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如何实现压阻式压力传感器温度的补偿方法
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压阻式压力传感器具有精度高，灵敏度高，稳定性好、频率响应范围宽、易于小型化，便于批量生产与使用方便等特点，是一种发展迅速，应用广泛的新型传感器。但是由于半导体的温度特性，压阻式压力传感器会发生温度漂移，在相当程度上限制了压阻式压力传感器的应用。论文针对压阻式压力传感器在测量当中易发生温度漂移的缺点，研制了一种智能化的压阻式传感器温度补偿系统。该方法利用现代信号调理技术，以温度调理芯片为核心元件，采用计算机通过三次样条插值法对采集的温度补偿参数进行
拟合，从而实现了对压阻式压力传感器温度漂移的高精度补偿。而且由于引入了高性能的单片机控制模块，使得此系统一次性可对多个压阻式压力传感器进行温度补偿。论文的主要工作如下：
1.对压阻式压力传感器产生温度漂移原理进行了分析，深入分析了国内外对扩散硅压力传感器温度补偿的方法，总结利弊，确定了以数字化的温度调理芯片为主体的补偿方案。
2.深入研究了MAX1452温度调理芯片的补偿原理，制定了系统的设计方案，完成传感器补偿原理的推导论证工作。
3.根据总体设计要求划分温度补偿系统的各个功能模块，并确定各个模块的具体实现方案，以及绘制硬件电路板。
4.针对MAX1452的补偿原理进行软件开发，设计传感器温度漂移的补偿流程。通过VC+ACCESS数据库的方式实现了高效的用户界面，并采用三次样条曲线对补偿参数进行拟合。
5.针对单片机控制模块，在MPLAB8.30开发环境下，完成程序的开发，实现了对多路传感器补偿模块的控制。
6.利用此补偿系统对传感器进行补偿并对其温度漂移测试，实验表明，补偿后的传感器非线性误差小于0.8%F.S，输出信号的温度漂移比补偿之前降低了一个数量级。
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