真空等离子清洗机VP-R5真空腔体石英玻璃材质，腔体容积5L，两路进气通道，进气量可调，流量实时监测，数显真空检测，实时观察自动泄压动态，中英文操作系统，触摸屏控制，频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行30分钟，腔体温度不高于32℃，不损伤样品，适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
--- 产品参数 ---
- 产品名称 真空等离子清洗机
- 型号 VP-R5
- 腔体材质 石英玻璃
- 腔体容积 5L
- 射频频率 13.56MHz
- 功率 160W
- 操作方式 自动
- 操作控制 触摸屏控制
- 工作气体 2路
- 腔体温度 小于32摄氏度
- 真空检测 数字显示
- 泄压 自动泄压
--- 产品详情 ---
