2023年12月,三星电子首席执行官李在镕陪同韩国总统尹锡悦访问荷兰,与ASML签订重要商业协议。双方决定共投一万亿韩元(约合7.62亿美元),在韩国设立研发中心,研发EUV光刻技术。作为协议的关键部分,三星将率先获取新一代High-NA EUV光刻仪。
现时,ASML是全球唯一的EUV***制造商,这台设备主要应用于生产7nm及以下制程芯片。目前,ASML年产此类设备数量有限,供不应求。李在镕本次来访韩国主要是与ASML商讨优先供应事宜。
三星已获High-NA EUV***优先供应权,期望以此为契机,提升DRAM及逻辑芯片领域High-NA技术的运用效率。在位于韩国京畿道东滩的芯片研发中心,来自ASML和三星的工程师们将携手合作,进一步推进EUV芯片制造技术。此次协议不仅是采购2nm芯片制造设备,更旨在和ASML展开深度合作,充分发挥新型设备的潜力。
据了解,ASML预计2024年将推出10台2nm芯片制造设备,其中已有6台被英特尔预定。新款High-NA EUV***聚光能力从0.33升级到0.55,将实现更精密的曝光图案,助力2nm节点生产。未来几年,ASML期待将这种新设备年产量提升至20台。
在顺利引进ASML新款***后,三星计划于2025年底量产出货2nm芯片。然而,据第三方分析,此计划或因市场情况和生产质量等因素有所推迟。
值得注意的是,数年前高通选择三星代工骁龙888、骁龙8 Gen1芯片,采用5nm、4nm制程工艺。然而,因三星工艺问题导致芯片过热,高通最终转向台积电生产。近期有消息显示,第五代骁龙8有望重回三星代工,并将采用2nm工艺。与此同时,台积电、三星、英特尔在2nm制程上积极布局,力图争夺市场订单份额。
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