XeF2和SF6可以相互替换吗？XeF2和SF6对硅腐蚀的区别？-德赢Vwin官网网

我们知道含F的XeF2和SF6都被当做腐蚀硅的气体，XeF2常被作为各向同性腐蚀硅的气体，而SF6常和CF4搭配作为硅各向异性腐蚀的气体，那么XeF2和SF6可以相互替换吗？

XeF2和SF6能否相互替换？答案是否定的。

根本原因在于二者的反应机理不同。

XeF2是一种氟基化合物，在室温下能够自发地和硅发生化学反应，且反应速率很快。除了对各向同性腐蚀硅，还可以对Ge和SiGe进行干法腐蚀。化学反应方程式为：

2XeF2(g)+Si(s)→SiF4(g)+2Xe(g)

本反应不需要外界的能量来提高反应活化能，因此XeF2腐蚀硅具有低成本特性。同时，生产的副产物SiF4和Xe都是挥发性气体，易于排出。

SF6也是一种氟基化合物，但是在室温下几乎无法自发和硅发生化学反应，所以要借助外界的射频将SF6进行电离，得到F*游离基，4个F*游离基与Si原子结合形成挥发性的SiF4副产物离开衬底表面排出。

SF6与Si反应方程式为：

（1）SF→SFx++F*+F-+SF6*；

（2）F*+Si→SiF4↑

本反应需要射频参与，不是纯化学反应，为等离子体物理化学反应。

图硅的各向同性腐蚀和各向异性腐蚀示意图

由于XeF2和SF6刻蚀硅不同的机理，因此在选择掩蔽层也有不同的方案。XeF2在与Si和SiO2纯化学反应的刻蚀选择比大于1000 : 1，而SF6在与Si和SiO2的RIE刻蚀选择一般小于100 : 1。

这就意味在深刻硅的工艺中， XeF2可以根据选择比选择合适厚度的SiO2的作为单一掩蔽层，而SF6一般不能作为DRIE的单一掩蔽层，需要与光刻胶形成复合掩蔽层。

XeF2刻蚀硅是纯化学反应，气体分子只能通过扩散和吸附在硅表面才能发生反应产生腐蚀，因此此反应具有较为明显的尺寸效应，即刻蚀尺寸越小，刻蚀速率越慢。

因此在设计芯片图形结构时，应注意不同区域的线宽和间距不相差过大。

同时XeF2刻蚀硅最优的方式是采用脉冲通气方式，对刻蚀腔室进行快速的充气和抽气，使气体分子具有更好的穿透力，能进入更小的刻蚀区域，另外快速的循环可以加速副产物的排出，从而抑制尺寸效应。

审核编辑：刘清

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表德赢Vwin官网网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。举报投诉

光刻胶

光刻胶

+关注

关注
10

文章
317

浏览量
30218

原文标题：XeF2和SF6对硅腐蚀的区别？

文章出处：【微信号：bdtdsj，微信公众号：中科院半导体所】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。

导致SF6释放的危险情况

，与SF6从一个CB完全逸出相关的SOF 2将达到17.5ppmv。开关室中SOF 2的浓度为20％相对压力损失（通常为警报水平）为3.5 ppmv在上述两种情况下，可以超过阈值极限值

发表于 10-26 10:56

SF6气体管理：概述

等级，所需的保护和处理程序。设备类型可以是非开关的，例如，气体绝缘的传输线，或开关，例如断路器。2.风险和警告标志 - 处理SF6气体所涉及的风险和警告可分为三个等级，即高，中和低。高风险情况将涉及在

发表于 02-13 10:01

SF6气体密度继电器现场检查相关问题

在SF6电气设备中用于反映设备内气体密度变化的装置（也称密度监测仪，密度控制器，密度表等）。密度继电器基本上是一个仪表，显示被测设备中气体密度的变化。SF6气体密度继电器可以在设备当气体密度下降到规定

发表于 03-13 14:16

sf6综合测试仪厂家的优惠力度如何？

够找到一个优惠力度比较大的厂家，在购买区也可以节约很多的钱，而事实上也是如此，大家在选择sf6综合测试仪时能够对各个厂家的优惠力度进行对比，找到一个优惠力度比较大的厂家就可以在购买时享受到更多的优惠

发表于 07-22 11:56

SF6密度继电器校验仪的作用是什么？

` 在介绍之前，我们先来了解一下SF6开关。SF6开关是目前广泛运用于电力系统之中的高压电器，它的可靠稳定的运行是供电部门关心的问题之一。由此，我们的SF6密度继电器校验仪开始发挥其作用。 S

发表于 10-23 23:14

SF6密度继电器校验仪介绍

监测便携式SF6气体密度监测仪是一种可靠且经济的方式，可以在很宽的温度范围内监测SF6气体密度和泄漏。温度补偿的压力开关会自动调整其设置，以适应所有SF6密度水平（包括混合气体）的温度

发表于 12-10 10:25

SF6断路器实用技术

SF6断路器实用技术介绍了SF6气体的性能及应用，SF6断路器的类型及结构，SF6断路器及GIS组合电器的安装调试、运行维护及故障处理；SF6

发表于 11-12 18:30 •61次下载

SF6高压电器设计

SF6高压电器设计本书总结了作者20多年来在SF6高压电器开发工作中的研究成果与设计经验，详尽地介绍了SF6气体的理化电气特性和SF6气体管理方面的研究成果，总结了

发表于 11-12 18:40 •58次下载

高压SF6开关设备的设计与计算

高压SF6开关设备的设计与计算综述了SF6气体的物理和化学特性及生产;研究SF6气体的电气强度和绝缘结构;SF6和空气的灭弧能力作了比较;SF6

发表于 11-12 18:53 •0次下载

SF6气体及SF6气体绝缘变电站的运行

SF6气体及SF6气体绝缘变电站的运行的内容有SF6气体的性质，SF6气体绝缘性能和GIS中绝缘子的沿面闪络，SF6气体绝缘变电站GIS，G

发表于 11-15 20:46 •0次下载

SF6密度继电器校验仪

1.进行密度继电器校验的必要性 SF6开关是电力系统广泛使用的高压电器。SF6开关的可靠运行已成为供用电部门关心的问题之一。SF6气体密度继电器是用来监测运行中SF6开关本体中

发表于 04-16 11:46 •1276次阅读

SF6气体定性检漏仪有什么功能

XP-1A SF6气体定性检漏仪 SF6检漏仪功能 1、该SF6气体定性检漏仪仪在设计上增加了许多方便用户使用的性能 2、灵敏度的七级自由设置，使仪表从一级到七级增加 64 倍的灵敏度

发表于 03-10 16:04 •2320次阅读

ZCQH系列SF6气体回收装置产品技术规范书

ZCQH系列SF6气体回收净化充放装置是用于SF6气体绝缘电器设备的制造厂，使用运行科研等部门, 对各种电器设备进行抽真空，对电器设备充入 SF6气体，并从使用或试验的电器中回收 SF

发表于 07-31 10:48 •0次下载

ZCSD-II SF6纯度分析仪技术规范书

ZCSD-II 高精度 SF6气体纯度分析仪主要用于测量 SF6与空气 SF6与 N2混合气体的 SF6气体纯度。也能用于存在有几种背景

发表于 07-31 10:33 •0次下载

SF6气体泄露报警监控系统

XKCON祥控SF6气体泄露报警监控系统具备数据采集、自动存储各种报警数据与实时数据，按照设定的方式控制风机等功能；是支持根据各种应用场合的具体要求进行灵活配置的智能型SF6/O2气体采集系统

发表于 07-10 17:32 •1547次阅读