3nm制程工艺或将迎来希望-德赢Vwin官网网

随着三星宣布7nm EUV工艺的量产，2018年EUV光刻工艺终于商业化了，这是EUV工艺研发三十年来的一个里程碑。不过EUV工艺要想大规模量产还有很多技术挑战，目前的光源功率以及晶圆产能输出还没有达到理想状态，EUV工艺还有很长的路要走。

***分辨率=k1*λ/NA

在现有的EUV之外，ASML与IMEC比利时微电子中心还达成了新的合作协议，双方将共同研发新一代EUV***，NA数值孔径从现有的0.33提高到0.5，可以进一步提升光刻工艺的微缩水平，制造出更小的晶体管。

NA数值孔径对***有什么意义？决定***分辨率的公式如下：

***分辨率=k1*λ/NA

k1是常数，不同的***k1不同，λ指的是光源波长，NA是物镜的数值孔径，所以***的分辨率就取决于光源波长及物镜的数值孔径，波长越短越好，NA越大越好，这样***分辨率就越高，制程工艺越先进。

现在的EUV***使用的是波长13.5nm的极紫外光，而普通的DUV***使用的是193nm的深紫外光，所以升级到EUV***可以大幅提升半导体工艺水平，实现7nm及以下工艺。

但是改变波长之后再进一步提升EUV***的分辨率就要从NA指标上下手了，目前的***使用的还是NA=0.33的物镜系统，下一代的目标就是NA=0.5及以上的光学系统了。

如今ASML与IMEC合作的就是高NA的EUV工艺了，双方将成立一个联合实验室，在EXE:5000型***上使用NA=0.55的光学系统，更高的NA有助于将EVU光源投射到更广阔的晶圆上从而提高半导体工艺分辨率，减少晶体管尺寸。

如今这项研究才刚刚开始，所以新一代EUV光刻工艺问世时间还早，此前ASML投资20亿美元入股蔡司公司，目标就是合作研发NA=0.5的物镜系统。

之前公布的量产时间是2024年，这个时间点上半导体公司的制程工艺应该可以到3nm节点了。

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表德赢Vwin官网网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。举报投诉

光刻机

光刻机

+关注

关注
31

文章
1150

浏览量
47378
EUV

EUV

+关注

关注
8

文章
605

浏览量
86004

原文标题：3nm有救了！

文章出处：【微信号：ICCapital，微信公众号：芯资本】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。

性能杀手锏！台积电3nm工艺迭代，新一代手机芯片交战

德赢Vwin官网网报道（文/李弯弯）近日消息，联发科、高通新一波5G手机旗舰芯片将于第四季推出，两大厂新芯片都以台积电3nm制程生产，近期进入投片阶段。在台积电3nm制程加持之下，天玑

发表于 07-09 00:19 •5155次阅读

苹果iPhone 17或沿用3nm技术，2nm得等到2026年了！

有消息称iPhone17还是继续沿用3nm技术，而此前热议的2nm工艺得等到2026年了……

发表于 12-02 11:29 •162次阅读

台积电产能爆棚：3nm与5nm工艺供不应求

台积电近期成为了高性能芯片代工领域的明星企业，其产能被各大科技巨头疯抢。据最新消息，台积电的3nm和5nm工艺产能利用率均达到了极高水平，其中3nm

发表于 11-14 14:20 •334次阅读

联发科将发布安卓阵营首颗3nm芯片

联发科正式宣告，将于10月9日盛大揭幕其新一代MediaTek天玑旗舰芯片发布会，届时将震撼推出天玑9400移动平台。这款芯片不仅是联发科迄今为止最为强大的手机处理器，更标志着安卓阵营正式迈入3nm工艺时代，成为业界首颗采用台积

发表于 09-24 15:15 •598次阅读

台积电3nm制程需求激增，全年营收预期上调

台积电近期迎来3nm制程技术的出货高潮，预示着其在半导体制造领域的领先地位进一步巩固。随着苹果iPhone 16系列新机发布，预计搭载的A18系列处理器将采用台积电

发表于 09-10 16:56 •654次阅读

消息称台积电3nm/5nm将涨价，终端产品或受影响

据业内手机晶片领域的资深人士透露，台积电计划在明年1月1日起对旗下的先进工艺制程进行价格调整，特别是针对3nm和5nm工艺

发表于 07-04 09:22 •676次阅读

台积电3nm工艺稳坐钓鱼台，三星因良率问题遇冷

近日，全球芯片代工领域掀起了不小的波澜。据媒体报道，台积电在3nm制程的芯片代工价格上调5%之后，依然收获了供不应求的订单局面。而与此同时，韩国的三星电子在3nm工艺上却遭遇了前所未有

发表于 06-22 14:23 •1163次阅读

英特尔3nm制程工艺“Intel 3”投入大批量生产

据外媒最新报道，全球知名的处理器大厂英特尔在周三宣布了一个重要的里程碑：其先进的3nm级制程工艺技术“Intel 3”已在两个工厂正式投入大批量生产。这一技术的突破，无疑将为英特尔在超

发表于 06-21 09:31 •522次阅读

台积电3nm产能供不应求，骁龙8 Gen44成本或增

在半导体行业的最新动态中，三星的3nm GAA工艺量产并未如预期般成功，其首个3nm工艺节点SF3E的市场应用范围相对有限。这一现状促使了科

发表于 06-15 10:32 •806次阅读

台积电3nm工艺产能紧俏，苹果等四巨头瓜分

据台湾媒体报道，近期全球芯片制造巨头台积电面临了3nm系列工艺产能的激烈竞争。据悉，苹果、高通、英伟达和AMD这四大科技巨头已经率先瓜分完了台积电当前的3nm系列工艺产能，导致其他厂商

发表于 06-12 10:47 •644次阅读

台积电3nm工艺下半年产能料将大增，2025年营收预增26.6%

分析师强调，台积电的N3制程处于全球领先地位，尽管第一季度的3nm制程销量同比下降了32%，仅占据总销量的9%，但自第三季度以来，该公司有望迎来

发表于 04-30 17:22 •1784次阅读

台积电3nm工艺迎来黄金期，苹果等巨头推动需求飙升

为加速其AI技术的突破，苹果计划在今年显著提升对台积电3nm晶圆的采购规模。即便苹果已独占台积电全部3nm产能，其订单量预计仍将较去年激增50%。

发表于 04-17 09:52 •709次阅读

台积电3nm技术大受欢迎，预计今年收入份额将显著增长

在2023年的最后一个季度，台积电的3nm制程工艺已经为公司贡献了15%的收入。

发表于 03-28 14:29 •877次阅读

采用3nm制程联发科天玑9400性能将超越骁龙8 Gen4

3nm制程行业资讯

北京中科同志科技股份有限公司
发布于 :2024年02月01日 09:29:15

台积电3nm工艺预计2024年产量达80%

据悉，2024年台积电的第二代3nm工艺（称为N3E）有望得到更广泛运用。此前只有苹果有能力订购第一代N3B高端晶圆。经过解决工艺难题及提升

发表于 01-03 14:15 •863次阅读

搜索历史

3nm制程工艺或将迎来希望

评论

性能杀手锏！台积电3nm工艺迭代，新一代手机芯片交战

苹果iPhone 17或沿用3nm技术，2nm得等到2026年了！

台积电产能爆棚：3nm与5nm工艺供不应求

联发科将发布安卓阵营首颗3nm芯片

台积电3nm制程需求激增，全年营收预期上调

消息称台积电3nm/5nm将涨价，终端产品或受影响

台积电3nm工艺稳坐钓鱼台，三星因良率问题遇冷

英特尔3nm制程工艺“Intel 3”投入大批量生产

台积电3nm产能供不应求，骁龙8 Gen44成本或增

台积电3nm工艺产能紧俏，苹果等四巨头瓜分

台积电3nm工艺下半年产能料将大增，2025年营收预增26.6%

台积电3nm工艺迎来黄金期，苹果等巨头推动需求飙升

台积电3nm技术大受欢迎，预计今年收入份额将显著增长

采用3nm制程联发科天玑9400性能将超越骁龙8 Gen4

台积电3nm工艺预计2024年产量达80%