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稀释SC1过程中使用兆声波来增强颗粒去除效率

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2022-03-31 14:59:40303

半导体制造过程中的硅晶片清洗工艺

在许多半导体器件的制造中,硅是最有趣和最有用的半导体材料。 在半导体器件制造中,各种加工步骤可分为四大类,即沉积、去除、图形化和电性能的修改。 在每一步中,晶片清洗都是开发半导体电子器件的首要和基本步骤。 清洗过程是在不改变或损坏晶圆表面或基片的情况下去除化学物质和颗粒杂质。
2022-04-01 14:25:332948

如何成功地清除来自晶片表面的颗粒污染

为了成功地清除来自晶片表面的颗粒污染,有必要了解颗粒与接触的基底之间的附着力和变形,变形亚微米颗粒的粘附和去除机理在以往的许多研究中尚未得到阐明。亚微米聚苯乙烯乳胶颗粒(0.1-0.5mm)沉积
2022-04-06 16:53:501046

湿法和颗粒去除工艺的简要概述

的内在能力和局限性。已经确定了三种颗粒去除过程——能够去除所有颗粒尺寸和类型的通用过程,甚至来自图案晶片,具有相同理论能力但实际上受到粒子可及性的限制,最后是无法去除所有颗粒尺寸的清洗。 通过计算施加给细颗粒
2022-04-08 17:22:531231

湿法和颗粒去除工艺详解

能力和局限性。已经确定了三种颗粒去除过程——能够去除所有颗粒尺寸和类型的通用过程,甚至来自图案晶片,具有相同理论能力但实际上受到粒子可及性的限制,最后是无法去除所有颗粒尺寸的清洗。
2022-04-11 16:48:42520

一种半导体制造用光刻胶去除方法

/O2气体气氛中进行干洗,在CF4等离子体条件下进行干燥,在O2等离子体的条件下进行干燥剂后, 通过执行湿式清洁工艺去除上述残留光刻胶,可以彻底去除半导体装置制造过程中使用的光刻胶,增进半导体装置的可靠性,防止设备污染。
2022-04-13 13:56:42872

兆声功率、温度和时间的相互影响

本文研究了兆声功率、温度和时间的相互影响,在兆声功率和中高温下进行的稀释化学反应被证明对小颗粒再利用是非常有效的。数据显示,当在中等温度(例如45℃)下使用高纯度化学品时,可以延长寿命,过渡金属表面浓度和表面粗糙度已经在稀释SC1处理后进行了测量,并与传统SC1处理后的金属污进行了比较。
2022-04-19 11:24:52409

半导体器件制造过程中的清洗技术

在半导体器件的制造过程中,由于需要去除被称为硅晶片的硅衬底上纳米级的异物(颗粒),1/3的制造过程被称为清洗过程。在半导体器件中,通常进行RCA清洁,其中半导体器件以一批25个环(盒)为单位,依次
2022-04-20 16:10:293200

采用临界粒子雷诺数方法去除晶圆表面的粘附颗粒

化学机械平面化后的叶片清洗,特别是刷子擦洗,是半导体器件制造的一个关键步骤,尚未得到充分了解。临界粒子雷诺数方法用于评估在刷擦洗过程中去除晶圆表面的粘附颗粒,或者是否必须发生刷-粒子接触。考虑了直径
2022-05-07 15:48:381575

STM32破解的过程中常见的几个问题

。 1 通常我们在破解STM32过程中,如果原开发者没有嵌入软加密,那我们只需对芯片进行开片,去除加密锁,然后通过编程器直接读取,读取的BIN文件或HEX文件,完全可以正常使用。 2 在去除加密锁后,提取的程序代码无法工作,存在软加密,很多软加密是通过烧录器选
2022-05-24 16:29:273933

栅极氧化物形成前的清洗

氧化物的性质有害,这反过来影响整个器件的性质。 种程序用于清洁硅晶片。一个广泛使用的程序是标准的RCA清洁。RCA清洗包括暴露在三种不同的溶液中——SC1、氢氟酸和SC2。SC1溶液包含氢氧化铵、过氧化氢和水,通常能有效去除
2022-06-21 17:07:391229

湿法清洗中去除硅片表面的颗粒

用半导体制造中的清洗过程中使用的酸和碱溶液研究了硅片表面的颗粒去除
2022-07-05 17:20:171683

声波清洗机,它是如何工作的?

关于过滤器的超声波清洗的小常识 工业公司需要确保他们的设备始终以最佳水平运行,以免影响生产时间或质量。这意味着他们需要一种方法在流体流进入其他机器之前从流体流中去除所有不需要的颗粒,以保持最佳性能
2022-10-21 17:50:53609

高压功率放大器在超声驻波场的水下颗粒操控中的应用

的声场、声流场及颗粒操控动态过程,最后通过水下颗粒操控实验对仿真结果进行验证。研究发现,颗粒在水下操控过程受到声辐射力与声流曳力的共同作用,由声波干涉作用形成的局部驻波场主要依靠声辐射力将颗粒团聚
2023-01-05 15:30:28468

RCA清洁变量对颗粒去除的影响

集成设备制造的缩小图案要求湿化学加工的表面清洁度和表面光滑度,特别是对于常见的清洁技术RCA清洁(SC-1和SC-2)。本文讨论了表面制备参数的特性和影响。
2023-05-06 14:25:04407

蓝宝石在化学机械抛光过程中的材料去除机理

在化学腐蚀点处的浓度越高,腐蚀速率越快。在抛光过程中抛光液持续流动,我们假设在腐蚀点处的浓度可以保持初始时的浓度,腐蚀率以最快的速度发生,则抛光液不同的PH值对应一个腐蚀率,由此可见,去除速率与PH值有关,PH越高,速率越快。
2023-06-02 15:24:06347

晶片湿法刻蚀方法

硅的碱性刻蚀液:氢氧化钾、氢氧化氨或四甲基羟胺(TMAH)溶液,晶片加工中,会用到强碱作表面腐蚀或减薄,器件生产中,则倾向于弱碱,如SC1清洗晶片或多晶硅表面颗粒,一部分机理是SC1中的NH4OH
2023-06-05 15:10:011597

激光熔覆的稀释率和搭接率介绍

稀释率的概念稀释率是指在激光熔覆中,由于熔化基材的混入而引起的熔覆合金成分的变化程度,用基材合金占总熔覆层的百分率表示(符号η)。H:熔覆层高度,h:基材熔深,W:熔覆层宽度,η=A2/(A1+A2
2023-04-20 09:38:241068

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