北方华创微电子装备有限公司获半导体加工腔室专利
北京北方华创微电子装备有限公司近期获得了一项“半导体加工腔室”的专利，公布于CN112687513B号公报，专利期自2024年5月17日起生效，该专利由王某于2020年12月25日提交申请。
此项发明涉及一种半导体加工腔室，主要由腔体、可升降的基座以及内衬组件构成。内衬组件包含上内衬及下内衬，上内衬环绕腔体侧壁，下内衬则固定在外周基座上，并设有导气通道，通道包括第一环形通气口和第二环形通气口，第二环形通气口直径较小。当基座处于工艺位置时，下内衬与上内衬形成第一空间，而下内衬与腔体间则为第二空间，基座置于第一空间，升降机构位于第二空间。第一环形通气口和第二环形通气口分别连接第一空间和第二空间，以实现工艺气体的均匀分布，提升产品品质。
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表德赢Vwin官网
网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
半导体
+关注
关注
334文章
27286浏览量
218027 -
北方华创
+关注
关注
0文章
55浏览量
10652
发布评论请先 登录
相关推荐
芯佰微电子（北京）有限公司获评专精特新企业！
北京市2023年第三季度专精特新企业名单公示，芯佰微电子（北京)有限公司凭借自身卓越的创新和专业技术获评专精特新企业！专精特新定义为“专业化、精细化、特色化、新颖化”，入选的专精特新企业具有成长性好
华大半导体旗下小华半导体获评2024年上海市质量标杆企业
近日，上海市经济和信息化委员会公布了上海市“质量标杆”（2023~2024）名单。华大半导体旗下小华半导体有限公司以“‘创芯三步曲’实现AS
深圳必易微电子股份有限公司获低频纹波抑制电路及控制方法专利
深圳市必易微电子股份有限公司近日荣获一项低频纹波抑制电路及其控制技术的专利，专利号CN108513407B，公示日期2024年5月7日。该项技术的申请时间是2018年5月4日。
北方华创微电子装备有限公司“半导体设备及其晶舟”专利公布
具体来说，这种晶舟包括副晶舟支架，能够在批量半导体工艺处理达到预定进度时，以上下层叠的方式支撑多个晶圆，使其暂时离开主晶舟支架。当主晶舟支架旋转至特定角度后，副晶舟支架会进行复位操作，让晶圆重新回到主晶舟支架。
北京北方华创微电子装备公司研发新型电源控制技术与装置、半导体
此项技术主要涉及到电源控制以及半导体工艺设备领域。具体而言，该专利包括如下步骤：首先，启动待控制电源；接着确定该待控制电源是作为上极电源还是下极电源工作；然后，获取待控制电源的反射功率信息；
北方华创微电子装备公司半导体工艺设备传输腔室专利公示
此项专利主要涉及半导体工艺技术领域的设备改进，包含腔室主体、机械手和环状体等部件。其中，机械手的固定端与腔
华润微电子（重庆）有限公司实验室荣获CNAS认可证书
CNAS证书的取得不仅增强了华润微电子的核心竞争力，利于公司快速推进新产品开发、服务升级及拓展，而且加速了华润微电子车规级功率半导体产业基地布局的建设进程。
华大半导体旗下华大电子获评“2023年制造业单项冠军企业”
近日，国家工业和信息化部公布第八批制造业单项冠军名单，华大半导体旗下北京中电华大电子设计有限责任公司从众多参评企业中脱颖而出，
半导体放电管TSS：原理及在电子领域的应用？|深圳比创达电子EMC a
深圳比创达这边。今天就先说到这，下次给各位讲解些别的内容，咱们下回见啦！也可以关注我司wx公众平台：深圳比创达EMC！以上就是深圳市比创达电子科技有
发表于 03-06 10:07
半导体放电管TSS：原理及在电子领域的应用？|深圳比创达电子EMC
见啦！也可以关注我司wx公众平台：深圳比创达EMC！以上就是深圳市比创达电子科技有限公司小编给您们介绍的半导体放电管TSS：原理及在
发表于 03-06 10:03
强华股份集成电路核心装备新材料生产基地封顶
作为一家专注20余年石英加工的企业，上海强华实业有限公司主要生产和销售高质量、精密石英产品。尤为重要的是，石英产品被广泛运用于半导体芯片制造关键环节以及工艺流程，强华股份已经成为了诸如
芯佰微电子（北京）有限公司获评专精特新企业
近日，北京市2023年第三季度专精特新企业名单公示，芯佰微电子（北京)有限公司凭借自身卓越的创新和专业技术获评专精特新企业！ 专精特新定义为“专业化、精细化、特色化、新颖化”，入选的专精特新企业具有
工商网监
评论