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启用PowerFill外延硅工艺的电源设备

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LED外延芯片工艺流程及晶片分类

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2023-11-03 09:42:540

什么是外延工艺?什么是单晶与多晶?哪些地方会涉及到外延工艺

外延工艺的介绍,单晶和多晶以及外延生长的方法介绍。
2023-11-30 18:18:16878

三种碳化硅外延生长炉的差异

碳化硅衬底有诸多缺陷无法直接加工,需要在其上经过外延工艺生长出特定单晶薄膜才能制作芯片晶圆,这层薄膜便是外延层。几乎所有的碳化硅器件均在外延材料上实现,高质量的碳化硅同质外延材料是碳化硅器件研制的基础,外延材料的性能直接决定了碳化硅器件性能的实现。
2023-12-15 09:45:53607

分子束外延(MBE)工艺设备原理介绍

分子束外延(Molecular beam epitaxy,MBE)是一种在超高真空状态下,进行材料外延技术,下图为分子束外延的核心组成,包括受热的衬底和释放到衬底上的多种元素的分子束。
2024-01-15 18:12:10963

普兴电子拟建六寸低密缺陷碳化硅外延片产线

预计该项目投资总额3.5亿元人民币,将引进碳化硅外延设备及辅助设备共计116套。其中包括一条具备24万片年产量的6英寸低密度缺陷碳化硅外延材料产线。
2024-02-29 16:24:01217

半导体衬底和外延有什么区别?

衬底(substrate)是由半导体单晶材料制造而成的晶圆片,衬底可以直接进入晶圆制造环节生产半导体器件,也可以进行外延工艺加工生产外延片。
2024-03-08 11:07:41161

晶盛机电6英寸碳化硅外延设备热销,订单量迅猛增长

聚焦碳化硅衬底片和碳化硅外延设备两大业务。公司已掌握行业领先的8英寸碳化硅衬底技术和工艺,量产晶片的核心位错达到行业领先水平。
2024-03-22 09:39:2965

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