压力传感器的各种材料和方法

麦辣鸡腿堡 2023-06-30 1583

　　气压传感器是检测大气压力的传感器。

　　根据要测量的压力值，压力传感器具有如下所示的各种材料和方法的传感器。

　　在这些压力传感器中，检测大气压力（用于气压检测）的传感器通常被称为气压传感器。

　　［使用的材料 - 按方式分类的压力传感器］

　　气压传感器的典型示例是使用硅（Si）半导体的压阻式。

　　罗姆提供的气压传感器也是压阻式气压传感器。

　　压阻式气压传感器

　　压阻式气压传感器使用Si单晶板作为隔膜（压力接收元件），通过在其表面上扩散杂质形成电阻桥电路，将施加压力时产生的变形作为电阻值变化，来计算压力（气压）。

　　［压阻式气压传感器］

　　电阻率（电导率）因施加在该电阻上的压力而变化的现象称为压阻效应。罗姆的气压传感器IC将使用压阻式压力接收元件（隔膜结构和压阻集成在一起※MEMS），以及温度校正处理、控制电路等的集成电路（※ASIC）集成在一个封装里，可以轻松获得高精度的气压信息。

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