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用于Ge外延生长的GOI和SGOI衬底的表面清洁研究

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SiC薄膜生长方法有多种,其中化学气相沉积(chemical vapor deposition, CVD)法具有可以精确控制外延膜厚度和掺杂浓度、缺陷较少、生长速度适中、过程可自动控制等优点,是生长用于制造器件的SiC 外延膜的最常用的方法。
2023-06-19 09:35:52644

GaN单晶衬底显著改善HEMT器件电流崩塌效应

最重要的器件之一,在功率器件和射频器件领域拥有广泛的应用前景。HEMT器件通常是在硅(Si)、蓝宝石(Al2O3)、碳化硅(SiC)等异质衬底上通过金属有机气象外延(MOCVD)进行外延制备。由于异质
2023-06-14 14:00:551652

浅谈GaN 异质衬底外延生长方法

HVPE(氢化物气相外延法)与上述两种方法的区别还是在于镓源,此方法通常以镓的氯化物GaCl3为镓源,NH3为氮源,在衬底上以1000 ℃左右的温度生长出GaN晶体。
2023-06-11 11:11:32276

GaN外延生长方法及生长模式

由于GaN在高温生长时N的离解压很高,很难得到大尺寸的GaN单晶材料,因此,为了实现低成本、高效、高功率的GaN HEMTs器件,研究人员经过几十年的不断研究,并不断尝试利用不同的外延生长方法在Si
2023-06-10 09:43:44681

2023年SiC衬底市场将持续强劲增长

研究机构TECHCET日前预测,尽管全球经济普遍放缓,但2023年SiC衬底市场将持续强劲增长。
2023-06-08 10:12:34436

针对去离子水在晶片表面处理的应用的研究

随着半导体科技的发展,在固态微电子器件制造中,人们对清洁基底表面越来越重视。湿法清洗一般使用无机酸、碱和氧化剂,以达到去除光阻剂、颗粒、轻有机物、金属污染物以及硅片表面上的天然氧化物的目的。然而,随着硅电路和器件结构规模的不断减小,英思特仍在专注于探索有效可靠的清洁方法以实现更好的清洁晶圆表面
2023-06-05 17:18:50437

浅谈碳化硅流程的核心技术

一种是通过生长碳化硅同质外延,下游用于新能源汽车、光伏、工控、轨交等功率领域的导电型衬底外延层上制造各类功率器件; 另一种是通过生长氮化镓异质外延,下游应用于5G通讯、国防等射频领域的半绝缘型衬底,主要用于制造氮化镓射频器件。
2023-06-03 10:28:35924

半导体工艺装备现状及发展趋势

第三代半导体设备 第三代半导体设备主要为SiC、GaN材料生长外延所需的特种设备,如SiC PVT单晶生长炉、CVD外延设备以及GaN HVPE单晶生长炉、MOCVD外延设备等。
2023-06-03 09:57:01787

SiC外延工艺基本介绍

外延层是在晶圆的基础上,经过外延工艺生长出特定单晶薄膜,衬底晶圆和外延薄膜合称外延片。其中在导电型碳化硅衬底生长碳化硅外延层制得碳化硅同质外延片,可进一步制成肖特基二极管、MOSFET、 IGBT 等功率器件,其中应用最多的是4H-SiC 型衬底
2023-05-31 09:27:092826

表面清洁度在新能源行业的应用介绍

在新能源行业中应用起来。表面清洁度检测仪是一种常用于检测各种材料表面污染及清洗效果的仪器。它可以测量并分析物体表面的粒径、形状、颜色和表面势能等数据,从而确定其表面的清
2023-05-30 10:54:17336

基于AlN单晶衬底的AlGaN沟道型MOSHFET功率最新进展

近期,美国南卡罗来纳大学报道了在AlN单晶衬底上通过MOCVD生长的Al0.87Ga0.13N/Al0.64Ga0.36N金属氧化物半导体异质结场效应晶体管(MOSHFET)器件。
2023-05-25 10:13:09679

KRi 考夫曼离子源表面清洁 Pre-clean 应用

上海伯东代理美国 KRi 考夫曼离子源适用于安装在 MBE 分子束外延, 溅射和蒸发系统, PLD 脉冲激光系统等, 在沉积前用离子轰击表面, 进行预清洁 Pre-clean 的工艺, 对基材表面有机物清洗, 金属氧化物的去除等, 提高沉积薄膜附着力, 纯度, 应力, 工艺效率等!
2023-05-25 10:10:31378

半导体工艺之气相外延介绍

在半导体科学技术的发展中,气相外延发挥了重要作用,该技术已广泛用于Si半导体器件和集成电路的工业化生产。
2023-05-19 09:06:462464

面对Micro LED外延量产难题,爱思强如何破解?

从保障外延片品质入手,提升Micro LED生产效率,降低生产成本外,应用更大尺寸的外延片也是Micro LED成本考量的关键。传统的LED行业普遍在4英寸,而Micro LED的生产工艺会扩大到6乃至8英寸,更大的衬底尺寸可以更好控制Micro LED的成本。
2023-05-10 09:50:04543

简述碳化硅衬底类型及应用

碳化硅衬底 产业链核心材料,制备难度大碳化硅衬底制备环节主要包括原料合成、碳化硅晶体生长、晶锭加工、晶棒切割、切割片研磨、研磨片抛光、抛光片清洗等环节。
2023-05-09 09:36:483426

RCA清洁变量对颗粒去除的影响

集成设备制造的缩小图案要求湿化学加工的表面清洁度和表面光滑度,特别是对于常见的清洁技术RCA清洁(SC-1和SC-2)。本文讨论了表面制备参数的特性和影响。
2023-05-06 14:25:04407

用紫外线/臭氧源对硅表面进行简单的清洁和调节

由于成本优化工艺是光伏行业的主要目标,简单的、具有内联能力的清洁可以替代成本和时间密集型的湿化学清洁方法,如来自微电子应用的RCA清洁
2023-05-06 11:06:40501

碳化硅晶片的磨抛工艺详解

SIC晶体具有与GaN材料高匹配的晶格常数和热膨胀系数以及优良的热导率,是GaN基的理想衬底材料,如LED,LD。因此,SiC衬底加工技术是器件制作的重要基础,其表面加工的质量和精度,直接会影响外延
2023-05-05 07:15:001154

BGA返修设备的维护保养和清洁该如何进行?

一、设备的清洁 1、操作前需要细致检查设备的表面,如果发现有任何污垢,就要及时清洁,以免影响设备的正常操作。 2、清洁设备的时候,可以用净水把表面的污垢浸泡一下,再用软布擦拭,这样可以有效的清洁设备
2023-04-26 15:18:05411

国内外碳化硅装备发展状况 SiC产业环节及关键装备

SiC器件产业链与传统半导体类似,一般分为单晶衬底外延、芯片、封装、模组及应用环节,SiC单晶衬底环节通常涉及到高纯碳化硅粉体制备、单晶生长、晶体切割研磨和抛光等工序过程,完成向下游的衬底供货。
2023-04-25 10:44:081396

讨论污染物对PCB点焊的影响以及有关清洁的一些问题

污染物的问题正日益突出。尽管传统表面贴装技术(SMT)很好地利用了低残留和免清洗的焊接工艺,在具有高可靠性的产品中,产品的结构致密化和部件的小型化装配使得越来越难以达到合适的清洁等级,同时由于清洁问题导致
2023-04-21 16:03:02

高压放大器在交变电场作用下骨表面温升的实验研究

实验名称:高压放大器交变电场作用下骨表面温升的实验研究实验目的:骨的微观结构十分复杂,到目前为止对骨的力电性质尚未完全了解﹐这是利用电信号影响骨生长研究进展相对缓慢的主要原因。要解决此问题,唯有从
2023-04-10 10:35:40

机器学习+表面增强拉曼光谱技术用于早期肺癌筛查

近期,黄祖芳研究员和王静研究研究团队通过将机器学习和直接表面增强拉曼光谱(SERS)检测技术相结合,开发了一种可检测早期肺癌与良性肺部疾病患者的全局DNA甲基化信息的方法。
2023-04-04 10:29:231142

电阻炉八英寸碳化硅制备技术探索

碳化硅衬底产品通过外延和核心器件企业,制成的终端产品应用于新能源汽车、光伏、轨道交通、电力电子等核心系统。
2023-03-29 14:55:20555

用于人类脑部研究的新工具

读数中获得良好的解剖学细节。近红外光谱技术(nIRS)与功能磁共振成像(fMRI)类似,它监测含氧血液的流动,以此来估计神经元的活动。一个主要的区别在于,近红外光谱仪只能用于测量大脑表面附近的活动,而不能
2023-03-29 11:06:08

有没有办法在不清洁ZMK的情况下更换新电池?

我正在研究 IMX8MP evk,我想实现篡改保护,当篡改发生时,ZMK 将被清除。在我看来SNVS是工作在power-always-on域,所以我们需要放置一个cell battery。 我的问题是当电池没电时,ZMK 会被清洗吗?我有没有办法在不清洁 ZMK 的情况下更换新电池?
2023-03-24 08:27:35

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