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半导体晶片干燥场非内部和晶片周围的流动特性

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在许多半导体器件的制造中,硅是最有趣和最有用的半导体材料。 在半导体器件制造中,各种加工步骤可分为四大类,即沉积、去除、图形化和电性能的修改。 在每一步中,晶片清洗都是开发半导体电子器件的首要和基本步骤。 清洗过程是在不改变或损坏晶圆表面或基片的情况下去除化学物质和颗粒杂质。
2022-04-01 14:25:332948

一种提高晶片干燥效率的马兰戈尼型干燥剂系统

晶片干洗系统,更详细地说,是一种能够提高对晶片干燥效率的马兰戈尼型(MARANGONI)TYPE)干洗系统。
2022-04-08 14:51:04459

利用马兰戈尼效应的晶片干洗系统

本发明涉及一种晶片干洗系统,更详细地说,涉及一种能够提高对晶片干燥效率的马兰戈尼型(MARANGONI)TYPE)干洗系统。马兰戈尼型干燥剂系统,可以提高晶片干燥效率。
2022-04-11 15:13:36550

一种用湿式均匀清洗半导体晶片的方法

本发明公开了一种用湿式均匀清洗半导体晶片的方法,所公开的本发明的特点是:具备半导体晶片和含有预定清洁液的清洁组、对齐上述半导体晶片的平坦区域,使其不与上述清洁组的入口相对、将上述对齐的半导体晶片浸入
2022-04-14 15:13:57604

GaN单晶晶片的清洗与制造方法

作为用于高寿命蓝色LD (半导体激光器)、高亮度蓝色LED (发光二极管)、高特性电子器件的GaN单晶晶片,通过hvpe (氢化物气相)生长法等进行生长制造出了变位低的自立型GaN单晶晶片。GaN
2022-04-15 14:50:00510

利用异丙醇和氮载气开发的晶片干燥系统

利用异丙醇(IPA)和氮载气开发创新了一种晶片干燥系统,取代了传统的非环保晶片干燥系统。研究b了IPA浓度是运行该系统的最重要因素,为了防止IPA和热量蒸发造成的经济损失,将干燥器上部封闭,以期开发出IPA和热能不流失的干燥工艺。
2022-04-29 15:09:31534

使用脉动流清洗毯式和图案化晶片的工艺研究

表面和亚微米深沟槽的清洗在半导体制造中是一个巨大的挑战。在这项工作中,使用物理数值模拟研究了使用脉动流清洗毯式和图案化晶片。毯式晶片清洗工艺的初步结果与文献中的数值和实验结果吻合良好。毯式和图案化晶片的初步结果表明,振荡流清洗比稳定流清洗更有效,并且振荡流的最佳频率是沟槽尺寸的函数。
2022-06-07 15:51:37291

不同的湿法晶片清洗技术方法

虽然听起来可能没有极紫外(EUV)光刻那么性感,但对于确保成功的前沿节点、先进半导体器件制造,湿法晶片清洗技术可能比EUV更重要,这是因为器件的可靠性和最终产品的产量都与晶片的清洁度直接相关,因为晶片要经过数百个图案化、蚀刻、沉积和互连工艺步骤。
2022-07-07 16:24:231578

晶片的清洗技术

摘要 随着越来越高的VLSIs集成度成为商业实践,对高质量晶片的需求越来越大。对于表面上几乎没有金属杂质、颗粒和有机物的高度洁净的晶片来说,尤其如此。为了生产高清洁度的晶片,有必要通过对表面杂质行为
2022-07-11 15:55:451025

碳化硅晶片的性质及其用途

碳化硅晶片是一种新型的半导体材料,由碳和硅组成,具有高温、高压、高频、高功率等特性
2023-02-25 14:00:102267

半导体原材料到抛光晶片的基本工艺流程

 半导体材料和半导体器件在世界电子工业发展扮演的角色我们前几天已经聊过了。而往往身为使用者的我们都不太会去关注它成品之前的过程,接下来我们就聊聊其工艺流程。今天我们来聊聊如何从原材料到抛光晶片的那些事儿。
2023-04-14 14:37:502034

华林科纳的半导体晶圆干燥的研究

通过测量晶片上的残留物得知,晶片上已经分配并干燥了含有金属盐作为示踪元素的溶液。假设有两种不同的沉积机制:吸附和蒸发沉积。
2023-06-08 10:57:43220

半导体专用设备已累计交付20余家半导体行业客户

6月8日劲拓股份有限公司,据最新调研纪要的半导体举行公共费用和专用设备的半导体晶片制造设备,包括半导体召开公共非先进的成套制造等生产阶段的热处理设备,半导体晶片制造设备是半导体晶片生产过程中使用的。”
2023-06-09 10:57:21550

倒装晶片贴装设备

倒装晶片(Flip Chip)贴装属于先进半导体组装(Advanced Semiconductor Assembly),常见的应用有无线天线、蓝牙、硬盘磁头、元件封装、智能传感器和一些医用高精密设备等。
2023-09-26 15:47:45335

厚膜晶片电阻和薄膜晶片电阻有什么区别?

电阻器是电子电路中常见的被动元件,用于限制电流、调整电压和执行其他电阻性功能。在电阻器的制造中,有两种常见的类型:厚膜晶片电阻和薄膜晶片电阻。这两种类型的电阻器在结构、性能和应用方面都有一些显著的区别。本文将介绍厚膜晶片电阻和薄膜晶片电阻的区别,以帮助读者更好地理解它们的特性和用途。
2023-10-23 09:00:17840

北方华创“半导体晶片处理腔室及半导体处理设备”专利获授权

根据发明专利要点,该公司提供的一种半导体晶片处理腔室及半导体处理设备;半导体晶片处理腔室包括腔体、设置在该腔体内可沿竖直方向移动的片盒和设置在腔体内的加热组件,还包括温度检测组件,该温度检测组件的检测部为温度检测板
2023-11-15 10:38:31312

晶片图提高集成电路产量

的复杂性和成本,努力实现持续改进至关重要. 质量控制和产量 一个晶片上同时制造几百个芯片。我们不是在谈论美味的饼干;晶片通常是一块硅(世界上最丰富的半导体之一)或其他半导体材料,设计成非常薄的圆盘形式。晶片用于制造电子
2023-12-04 11:50:57197

理解倒装芯片和晶片级封装技术及其应用

欢迎了解 1 引言 半导体技术的进步大大提高了芯片晶体管数量和功能, 这一集成规模在几年前是无法想象的。因此, 如果没有 IC 封装技术快速的发展, 不可能实现便携式电子产品的设计。在消费类
2023-12-14 17:03:21201

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