导语:近日,深圳芯能半导体技术有限公司(下文简称:芯能半导体)宣布已获得一项有关IGBT芯片的重大专利——“一种带有ESD结构的IGBT芯片及制作方法”,这一专利的颁布不仅保障了产品安全性,还提高了芯片工作效率。
此次专利的申请日期为2023年8月22日,授权公示日为2024年3月26日,授权公告号为CN116779666B。此项专利主要涉及的新型IGBT芯片结构,其特征在于采用自上而下的顶层金属层、ESD结构、多晶硅层等多种组件相互配合,实现稳定的电路运行。
发明的核心亮点是将多晶硅层顶部水平设置一层水平多晶硅,在该层上还横向安放NPN结构,进一步构建出ESD防护结构。利用这种方法,将多晶硅层和接触孔通过ESD结构连接起来,确保栅极和发射极能得到有效保护。
值得注意的是,接触孔采用的是与发射极所在的N+区域相连接的方式,使栅极多晶硅与发射极之间得以基于ESD结构形成并联关系,从而显著提升了产品性能和安全保障。
该项发明为行业内IGBT芯片研发和生产带来了新的思路和发展方向,降低了制造门槛并确保了产品质量。未来,芯能半导体将会继续投入更多科研力量,推动晶体管领域的技术进步和市场拓展。
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