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EUV掩膜表面清洁对光刻工艺性能的影响

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2023-06-05 14:32:25

知识分享---光刻模块标准步骤

通常,光刻是作为特性良好的模块的一部分执行的,其中包括晶圆表面制备、光刻胶沉积、掩模和晶圆的对准、曝光、显影和适当的抗蚀剂调节。光刻工艺步骤需要按顺序进行表征,以确保模块末端剩余的抗蚀剂是掩模的最佳图像,并具有所需的侧壁轮廓。
2023-06-02 16:30:25418

氦质谱检漏仪 EUV ***检漏

上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310.
2023-06-02 15:53:52396

一文了解DPC陶瓷基板工艺流程

直接镀铜陶瓷基板(Direct Plating Copper, DPC)是在陶瓷薄膜工艺加工基础上发展起来的陶瓷电路加工工艺。以氮化铝/氧化铝陶瓷作为线路的基板,采用溅镀工艺于基板表面复合金属层,并以电镀和光刻工艺形成电路。
2023-05-31 10:32:021587

表面清洁度在新能源行业的应用介绍

近年来,全球绿色能源产业的发展势头迅猛。新能源电池的生产对材料和工艺的要求越来越高,如何正确地检测电池的表面清洁度成为了一个重要的环节。表面清洁度检测仪因其非接触式、高精度、高效率等特点,逐渐
2023-05-30 10:54:17336

KRi 考夫曼离子源表面清洁 Pre-clean 应用

上海伯东代理美国 KRi 考夫曼离子源适用于安装在 MBE 分子束外延, 溅射和蒸发系统, PLD 脉冲激光系统等, 在沉积前用离子轰击表面, 进行预清洁 Pre-clean 的工艺, 对基材表面有机物清洗, 金属氧化物的去除等, 提高沉积薄膜附着力, 纯度, 应力, 工艺效率等!
2023-05-25 10:10:31378

什么是EUV***?

需要明确什么是EUV光刻机。它是一种采用极紫外线光源进行曝光的设备。与传统的ArF光刻机相比,EUV光刻机可以将曝光分辨率提高到7纳米以下的超高级别,从而实现更高清晰度和更高性能的芯片制造。
2023-05-22 12:48:373985

图文详解表面处理工艺流程

表面处理是在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不同的表层的工艺方法。
2023-05-22 11:07:221514

EUV光刻技术优势及挑战

EUV光刻技术仍被认为是实现半导体行业持续创新的关键途径。随着技术的不断发展和成熟,预计EUV光刻将在未来继续推动芯片制程的进步。
2023-05-18 15:49:041790

全面解读光刻工艺制造流程

光刻胶可以通过光化学反应,经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加工基片上。依据使用场景,这里的待加工基片可以是集成电路材料,显示面板材料或者印刷电路板。
2023-05-11 16:10:492775

RCA清洁变量对颗粒去除的影响

集成设备制造的缩小图案要求湿化学加工的表面清洁度和表面光滑度,特别是对于常见的清洁技术RCA清洁(SC-1和SC-2)。本文讨论了表面制备参数的特性和影响。
2023-05-06 14:25:04407

用紫外线/臭氧源对硅表面进行简单的清洁和调节

由于成本优化工艺是光伏行业的主要目标,简单的、具有内联能力的清洁可以替代成本和时间密集型的湿化学清洁方法,如来自微电子应用的RCA清洁
2023-05-06 11:06:40501

金属布线的工艺为半导体注入生命的连接

经过氧化、光刻、刻蚀、沉积等工艺,晶圆表面会形成各种半导体元件。半导体制造商会让晶圆表面布满晶体管和电容(Capacitor);
2023-04-28 10:04:52532

EUV光刻的无名英雄

晶圆厂通常使用光刻胶来图案化抗蚀刻硬掩模,然后依靠硬掩模来保护晶圆。但是,如果光刻胶太薄,它可能会在第一个转移步骤完成之前被侵蚀掉。随着光刻胶厚度的减小,底层厚度也应该减小。
2023-04-27 16:25:00689

BGA返修设备的维护保养和清洁该如何进行?

一、设备的清洁 1、操作前需要细致检查设备的表面,如果发现有任何污垢,就要及时清洁,以免影响设备的正常操作。 2、清洁设备的时候,可以用净水把表面的污垢浸泡一下,再用软布擦拭,这样可以有效的清洁设备
2023-04-26 15:18:05411

PCB表面成型的介绍和比较

重要的步骤,因为它直接影响工艺良率,返工数量,现场故障率,测试能力,报废率和成本。关于组装的所有重要考虑因素都必须纳入表面成型的选择中,以确保最终产品的高质量和高性能。   在PCB组装过程中,不同位
2023-04-24 16:07:02

讨论污染物对PCB点焊的影响以及有关清洁的一些问题

污染物的问题正日益突出。尽管传统表面贴装技术(SMT)很好地利用了低残留和免清洗的焊接工艺,在具有高可靠性的产品中,产品的结构致密化和部件的小型化装配使得越来越难以达到合适的清洁等级,同时由于清洁问题导致
2023-04-21 16:03:02

ASML是如何崛起的?半导体发展的三个历史阶段

那时集成电路也刚刚发明不久,光刻工艺还在微米级别,工艺步骤也比现在简单很多美国是走在世界前列的。在那个对工艺要求并不高的年代,很多半导体公司通常自己用镜头设计光刻工具,光刻机在当时甚至不如照相机的结构复杂。
2023-04-20 09:22:331314

PCB印制线路该如何选择表面处理

)▪化学沉银▪化学沉锡▪无铅喷锡(LFHASL)▪有机保焊(OSP)▪电解硬金▪电解可键合软金1、化学镍金(ENIG)ENIG也称为化学镍金工艺,是广泛用于PCB板导体的表面处理。这是一种相对简单
2023-04-19 11:53:15

不同PCB板表面处理工艺的优缺点和适用场景

今天带大家了解PCB板的表面工艺,对比一下不同的PCB板表面处理工艺的优缺点和适用场景。
2023-04-14 13:20:141506

浅谈EUV光刻中的光刻胶和掩模等材料挑战

新的High NA EUV 光刻胶不能在封闭的研究环境中开发,必须通过精心设计的底层、新型硬掩模和高选择性蚀刻工艺进行优化以获得最佳性能。为了迎接这一挑战,imec 最近开发了一个新的工具箱来匹配光刻胶和底层的属性。
2023-04-13 11:52:121164

音圈电机模组在主流光刻掩模台系统中的应用

光刻机是芯片智造的核心设备之一,也是当下尤为复杂的精密仪器之一。正因为此,荷兰光刻机智造商阿斯麦通研制的EUV光刻机才会“千金难求”。 很多人都对光刻机有所耳闻,但其实不同光刻机的用途并不
2023-04-06 08:56:49679

被卡脖子的半导体设备(万字深度报告)

光刻是将设计好的电路图从掩膜版转印到晶圆表面光刻胶上,通过曝光、显影将目标图形印刻到特定材料上的技术。光刻工艺包括三个核心流程:涂胶、对准和曝光以及光刻胶显影,整个过程涉及光刻机,涂胶显影机、量测设备以及清洗设备等多种核心设备,其中价值量最大且技术壁垒最高的部分就是光刻机。
2023-03-25 09:32:394952

线路板的表面是什么?处理是做什么呢?

容易的与后续DIP或SMT工艺的锡溶液或锡膏发生反应,利于焊接。表面处理因为产品应用、客户喜好、国际法规等的原因,种类繁多,目前可见的有:喷锡(分有铅和无铅)、化金(又叫沉金)、抗氧化(OSP)、电
2023-03-24 16:59:21

PCB生产工艺 | 第九道主流程之表面处理

容易的与后续DIP或SMT工艺的锡溶液或锡膏发生反应,利于焊接。表面处理因为产品应用、客户喜好、国际法规等的原因,种类繁多,目前可见的有:喷锡(分有铅和无铅)、化金(又叫沉金)、抗氧化(OSP)、电
2023-03-24 16:58:06

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