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MEMS电容式与压阻式压力传感器的区别(上)

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描述

PART ONE 背景介绍

压力传感器被视为最常用的传感器类型之一,因为它们负责测量施加在气体或液体上的任何力,并将其转化为电信号。它们可以在医疗设备和医疗行业、自动化、液压以及航空航天等领域中有各种应用。目前在现场安装的大部分压力传感器都基于MEMS技术,采用压阻或电容测量原理。在本文中,我们将讨论它们的主要区别,并突出各自的优势。

PART TWO 压阻技术测量原理

Piezoresistive”一词由希腊词汇“piezo”(意为挤压或压迫)和“resist”组成。在压阻传感器中,将四个电阻器放置在硅隔膜上,以测量施加在其上的应变或物理压力的结果。通过惠斯通电桥电路,将电阻的任何可察觉变化转化为输出电压。

压阻压力测量原理是MEMS技术中最早开发的之一,并且在电容测量原理之前多年被开发。因此,它是最常用的。由于其广泛和低成本的生产,压阻压力传感器广泛用于消费电子和汽车工业,以及家电领域。

PART THREE 电容技术测量原理

为确保电容式压力传感器有效运行,需要两个平行且电气隔离的导电板。底板固定,而顶板对压力变化敏感。当施加压力时,顶板(或膜片)弯曲,产生电容。然后,将电容的这种变化转换为电子信号,可以由ASIC或微控制器读取和处理。

PART FOUR MEMS电容技术的典型应用场景

MEMS电容技术最适用于对精度、可靠性和安全性要求极高的应用。这是由于MEMS元件的特性带来的技术优势,这些特性类似于标准被动元件(电阻器、电容器),以及设计和制造方法的差异。

还想知道MEMS电容式与压阻式压力传感器在技术上的区别?点个关注,下期讲解~

审核编辑 黄宇

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