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《炬丰科技-半导体工艺》硅片清洗技术的演变

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2023-04-23 11:03:00246

半导体工艺—晶片清洗工艺评估

摘要 本文介绍了半导体晶片加工中为颗粒去除(清洗)工艺评估而制备的受污染测试晶片老化的实验研究。比较了两种晶片制备技术:一种是传统的湿法技术,其中裸露的硅晶片浸泡在充满颗粒的溶液中,然后干燥;另一种
2022-03-04 15:03:502588

半导体制造CMP工艺后的清洗技术

技术需要更严格地管理半导体芯片中使用的材料的变化、平坦度和缺陷的问题,尽管用于嵌入和平坦化的基本工艺保持不变。在此,从CMP装置的基本变迁,特别阐述CMP清洗的基本技术
2022-03-21 13:39:083886

半导体制造过程中的新一代清洗技术

VLSI制造过程中,晶圆清洗球定义的重要性日益突出。这是当晶片表面存在的金属、粒子等污染物对设备的性能和产量(yield)产生深远影响时的门。在典型的半导体制造工艺中,清洁工艺工艺前后反复进行
2022-03-22 14:13:163579

半导体制造CMP工艺后的清洗技术

使用。在本文中,为了在半导体制造中的平坦化工艺,特别是在形成布线层的工程中实现CMP后的高清洁面,关于湿法清洗所要求的功能和课题,关于适用新一代布线材料时所担心的以降低腐蚀及表面粗糙度为焦点的清洗技术,介绍了至今为止的成果和课题,以及今后的展望。
2022-04-20 16:11:292429

湿法清洗中去除硅片表面的颗粒

半导体制造中的清洗过程中使用的酸和碱溶液研究了硅片表面的颗粒去除。
2022-07-05 17:20:171682

探秘半导体制造中单片式清洗设备

随着集成电路制造工艺不断进步,半导体器件的体积正变得越来越小,这也导致了非常微小的颗粒也变得足以影响半导体器件的制造和性能,槽式清洗工艺已经不能满足需求,单片式设备可以利用很少的药液达到槽式工艺不能
2022-08-15 17:01:354061

半导体清洗设备对比分析

半导体清洗设备通过不断将各种污染杂质控制在工艺要求范围内,提高芯片的良率和性能,是芯片良率的重要保障。随着芯片技术的不断提升,清洗设备的要求也越来越高。根据结构清洗设备可分为单片清洗设备、槽式清洗设备、批式旋转喷淋清洗设备、洗刷器等。
2022-10-24 17:15:284284

一文读懂半导体硅片

单晶硅锭经过切片、研磨、蚀刻、抛光、外延(如有)、键合(如有)、清洗工艺步骤,制造成为半导体硅片。在生产环节中,半导体硅片需要尽可能地减少晶体缺陷,保持极高的平整度与表面洁净度,以保证集成电路或半导体器件的可靠性。
2022-11-02 09:26:274255

半导体制造中的清洗工艺技术改进方法

随着晶体管尺寸的不断微缩,晶圆制造工艺日益复杂,对半导体湿法清洗技术的要求也越来越高。
2023-08-01 10:01:561639

非接触除尘设备在半导体清洗领域的应用

今天我们来聊一下非接触除尘设备在半导体清洗领域的应用,说起半导体清洗,是指对晶圆表面进行无损伤清洗,用于去除半导体硅片制造、晶圆制造和封装测试每个步骤中可能产生的杂质,避免杂质影响芯片良率和性能。而非接触精密除尘设备可以大幅提升芯片良率,为企业实现降本增效的目的。
2023-09-04 18:47:39787

华林科纳PFA管在半导体清洗工艺中的卓越应用

随着科技的不断发展,半导体技术在全球范围内得到了广泛应用。半导体设备在制造过程中需要经过多个工艺步骤,而每个步骤都需要使用到各种不同的材料和设备。其中,华林科纳的PFA管在半导体清洗工艺中扮演着
2023-10-16 15:34:34258

半导体硅片行业深度报告.zip

半导体硅片行业深度报告
2023-01-13 09:06:496

在湿台工艺中使用RCA清洗技术

半导体制造业依赖复杂而精确的工艺来制造我们需要的电子元件。其中一个过程是晶圆清洗,这个是去除硅晶圆表面不需要的颗粒或残留物的过程,否则可能会损害产品质量或可靠性。RCA清洗技术能有效去除硅晶圆表面的有机和无机污染物,是一项标准的晶圆清洗工艺
2023-12-07 13:19:14235

半导体清洗工艺介绍

根据清洗介质的不同,目前半导体清洗技术主要分为湿法清洗和干法清洗两种工艺路线
2024-01-12 23:14:23769

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