德赢Vwin官网
App
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
摘要：微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一，它结构简单、用途广。基于压阻效应、惠
斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器。为增大灵敏度，设计了一种折弯形的压敏电阻。基于一些相关的
微加工工艺制定了制作这种微传感器的工艺流程并且制作成功了传感芯片。设计了一个处理电路去获得此传感器的输
出信号，它由两级放大电路和两级巴特沃斯低通滤波电路组成。最后利用这个测试系统检测出了随压力变化而发生变化
的微电压信号。
关键词：微机电系统；压阻式；微传感器；测试系统
微机电系统（AQA?）是在微电子相关技术基础上发展起来
的一门多学科交叉前沿学科，它采用半导体工艺技术，把微机
械结构和电路集成在一起，具有体积小、质量轻、功耗低、成本
低等优点。微传感器是最早开始研制的微机电器件，也是微机
电技术中相对最成熟、最早开始产业化的产品。微压力传感器
在整个AQA? 行业，无论是设计研究，还是产业应用中都占主
要地位。就其传感原理来说，微压阻式、微电容式、微谐振式是
当今微压力传感器的# 种最常见的形式。其中，微压阻式结构
最简单，制作工艺及步骤也最容易，缺点是其相关性能不如其
他两种好［&］。
" 微压阻式压力传感器的设计及制作
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 集成信号调理电路的高温压阻式压力传感器 37次下载
- MEMS压力传感器相关基础及应用 120次下载
- 如何使用MEMS技术实现压力传感器芯片的设计 7次下载
- 如何实现压阻式压力传感器温度的补偿方法 49次下载
- 压力传感器工作原理解析 36次下载
- MPM388型压阻式压力传感器 14次下载
- MPM380型压阻式压力传感器 11次下载
- 一种LabVIEW压阻式压力传感器校准系统设计 8次下载
- 基于MPM388的压阻式压力传感器特点及功能 11次下载
- 压力传感器的知识大全 51次下载
- 硅压阻式压力传感器误差修正算法的FPGA实现_华振宇 4次下载
- SCX05DN压力传感器原理 62次下载
- 陶瓷压阻式压力传感器芯体（SMC1800系列） 223次下载
- 介观压阻型微压力传感器设计
- 用硅压阻式压力传感器解算高度速度的方法
- 压阻式压力传感器的仿真设计分析 4617次阅读
- 压阻式压力传感器电路说明 1.4w次阅读
- 压阻式传感器的典型特点是什么 7273次阅读
- 压阻式压力传感器优缺点 1.5w次阅读
- 压阻式压力传感器组成 4282次阅读
- 压阻式压力传感器工作原理 2.2w次阅读
- 常用的一些压力传感器的工作原理及应用介绍 4260次阅读
- 压力传感器制作方法 1w次阅读
- 压差传感器与压力传感器的区别 1.5w次阅读
- 压力传感器的主要作用及原理 1.8w次阅读
- 压力传感器测试方法_压力传感器的测量原理_压力传感器种类 3.3w次阅读
- 常用压力传感器型号有哪些_压力传感器型号大全 4.8w次阅读
- 图文详解：压阻式压力传感器在汽车上的应用 2w次阅读
- MEMS压力传感器原理及应用详解 2.6w次阅读
- 医疗应用新突破 MEMS压力传感器创新设计 1946次阅读
下载排行
本周
- 1Keysight B1500A 半导体器件分析仪用户手册、说明书 （中文）
- 19.00 MB | 4次下载 | 免费
- 2使用TL431设计电源
- 0.67 MB | 2次下载 | 免费
- 3BT134双向可控硅手册
- 1.74 MB | 2次下载 | 1 积分
- 4一种新型高效率的服务器电源系统
- 0.85 MB | 1次下载 | 1 积分
- 5LabVIEW环形控件
- 0.01 MB | 1次下载 | 1 积分
- 6PR735,使用UCC28060的600W交错式PFC转换器
- 540.03KB | 1次下载 | 免费
- 751单片机核心板原理图
- 0.12 MB | 1次下载 | 5 积分
- 8BP2879DB支持调光调灭的非隔离低 PF LED 驱动器
- 1.44 MB | 1次下载 | 免费
本月
- 1开关电源设计原理手册
- 1.83 MB | 52次下载 | 免费
- 2FS5080E 5V升压充电两串锂电池充电管理IC中文手册
- 8.45 MB | 23次下载 | 免费
- 3DMT0660数字万用表产品说明书
- 0.70 MB | 13次下载 | 免费
- 4UC3842/3/4/5电源管理芯片中文手册
- 1.75 MB | 12次下载 | 免费
- 5ST7789V2单芯片控制器/驱动器英文手册
- 3.07 MB | 11次下载 | 1 积分
- 6TPS54202H降压转换器评估模块用户指南
- 1.02MB | 8次下载 | 免费
- 7STM32F101x8/STM32F101xB手册
- 1.69 MB | 8次下载 | 1 积分
- 8基于MSP430FR6043的超声波气体流量计快速入门指南
- 2.26MB | 7次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935119次下载 | 10 积分
- 2开源硬件-PMP21529.1-4 开关降压/升压双向直流/直流转换器 PCB layout 设计
- 1.48MB | 420061次下载 | 10 积分
- 3Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233084次下载 | 10 积分
- 4电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191367次下载 | 10 积分
- 5十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183335次下载 | 10 积分
- 6labview8.5下载
- 未知 | 81581次下载 | 10 积分
- 7Keil工具MDK-Arm免费下载
- 0.02 MB | 73807次下载 | 10 积分
- 8LabVIEW 8.6下载
- 未知 | 65987次下载 | 10 积分
工商网监
评论