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微机电系统（MEMS）在高灵敏压力传感器过载保护结构设计中的应用

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　　采用微机电系统（ MEMS） 牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小，灵敏度高的优势，但同时也带来了提高过载能力的难题。为此，利用有限元法，对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析。通过这两种分析方法的结合，准确的模拟出过载状态下传感器的应力分布。在此基础上给出了压力传感器的一种结构设计方法，从而可使这种压力传感器过载保护能力提高 180% ～ 220% 。

　　牺牲层结构压力传感器是指弹性膜片利用牺牲层技术制作而成的压力传感器，结构示意图如图 1所示，其中 AB（ A‘B’） 为膜片宽度 a，AA‘（ BB’）为膜片长度 b，H1 为膜片厚度，H2 为牺牲层厚度。

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