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线型压电陶瓷马达之驱动与控制
线型压电陶瓷马达， 一般以超音波驱动， 且由于具有体积小、安静、低速
高推力及无传统电磁马达之电磁干扰问题等优点， 使之广泛于工业应用， 特别
是应用于高精度之微机电直线运动控制。本计划之目的在于发展线型压电陶瓷
马达驱动与控制系统， 并且分成三年度进行。驱动系统部分， 第一年度计划研
制串聯共振驱动系统， 并推导其动态近似模型， 由于所发展之串聯共振电路于
共振频率时， 电压增益易受质量因數值变化影响。因此， 第二年度计划发展高
阶LLCC 共振驱动电路并操作在几何频率上， 使其电压变动范围小且具有柔性
切换特性以致于转换效率高， 由于所发展之高阶LLCC 共振驱动电路除了几何
频率操作点外，非几何频率区域之电压增益亦会受质量因數变化而影响。因此，
第三年度计划发展具质量因數控制之高阶LLCC 共振驱动电路， 以能量反馈原
理來维持固定电压增益并降低质量因數变动所造成之影响。
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