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波纹膜片对高温压力传感器性能影响

消耗积分:2 | 格式:rar | 大小:2.36 MB | 2018-02-02

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　　高温压力传感器是应用在高温环境下对压力介质进行有效测量的传感器，如应用于石油勘探的高温压力测量；各种汽车、飞机发动机腔体内的高温压力测量等。目前，高温压力传感器的种类繁多，包括SOI单晶硅、SIC、溅射薄膜压力传感器等，差动变压器式高温压力传感器，因其灵敏度高，长寿命，在高温压力领域占有一席之地。

　　差动变压器式压力传感器属于结构型传感器，主要由波纹膜片、铁芯、线圈及衔铁四个主要部分组成，工作时，被测压力作用在敏感元件即波纹膜片上，波纹膜片产生变形，推动衔铁，使其与铁芯之间的气隙发生改变，引起线圈回路的磁阻变化，即能把被测压力变化转换为传感器的互感电压变化。常用的弹性敏感元件包括平膜片、波纹膜片、波纹管等形式。在相同的压力下，波纹膜片相对于平膜片可产生更大的线性位移，相对于波纹管体积小，应用灵活。

　　波纹膜片设计是否科学，直接影响传感器的性能。在工程设计时，常常遇到线性度和灵敏度之间的相互矛盾，而且波纹膜片诸多参数相互制约关系异常复杂，必须进行综合考虑。传统设计方法是靠经验，需经过多次制作样品及实验验证，花费大量的人力、物力，设计定型周期长。采用先进的有限元设计分析方法，可以考虐波纹膜片的综合影响因素，整体分析波纹膜片的应力应变及位移特性，快速优化膜片的结构参数，能在最短的时间内实现最优的设计。

波纹膜片对高温压力传感器性能影响

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