科普|硅压阻式MEMS压力传感器精度高、体积小、性能稳定

在生活的各个领域中压力都是一个关键参数。压力传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。

压阻式压力传感器是基于半导体材料（单晶硅）的压阻效应原理制成的传感器，就是利用集成电路工艺直接在硅平膜片上按一定晶向制成扩散压敏电阻，当硅膜片受压时，膜片的变形将使扩散电阻的阻值发生变化。

国内知名智能传感器厂商奥松电子，在MEMS领域深耕20余年，自主研发了APR5852系列硅压阻式压力传感器，配置了专用的 ASIC 芯片和利用 MEMS 技术加工的硅微结构压力传感器芯片，采用双列直插的封装结构，可以直接安装在标准的PCB 板上，方便用户集成与更换。APR5852 系列产品测量的压力值经过传感器的转换及电路的放大将以模拟电压的形式输出，经过温度补偿，具有出色的精度和长期的稳定性。

APR5852压阻式压力传感器

经过温度补偿的硅压阻式压力传感器，实现大范围的温度补偿，以及调节差动放大器的增益来校正传感器的压力灵敏度变化，可实现多阶压力、温度非线性修正。每一个传感器的出厂都经过严格的校准和测试，保障并满足客户的大规模应用。

APR5852系列产品广泛应用于消费电子、智能家电、医疗、汽车、工业自动化、气象等领域，例如：气流监测仪、暖通空调、通风设备、医疗器械（呼吸机、监护仪）、胎压计、风速和泄漏探测等产品。

审核编辑 黄宇