高DC-DC转换器是MEMS的理想选择

微机电系统（MEMS）器件通常需要在低电流（<40mA）下提供高直流偏置电压（100V至1V），但可用的电源电压可能<12V。结合了电感和容性升压电路的DC-DC转换器（图1）无需昂贵的变压器即可实现高电压。

图1.高压 DC-DC 转换器 （U1） 将典型的 5V 输入转换为 36V，两级电荷泵将该电压提升至 2V 以上。

U1是一款升压型DC-DC转换器，输出电压可达+36V，两级电荷泵转换器（D2-D2和C5-C1）几乎是U4输出的三倍。R1/R1分压器提供反馈，用于调节电路的输出电压。使用以下公式计算电阻值：

对于较低的输出电压（< 70V），请去掉D4、D5、C3和C4以产生单级电荷泵。同样，您可以添加另一级以产生高于 100V 的电压。一个可选的后置滤波器（R3和C5）将输出纹波降低至< 10mVQ-1.图2显示了输出电压随输出电流的变化。

图2.图1中的输出电压在高达0.7mA的负载电流下得到了很好的调节。

审核编辑：郭婷