/侧边/背面缺陷检测。

其Omega 9880是针对碳化硅衬底和外延的检测设备。多配置DY预估结果同时输出，使用直方图、Wafer Map、Charts等形式对单次或批量检测结果进行分析，数据库存储时间超过两年，可随时检索。兼容主流厂商Mapping数据交换格式。检测结果数据支持 FTP、HTTP、共享目录等多种方式上传，可合并不同功能检测设备、不同产商检测设备的 Mapping结果。报告指出，Omega 9880与对标机台成像方案均为集成了 DIC明场与PL的显微成像方式，算法检测基于图像成像信号进行缺陷检测与分类。

结合实践，报告认为，目前行业仍需要思考，是否存在完美的无损缺陷检测方法，以及探索缺陷的转化、关联分析。

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表德赢Vwin官网网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。举报投诉

半导体

半导体

+关注

关注
334

文章
27286

浏览量
218031
氮化镓

氮化镓

+关注

关注
59

文章
1628

浏览量
116301
检测技术

检测技术

+关注

关注
2

文章
354

浏览量
29075

原文标题：清软微视周继乐：化合物半导体衬底和外延缺陷无损检测技术

文章出处：【微信号：第三代半导体产业，微信公众号：第三代半导体产业】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。

华大半导体旗下中电化合物荣获2024年“中国SiC外延影响力企业”称号

电化合物有限公司连续3年获得了相关奖项，继2022年荣获“中国SiC衬底十强”，2023年荣获“中国第三代半导体外延十强企业”称号后，本次荣获“中国SiC

发表于 12-19 14:44 •188次阅读

华大<b class='flag-5'>半导体</b>旗下中电<b class='flag-5'>化合物</b>荣获2024年“中国SiC<b class='flag-5'>外延</b>影响力企业”称号

市场规模达739.亿美元!三星电子与SK海力士进军化合物功率半导体领域

决策，是基于对化合物功率半导体市场潜力的深刻认识。两家公司计划开发碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)半导体，这两种材料因其优越的性能在功率半导体领域中占据重要地位

发表于 07-05 11:11 •594次阅读

市场规模达739.亿美元!三星电子与SK海力士进军<b class='flag-5'>化合物</b>功率<b class='flag-5'>半导体</b>领域

衬底VS外延：半导体制造中的关键角色对比

在半导体技术与微电子领域中，衬底和外延是两个重要的概念。它们在半导体器件的制造过程中起着至关重要的作用。本文将详细探讨

发表于 05-21 09:49 •2599次阅读

<b class='flag-5'>衬底</b>VS<b class='flag-5'>外延</b>：<b class='flag-5'>半导体</b>制造中的关键角色对比

河南渑池县碳化硅半导体材料及砷化镓衬底固废综合利用项目

5月9日，河南渑池县举行了化合物半导体碳化硅材料与固废综合利用砷化镓衬底项目的签约仪式。在仪式上，化合物半导体材料团队执行总监李有群对该项目

发表于 05-10 16:54 •1259次阅读

半导体衬底和外延的区别分析

作为半导体单晶材料制成的晶圆片，它既可以直接进入晶圆制造流程，用于生产半导体器件；也可通过外延工艺加工，产出外延片。

发表于 04-24 12:26 •3760次阅读

<b class='flag-5'>半导体</b><b class='flag-5'>衬底</b>和<b class='flag-5'>外延</b>的区别分析

京东方华灿光电亮相2024功率及化合物半导体产业国际论坛

3月24日，SEMICON China 2024展会在上海盛大开展,同期在上海召开功率及化合物半导体产业国际论坛，京东方华灿光电氮化镓电力电子研发总监邱绍谚受邀出席本次大会，并在会上做主题演讲。

发表于 04-19 14:14 •624次阅读

京东方华灿光电亮相2024功率及<b class='flag-5'>化合物</b><b class='flag-5'>半导体</b>产业国际论坛

异质外延对衬底的要求是什么？

异质外延是一种先进的晶体生长技术，它指的是在一个特定的衬底材料上生长出与衬底材料具有不同晶体结构或化学组成的薄膜或外延层的过程，即：在一种材

发表于 04-17 09:39 •725次阅读

异质<b class='flag-5'>外延</b>对<b class='flag-5'>衬底</b>的要求是什么？

近万人参会!2024九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会在武汉召开

4月9日，2024九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会在武汉中国光谷科技会展中心开幕。海内外化合物半导体产业链的领军企业齐聚一堂，9位国内外院士、300多名行业领军人，800多家企业代

发表于 04-11 11:22 •551次阅读

近万人参会!2024九峰山论坛暨<b class='flag-5'>化合物</b><b class='flag-5'>半导体</b>产业博览会在武汉召开

清纯半导体、中电化合物入选2024年度宁波市优质产品推荐目录！

日前，宁波市经济和信息化局正式公布《2024年度宁波市优质产品推荐目录》。清纯半导体（宁波）有限公司旗下“国产车规级SiC MOSFET产品”、中电化合物半导体有限公司旗下“6吋车规级SiC外

发表于 03-15 17:24 •1471次阅读

半导体衬底和外延有什么区别？

衬底（substrate）是由半导体单晶材料制造而成的晶圆片，衬底可以直接进入晶圆制造环节生产半导体器件，也可以进行外延工艺加工生产

发表于 03-08 11:07 •1511次阅读

半导体衬底材料的选择

电子科技领域中，半导体衬底作为基础材料，承载着整个电路的运行。随着技术的不断发展，对半导体衬底材料的选择和应用要求也越来越高。本文将为您详细

发表于 01-20 10:49 •1708次阅读

半导体资料丨溅射外延、Micro-LED集成技术、化学蚀刻法制备MSHPS

Si上 AIN 和 GaN 的溅射外延(111) 溅射外延是一种低成本工艺，适用于沉积III族氮化物半导体，并允许在比金属-有机气相外延（M

发表于 01-12 17:27 •502次阅读

智程半导体获战略融资数亿元，老股东持续追加投资

据智程半导体官方网站介绍，其创立于 2009 年，专注于半导体湿制程设备的研发、生产及销售，服务覆盖集成电路制造、先进封装、化合物半导体及半导体

发表于 01-12 14:09 •713次阅读

2029年衬底和外延晶圆市场将达到58亿美元，迎来黄金发展期

在功率和光子学应用强劲扩张的推动下，到2029年，全球化合物半导体衬底和外延晶圆市场预计将达到58亿美元。随着MicroLED的发展，射频探索新的市场机会。

发表于 01-05 15:51 •1110次阅读

中电化合物荣获“中国第三代半导体外延十强企业”

近日，华大半导体旗下中电化合物有限公司荣获“中国第三代半导体外延十强企业”称号，其生产的8英寸SiC外延片更是一举斩获“2023年度SiC衬底

发表于 01-04 15:02 •1450次阅读

搜索历史

清软微视周继乐：化合物半导体衬底和外延缺陷无损检测技术

评论

华大半导体旗下中电化合物荣获2024年“中国SiC外延影响力企业”称号

市场规模达739.亿美元!三星电子与SK海力士进军化合物功率半导体领域

衬底VS外延：半导体制造中的关键角色对比

河南渑池县碳化硅半导体材料及砷化镓衬底固废综合利用项目

半导体衬底和外延的区别分析

京东方华灿光电亮相2024功率及化合物半导体产业国际论坛

异质外延对衬底的要求是什么？

近万人参会!2024九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会在武汉召开

清纯半导体、中电化合物入选2024年度宁波市优质产品推荐目录！

半导体衬底和外延有什么区别？

半导体衬底材料的选择

半导体资料丨溅射外延、Micro-LED集成技术、化学蚀刻法制备MSHPS

智程半导体获战略融资数亿元，老股东持续追加投资

2029年衬底和外延晶圆市场将达到58亿美元，迎来黄金发展期

中电化合物荣获“中国第三代半导体外延十强企业”